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외부의 피측정 진공 장치에 연결되는 진공 챔버;상기 진공 챔버 내부에 배치되고 대칭적으로 배치된 날개를 가지고, 그 중심축을 중심으로 회전하고, 비자성 도전성 물질로 형성된 회전체;상기 진공 챔버의 내부에 배치되고, 상기 회전체를 감싸도록 배치되어 상기 회전체를 전자기 공중부양시키는 공중 부양 코일;상기 공중 부양 코일에 교류 전력을 공급하는 교류 전원; 상기 날개에 입사하여 회전력을 제공하는 회전용 광원; 상기 회전체의 회전 속도를 측정하는 속도 측정부; 및상기 회전체의 시간에 따른 회전 속도를 이용하여 상기 진공 챔버 내부의 압력을 산출하는 압력 산출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 측정 장치
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제1 항에 있어서,상기 회전체는 대칭적으로 배치된 복수의 관통홀을 포함하고,상기 속도 측정부는:상기 회전체의 상기 관통홀을 투과하는 측정용 빔을 제공하는 측정용 광원;및상기 회전체의 상기 관통홀을 투과한 측정용 빔을 측정하는 검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 측정 장치
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제1 항에 있어서,상기 속도 측정부는:상기 회전체의 배치 평면에서 수직으로 이격되고 상기 회전체를 가로지르는 측정용 빔을 제공하는 측정용 광원;및상기 날개에 산란되지 않는 상기 측정용 빔을 측정하는 검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 측정 장치
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제1 항에 있어서,상기 공중 부양 코일은:솔레노이드 형태의 상부 공중 부양 코일;및상기 상부 공중 부양 코일에 직렬 연결되고 서로 중심축이 정렬되고 솔레노이드 형태의 하부 공중 부양 코일을 포함하고,상기 상부 공중 부양 코일에 흐르는 전류의 방향은 상기 하부 공중 부양 코일과 서로 반대인 것을 특징으로 하는 진공 측정 장치
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제4 항에 있어서,상기 상부 공중 부양 코일의 권선 수와 상기 하부 공중 부양 코일의 권선 수의 비는 1: 3, 2: 2, 또는 3: 2 인 것을 특징으로 하는 진공 측정 장치
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외부의 피측정 진공 장치에 연결되고 유전체로 형성된 진공 챔버;상기 진공 챔버를 감싸도록 배치된 하우징;상기 하우징과 상기 진공 챔버 내부에 배치되고 대칭적으로 배치된 날개를 가지고 도전성 물질로 형성된 회전체;상기 하우징과 상기 진공 챔버 사이에 배치되고, 상기 회전체를 감싸도록 배치되어 상기 회전체를 전자기 공중부양시키는 공중 부양 코일;상기 공중 부양 코일에 교류 전력을 공급하는 교류 전원; 상기 날개에 입사하여 회전력을 제공하는 회전용 광원;상기 회전체의 회전 속도를 측정하는 속도 측정부; 및상기 회전체의 시간에 따른 회전 속도를 이용하여 상기 진공 챔버 내부의 압력을 산출하는 압력 산출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 측정 장치
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제6 항에 있어서,상기 회전체는 대칭적으로 배치된 복수의 관통홀을 포함하고,상기 속도 측정부는:상기 관통홀을 투과하는 측정용 빔을 제공하는 측정용 광원;상기 회전체의 관통홀을 투과한 측정용 빔을 측정하는 검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 측정 장치
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제6 항에 있어서,상기 속도 측정부는:상기 회전체의 배치 평면에서 수직으로 이격되고 상기 회전체를 가로지르는 측정용 빔을 제공하는 측정용 광원;및상기 날개에 산란되지 않는 상기 측정용 빔을 측정하는 검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 측정 장치
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피측정 진공 장치를 진공 챔버에 연결시키는 단계;상기 피측정 진공 장치를 소정의 압력으로 펌핑하여, 상기 진공 챔버의 압력을 상기 피측정 진공 장치의 압력과 동일하게 유지시키는 단계; 공중 부양 코일에 교류 전력을 제공하여 상기 진공 챔버의 내부에 배치된 회전체를 전자기 공중 부양시키는 단계;회전체의 날개에 회전용 광원의 회전용 빔을 조사하여 상기 회전체를 회전시키는 단계;상기 회전체의 각속도가 소정의 값에 도달하면, 상기 회전용 광원의 출력을 제거하고, 가스의 항력에 의한 상기 회전체의 각속도를 측정하는 단계; 및상기 회전체의 시간에 따른 각속도를 이용하여 상기 진공 챔버 내부의 압력을 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 측정 방법
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