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복수의 파장에서 발진하는 광대역 레이저 광원;상기 광대역 레이저 광원의 출력광을 제1 포트로 제공받아 제2 포트로 제공하고 제2 포트로 제공받은 광을 제3 포트로 출력하는 광서큘레이터;상기 광서큘레이터의 제2 포트로부터 출력되는 광의 일부를 투과시키고 나머지를 반사시키는 광분할기; 상기 광분할기로부터 제공된 광을 반사시키는 미러; 상기 광서큘레이터의 제2 포트로부터 광을 제공받아 시간에 따라 순차적으로 스위칭하는 광스위치;및상기 광스위치의 복수의 출력단에서 출력되는 광을 각각 평행광으로 변환하여 상기 광분할기에 제공하는 복수의 평행광 렌즈;를 포함하고,측정 대상은 상기 광분할기와 상기 미러 사이에 배치되고, 상기 측정 대상은 상기 광분할기를 투과한 광의 일부를 반사시키고 나머지를 투과시키어 상기 미러에 제공하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 광학 장치
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제1 항에 있어서,상기 광서큘레이터의 제2 포트와 상기 광분할기에 배치되어 상기 제2 포트에서 출력되는 광을 평행광으로 변환하여 상기 광분할기에 제공하는 평행광 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 광학 장치
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제1 항에 있어서,상기 광서큘레이터는 광섬유 서큘레이터인 것을 특징으로 하는 두께 측정 광학 장치
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제1 항에 있어서,상기 광서큘레이터의 제3 포트에 연결된 스펙트럼 분석기를 더 포함하고,상기 스펙트럼 분석기는 상기 광대역 레이저 광원의 파장에 따라 간섭 신호를 측정하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 광학 장치
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제4 항에 있어서,상기 스펙트럼 분석기의 출력신호를 제공받아 푸리에변환하고, 상기 측정 대상에 기인한 광 경로 차이를 추출하는 처리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 광학 장치
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복수의 파장에서 동시에 발진하는 광대역 레이저 광을 광서큘레이터의 제1 포트를 통하여 제2 포트에 전달하는 단계;상기 광서큘레이터의 제2 포트로부터 광을 제공받아 시간에 따라 순차적으로 광스위치를 이용하여 스위칭하는 단계;상기 광서큘레이터의 제2 포트 및 상기 광스위치를 통하여 제공된 광대역 레이저 광을 순차적으로 배열된 평행광 렌즈, 광분할기, 측정 대상, 및 미러에 제공하는 단계;상기 광분할기, 측정 대상, 및 미러에서 각각 반사된 광을 상기 평행광 렌즈, 광서큘레이터의 제3 포트에 연결된 스펙트럼 분석기를 통하여 측정하는 단계;상기 스펙트럼 분석기를 통하여 측정된 간섭신호를 푸리에 변환하는 단계;및상기 푸리에 변환된 신호에서 상기 측정 대상의 광두께에 관한 정보를 직접 추출하는 단계를 포함하고,복수의 평행광 렌즈는 상기 광스위치의 복수의 출력단에서 출력되는 광을 각각 평행광으로 변환하여 상기 광분할기에 제공하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 방법
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