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박막 증착 장치

  • 기술번호 : KST2015180160
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 박막 증착 장치 및 박막 증착 방법을 제공한다. 이 박막 증착 장치는 진공 챔버, 진공 챔버 내부에 배치된 제1 유도 코일, 제1 유도 코일의 중심 영역에 배치된 부양 물질, 제1 유도 코일에 교류 전력을 제공하여 부양 물질을 부양하고 유도 가열하여 부양 물질을 증발시키는 제1 교류 전원, 제1 유도 코일과 수직으로 이격되어 배치된 제2 유도 코일, 제2 유도 코일의 중심 영역에 배치되고 기판을 포함하는 기판 구조체, 및 제2 유도 코일에 교류 전력을 제공하여 기판 구조체를 유도 가열하는 제2 교류 전원을 포함한다. 부양 물질에서 증발된 증기는 기판에 도달하여 박막을 형성한다.
Int. CL C23C 14/24 (2006.01) C23C 14/26 (2006.01)
CPC C23C 14/24(2013.01) C23C 14/24(2013.01) C23C 14/24(2013.01)
출원번호/일자 1020120042746 (2012.04.24)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1365467-0000 (2014.02.14)
공개번호/일자 10-2013-0119723 (2013.11.01) 문서열기
공고번호/일자 (20140224) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.04.24)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이주인 대한민국 대전 유성구
2 김정형 대한민국 대전광역시 유성구
3 유신재 대한민국 대전 유성구
4 신용현 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이평우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)(특허법인 누리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.04.24 수리 (Accepted) 1-1-2012-0327292-46
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.06.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.07.09 수리 (Accepted) 9-1-2013-0053888-31
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.09.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0612786-88
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.10.22 수리 (Accepted) 1-1-2013-0954998-35
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.10.23 수리 (Accepted) 1-1-2013-0956332-06
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.10.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0956343-08
8 등록결정서
Decision to grant
2014.01.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0002239-74
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
진공 챔버;상기 진공 챔버 내부에 배치된 제1 유도 코일;상기 제1 유도 코일의 중심 영역에 배치된 부양 물질;상기 제1 유도 코일에 교류 전력을 제공하여 상기 부양 물질을 부양하고 유도 가열하여 상기 부양 물질을 증발시키는 제1 교류 전원;상기 제1 유도 코일과 수직으로 이격되어 배치된 제2 유도 코일;상기 제2 유도 코일의 중심 영역에 배치되고 기판을 포함하는 기판 구조체; 및상기 제2 유도 코일에 교류 전력을 제공하여 상기 기판 구조체를 유도 가열하는 제2 교류 전원을 포함하고,상기 제1 유도 코일과 상기 제2 유도 코일 사이에 배치된 셔터를 더 포함하고,상기 부양 물질에서 증발된 증기는 상기 기판에 도달하여 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치
2 2
제1 항에 있어서,상기 기판 구조체는:비도전성의 상기 기판; 및상기 기판의 하부에 배치되어 상기 기판을 지지하는 도전성의 지지판을 포함하고,상기 지지판은 상기 제2 유도 코일에 의하여 유도 가열 또는 부양되고, 상기 가열된 지지판은 상기 기판을 열전달에 의하여 가열하고,상기 박막은 상기 기판 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치
3 3
제2 항에 있어서,상기 기판 구조체는 상기 기판과 상기 지지판 사이에 배치된 열전도성 접착물질을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치
4 4
제3 항에 있어서,상기 접착물질은 인듐(In)을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치
5 5
삭제
6 6
제1 항에 있어서,상기 진공 챔버의 외부에 배치된 플라즈마 발생부; 및상기 플라즈마 발생부에서 생성된 활성종을 상기 기판 구조체 주위로 이동시키는 배관을 포함하고,상기 증기와 상기 활성종은 상호 작용하여 상기 기판 상에 상기 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치
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제6 항에 있어서,상기 배관은 활성종 배출구에 오리피스를 가지는 것을 특징을 박막 증착 장치
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10 10
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11 11
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12 12
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13 13
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술부 한국표준과학연구원 국가연구개발사업 우주 모사 환경 발생 및 정밀 제어 기반 신공정 기술 개발