맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

실시간 위상이동을 이용한 가로 층밀리기 간섭계

  • 기술번호 : KST2015180262
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 동일한 2개의 회절격자를 사용하여 측정빔을 다수로 진폭분할한 후, 위치에 따른 쐐기판의 두께차이를 이용하여 하나의 쐐기판으로 위상이동간섭법에 필요한 다수의 간섭무늬를 동시에 측정할 수 있는 실시간 위상이동을 이용한 층밀리기 간섭계에 관한 것이다. 이를 위해, 시준되어 입사하는 테스트 빔(50)을 회절시키는 제 1 회절격자(40); 제 1 회절격자(40)로부터 소정간격만큼 이격되어 회절된 제 1 회절빔(54)을 등간격빔(56)으로 회절시키기 위한 제 2 회절격자(42); 등간격빔(56)이 입사각(θ)으로 입사되어 반사될 수 있도록 제 2 회절격자(42)의 일측에 구비되는 쐐기판(60); 및 쐐기판(60)의 앞면과 뒷면으로부터 각각 반사되는 두 반사빔(58, 59)으로 만들어진 다수의 위상이동 층밀리기 간섭무늬(70)를 측정하기 위한 검출수단;이 제공된다. 실시간, 위상이동, 쐐기판, 가로, 층밀리기, 간섭계, 이송, 렌즈, 오차
Int. CL G01B 9/02 (2006.01)
CPC G01B 9/0201(2013.01) G01B 9/0201(2013.01) G01B 9/0201(2013.01) G01B 9/0201(2013.01)
출원번호/일자 1020040113593 (2004.12.28)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0670951-0000 (2007.01.11)
공개번호/일자 10-2006-0075044 (2006.07.04) 문서열기
공고번호/일자 (20070124) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.12.28)
심사청구항수 7

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 송재봉 대한민국 대전 서구
2 이윤우 대한민국 대전 서구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2004-0618866-14
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2006.02.15 수리 (Accepted) 4-1-2006-5019752-35
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.04.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.05.15 수리 (Accepted) 9-1-2006-0030926-64
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0373671-10
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.07.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0482029-05
7 의견서
Written Opinion		 2006.07.05 수리 (Accepted) 1-1-2006-0481923-29
8 등록결정서
Decision to grant		 2006.10.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0557692-28
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
시준되어 입사하는 테스트 빔(50)을 회절시키는 제 1 회절격자(40); 상기 제 1 회절격자(40)로부터 소정간격만큼 이격되어 회절된 제 1 회절빔(54)을 등간격빔(56)으로 회절시키기 위한 제 2 회절격자(42); 상기 등간격빔(56)이 입사각(θ)으로 입사되어 반사될 수 있도록 상기 제 2 회절격자(42)의 일측에 구비되는 쐐기판(60); 및 상기 쐐기판(60)의 앞면과 뒷면으로부터 각각 반사되는 두 반사빔(58, 58-1)으로 만들어진 다수의 위상이동 층밀리기 간섭무늬(70)를 측정하기 위한 검출수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 실시간 위상이동을 이용한 층밀리기 간섭계
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 쐐기판(60)은 고정된 것을 특징으로 하는 실시간 위상이동을 이용한 층밀리기 간섭계
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 쐐기판(60)의 쐐기각은 5" ~ 30" 범위인 것을 특징으로 하는 실시간 위상이동을 이용한 층밀리기 간섭계
4 4
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 쐐기판(60)은 용융 실리카 쐐기판인 것을 특징으로 하는 실시간 위상이동을 이용한 층밀리기 간섭계
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 위상이동 층밀리기 간섭무늬(70)의 위상이동량(φ)은 간섭무늬 사이의 간격(D), 쐐기각(α), 굴절률(n), 입사각(θ) 및 파장(λ)에 기초하여 산출되는 것을 특징으로 하는 실시간 위상이동을 이용한 층밀리기 간섭계
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 위상이동량(φ)은 에 의해 산출되는 것을 특징으로 하는 실시간 위상이동을 이용한 층밀리기 간섭계
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 검출수단에서 측정된 위상이동 간섭무늬에 회절격자의 0차 투과빔의 투과율( η0)과 1차 회절빔의 회절효율(η1)의 비를 곱함으로서 동일한 밝기를 갖도록 하는 보정수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실시간 위상이동을 이용한 층밀리기 간섭계
8 7
제 1 항에 있어서, 상기 검출수단에서 측정된 위상이동 간섭무늬에 회절격자의 0차 투과빔의 투과율( η0)과 1차 회절빔의 회절효율(η1)의 비를 곱함으로서 동일한 밝기를 갖도록 하는 보정수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실시간 위상이동을 이용한 층밀리기 간섭계
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.