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기하학적 두께와 굴절률 측정을 위한 투과형 광섬유 간섭 장치

  • 기술번호 : KST2015180175
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 두께 측정 광학 장치 및 두께 측정 방법을 제공한다. 이 두께 측정 광학 장치는 광대역 레이저 광을 출력하는 광대역 레이저 광원; 상기 광대역 레이저 광원의 출력광을 제1 포트로 제공받아 제2 포트 및 제3 포트로 분할하는 제1 광섬유 커플러; 상기 제1 광섬유 커플러의 제2 포트에서 출력되는 광을 제1 포트로 입력받고 상기 제1 광섬유 커플러의 제3 포트에서 출력된 광을 측정 대상을 경유하여 제2 포트로 입력받아 상기 제1 포트로 입력된 광과 제2 포트로 입력된 광을 결합하여 제3 포트로 출력하는 제2 광섬유 커플러; 및 상기 제2 광섬유 커플러의 제3 포트로 출력되는 광을 파장에 따라 측정하는 제1 스펙트럼 분석기를 포함한다. 상기 제1 스펙트럼 분석기는 파장에 따라 간섭 신호를 측정한다.
Int. CL G01B 11/06 (2006.01) G01B 9/02 (2006.01) G01N 21/45 (2006.01)
CPC G01B 9/02(2013.01) G01B 9/02(2013.01) G01B 9/02(2013.01)
출원번호/일자 1020140041473 (2014.04.07)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1544962-0000 (2015.08.10)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150818) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.04.07)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 진종한 대한민국 대전광역시 유성구
2 김재완 대한민국 대전광역시 유성구
3 김종안 대한민국 대전광역시 유성구
4 강주식 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 누리 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.04.07 수리 (Accepted) 1-1-2014-0332580-88
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.12.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.01.09 수리 (Accepted) 9-1-2015-0003551-24
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0131239-01
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.03.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-0273526-49
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.03.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0273532-13
7 등록결정서
Decision to grant		 2015.07.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0490636-99
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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광대역 레이저 광을 출력하는 광대역 레이저 광원;상기 광대역 레이저 광원의 출력광을 제1 포트로 제공받아 제2 포트 및 제3 포트로 분할하는 제1 광섬유 커플러;상기 제1 광섬유 커플러의 제2 포트에서 출력되는 광을 제1 포트로 입력받고 상기 제1 광섬유 커플러의 제3 포트에서 출력된 광을 측정 대상을 경유하여 제2 포트로 입력받아 상기 제1 포트로 입력된 광과 제2 포트로 입력된 광을 결합하여 제3 포트로 출력하는 제2 광섬유 커플러; 상기 제2 광섬유 커플러의 제3 포트로 출력되는 광을 파장에 따라 측정하는 제1 스펙트럼 분석기; 상기 제1 광섬유 커플러의 제3 포트로부터 광을 입력단으로 제공받아 시간에 따라 순차적으로 스위칭하는 다중화기;상기 다중화기의 복수의 출력단에서 출력되는 광을 각각 평행광으로 변환하여 측정 대상에 제공하는 제1 렌즈;상기 제1 렌즈 및 상기 측정 대상을 투과한 광을 집속하는 제2 렌즈; 및상기 제2 렌즈에 정렬된 입력단으로 제공되는 광을 하나의 출력단으로 제공하는 역다중화기를 포함하고,상기 다중화기의 출력단은 상기 역다중화기의 입력단에 각각 대응하고,상기 제1 스펙트럼 분석기는 파장에 따라 간섭 신호를 측정하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 광학 장치
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복수의 파장에서 동시에 발진하는 광대역 레이저 광을 제1 광섬유 커플러의 제1 포트를 통하여 제공받아 제2 포트 및 제3 포트에 분할하여 전달하는 단계;상기 제1 광섬유 커플러의 제3 포트를 통하여 제공된 광대역 레이저 광을 순차적으로 배열된 제1 렌즈, 측정 대상, 및 제2 렌즈를 통하여 제공하는 단계;제1 광섬유 커플러의 제2 포트를 통하여 제공된 광을 제2 광섬유 커플러의 제1 포트로 제공받고, 상기 제2 렌즈를 투과한 광을 제2 광섬유 커플러의 제2 포트로 제공받아 상기 제1 포트로 입력된 광과 제2 포트로 입력된 광을 결합하여 제2 광섬유 커플러의 제3 포트로 투과 간섭 신호를 출력하는 단계; 제2 광섬유 커플러의 제3 포트로 출력된 광을 제공받아 상기 투과 간섭 신호의 파장에 따른 스펙트럼 측정하는 단계; 상기 측정된 투과 간섭신호를 푸리에 변환하는 단계; 및상기 제1 광섬유 커플러의 제4 포트를 통하여 상기 측정 대상의 전면 및 후면에서 반사된 광을 제공받아 파장에 따른 반사 간섭 신호 측정하는 단계;상기 반사 간섭 신호 및 상기 투과 간섭 신호를 이용하여 상기 측정 대상의 굴절률 및 두께를 산출하는 단계;상기 측정 대상을 이동시키는 단계; 및이동된 위치에서 상기 반사 간섭 신호 측정를 이용하여 상기 측정 대상의 광학 두께를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 방법
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복수의 파장에서 동시에 발진하는 광대역 레이저 광을 제1 광섬유 커플러의 제1 포트를 통하여 제2 포트 및 제3 포트에 전달하는 단계;상기 제1 광섬유 커플러의 제3 포트를 통하여 제공된 광대역 레이저 광을 시간에 따라 순차적 다중화하여 순차적으로 배열된 제1 렌즈, 측정 대상, 및 제2 렌즈를 통하여 제공하는 단계;상기 제2 렌즈를 투과한 광을 역다중화하는 단계;제1 광섬유 커플러의 제2 포트를 통하여 제공된 광을 제2 광섬유 커플러의 제1 포트로 제공받고, 상기 역다중화된 광을 제2 광섬유 커플러의 제2 포트로 제공받아 상기 제1 포트로 입력된 광과 제2 포트로 입력된 광을 결합하여 제2 광섬유 커플러의 제3 포트로 투과 간섭 신호를 출력하는 단계; 제2 광섬유 커플러의 제3 포트로 출력된 광을 제공받아 상기 투과 간섭 신호의 파장에 따른 스펙트럼 측정하는 단계; 및상기 측정된 투과 간섭신호를 푸리에 변환하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 방법
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