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진공 챔버의 내부에 배치되어 유도 결합 플라즈마를 발생시키는 유도 안테나에 있어서,상기 유도 안테나는: 제1 중심 도선, 상기 제1 중심 도선을 감싸는 제1 유전체 내피, 및 상기 제1 유전체 내피를 감싸는 제1 도전성 외피를 포함하는 동축 케이블 구조의 제1 전력 공급라인;제2 중심 도선, 상기 제2 중심 도선을 감싸는 제2 유전체 내피, 및 상기 제2 유전체 내피를 감싸는 제2 도전성 외피를 포함하는 동축 케이블 구조의 제2 전력 공급라인;상기 제1 중심 도선 및 상기 제2 중심 도선에 연결되어 루프(loop)를 형성하는 코어 안테나;상기 코어 안테나의 일부분을 감싸고 서로 이격되어 배치된 복수의 접지 외피들;상기 코어 안테나와 상기 접지 외피들 사이에 배치되고 상기 코어 안테나를 감싸는 절연체 자켓들; 및서로 인접한 상기 접지 외피들을 연결하는 도전성 브릿지들을 포함하고,상기 브릿지들은 상기 접지 외피들에 직렬 연결되고, 상기 제1 도전성 외피 및 상기 제2 도전성 외피에 연결되는 것을 특징으로 하는 유도 안테나
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제1 항에 있어서,상기 제1 중심 도선, 상기 코어 안테나, 및 상기 제2 중심 도선은 서로 연속적으로 연결되고, 상기 제1 중심 도선, 상기 코어 안테나, 및 상기 제2 중심 도선의 내부에 냉매가 흐르는 것을 특징으로 하는 유도 안테나
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제1 항에 있어서,상기 접지 외피들은 등 간격으로 배치되고, 상기 접지 외피들은 4 개인 것을 특징으로 하는 유도 안테나
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제1 항에 있어서,상기 도전성 브릿지들 각각은 상기 코어 안테나가 배치된 평면에서 수직으로 이격된 평면에서 상기 코어 안테나와 동일한 방향으로 연장되는 것을 특징으로 하는 유도 안테나
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