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유전체 튜브;상기 유전체 튜브의 주위에 배치된 유도 가열 코일; 상기 유도 가열 코일에 교류 전력을 제공하는 교류 전원;상기 유도 가열 코일에 의하여 유도 가열되고 상기 유전체 튜브 내에 배치된 가열 블록; 및상기 유도 가열 코일에 의하여 가열되어 액상으로 유지되고 상기 가열 블록 상에 배치된 금속 촉매를 포함하고,상기 가열 블록에서 형성된 와류(eddy current)는 폐루프(closed loop)를 형성하고,상기 유전체 튜브 내에 제공되는 탄소함유가스는 상기 금속 촉매 상에 그래핀(graphene)을 형성하고,상기 가열 블록은:제1 방향으로 연장되는 표면에 형성된 트렌치를 포함하는 보조 가열부; 및상기 트렌치 상에 배치된 판 형상의 주 가열부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유도 가열 그래핀 형성 장치
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제1 항에 있어서,상기 금속 촉매는 상기 주 가열부에 형성된 함몰부에 수납되는 것을 특징으로 하는 유도 가열 그래핀 형성 장치
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제1 항에 있어서,상기 유도 가열 코일은 상기 유전체 튜브를 감싸는 스파이럴(spiral) 형상인 것을 특징으로 하는 유도 가열 그래핀 형성 장치
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삭제
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제1 항에 있어서,상기 가열 블록은:상기 주 가열부 상에 배치된 절연부; 및상기 절연부 상에 배치되고 상기 제1 방향으로 연장되는 보조 트렌치를 포함하는 덮개부;를 더 포함하는 유도 가열 그래핀 형성 장치
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제1 항에 있어서,상기 가열 블록의 배치 평면의 법선(normal) 방향은 상기 유전체 튜브의 연장 방향에 수직한 것을 특징으로 하는 유도 가열 그래핀 형성 장치
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제1 항에 있어서,상기 가열 블록의 배치 평면의 법선(normal) 방향은 상기 유전체 튜브의 연장 방향과 일치하고,중력의 방향은 상기 유전체 튜브의 연장과 일치하는 것을 특징으로 하는 유도 가열 그래핀 형성 장치
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제1 항에 있어서,상기 탄소함유가스를 활성화시키어 상기 금속 촉매에 제공하는 활성화부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유도 가열 그래핀 형성 장치
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유전체 튜브 안에 배치된 가열 블록 상에 금속 촉매를 제공하는 단계;상기 유전체 튜브 주위에 배치된 유도 가열 코일의 유도 전기장을 이용하여 상기 가열 블록을 유도 가열하는 단계;상기 금속 촉매를 녹여 금속 촉매층을 형성하는 단계; 탄소 포함 가스를 활성화시키는 단계;상기 금속 촉매층에 기체 상태의 활성화된 탄소포함가스를 제공하는 단계; 및상기 금속 촉매층을 냉각하여 상기 금속촉매층 상에 그래핀을 형성하는 단계를 포함하고,상기 가열 블록은 보조 가열부 및 상기 보조 가열부 상에 배치된 주 가열부를 포함하고, 상기 보조 가열부와 상기 주 가열부는 전기적으로 직렬 연결되고,상기 금속 촉매층의 온도는 녹는 점 내지 녹는 점에서 녹는 점으로부터 섭씨 200 도 높은 온도인 것은 특징으로 하는 유도 가열 그래핀 형성 방법
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