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유도 결합 플라즈마 발생용 안테나 구조체

  • 기술번호 : KST2015180207
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유도 결합 플라즈마 발생용 안테나 구조체를 제공한다. 이 안테나 구조체는 접지 전극판, 접지 전극판의 측면에 연결되고 접지 전극판의 주위에 배치된 유도 결합 안테나, 및 유도 결합 안테나에 전력을 분배하는 전력 분배부를 포함한다. 유도 결합 안테나는 접지 전극판에 각각 연결되고 접지 전극판의 중심을 기준으로 제1 사분면 내지 제4 사분면에 각각 배치된 제1 내지 제4 보조 안테나들을 포함한다. 제2 보조 안테나는 제1 보조 안테나가 시계방향으로 90도 회전한 형상으로 배치된다. 보조 안테나는 홀수 개의 안테나 브랜치들 및 안테나 브랜치들을 서로 연결하는 안테나 연결부들을 포함한다. 이웃한 안테나 브랜치들의 전류는 서로 반대 방향으로 흐른다.
Int. CL H05H 1/46 (2006.01)
CPC H01J 37/3211(2013.01) H01J 37/3211(2013.01) H01J 37/3211(2013.01) H01J 37/3211(2013.01) H01J 37/3211(2013.01) H01J 37/3211(2013.01)
출원번호/일자 1020130051027 (2013.05.07)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1473371-0000 (2014.12.10)
공개번호/일자 10-2014-0132050 (2014.11.17) 문서열기
공고번호/일자 (20141216) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.05.07)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유신재 대한민국 대전 유성구
2 김정형 대한민국 대전광역시 유성구
3 신용현 대한민국 대전 유성구
4 성대진 대한민국 충남 공주시
5 김대웅 대한민국 경북 포항시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이평우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)(특허법인 누리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.05.07 수리 (Accepted) 1-1-2013-0400560-69
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.05.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0335575-10
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.07.07 수리 (Accepted) 1-1-2014-0638362-29
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.07.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0638350-82
6 등록결정서
Decision to grant		 2014.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0795442-13
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
접지 전극판;상기 접지 전극판의 측면에 연결되고 상기 접지 전극판의 주위에 배치된 유도 결합 안테나; 및상기 유도 결합 안테나에 전력을 분배하는 전력 분배부를 포함하고,상기 유도 결합 안테나는 상기 접지 전극판에 각각 연결되고 상기 접지 전극판의 중심을 기준으로 제1 사분면 내지 제4 사분면에 각각 배치된 제1 내지 제4 보조 안테나들을 포함하고,상기 제2 보조 안테나는 상기 제1 보조 안테나가 시계방향으로 90도 회전한 형상으로 배치되고,상기 제1 내지 제4 보조 안테나 각각은 홀수 개의 안테나 브랜치들 및 상기 안테나 브랜치들을 서로 연결하는 안테나 연결부들을 포함하고,이웃한 안테나 브랜치들의 전류는 서로 반대 방향으로 흐르는 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마 발생용 안테나 구조체
2 2
제1 항에 있어서,상기 전력 분배부는 RF 전원으로부터 RF 전력을 공급받는 전력 입력부와 상기 전력 입력부에 전기적으로 연결되어 십자 형태로 분기된 전력 출력부를 포함하고,상기 전력 출력부는 내부 도선과 외부 도선을 포함하는 동축 케이블 구조를 포함하고,상기 전력 분배부는 접지 전극판이 배치된 하부 평면과 수직으로 이격된 상부 평면에 배치되고,상기 내부 도선은 상기 보조 안테나에 연결되고, 상기 외부 도선은 상기 접지 전극에 연결되는 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마 발생용 안테나 구조체
3 3
제1 항에 있어서,상기 제1 내지 제4 보조 안테나 각각의 안테나 브랜치들은 일정한 곡률을 가지는 원호 형상인 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마 발생용 안테나 구조체
4 4
제1 항에 있어서,상기 제1 내지 제4 보조 안테나 각각의 안테나 브랜치들은 직각으로 절곡된 띠 형상인 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마 발생용 안테나 구조체
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국표준과학연구원 첨단융합기술개발 우주 모사 환경 발생 및 정밀 제어 기반 신공정 기술 개발