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평판 디스플레이의 패턴 검사 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015180267
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 평판 디스플레이의 패턴 검사 장치 및 방법에 관한 것으로서, 레이저 장치와 그 양 측방에 일체 이동이 가능하도록 설치된 광 검출기를 유리 기판에 형성된 전극 패턴의 경로를 따라 연속적으로 이동시키면서 상기 레이저 장치를 이용하여 유리 기판 위의 두 전극 패턴에 평면파 형태의 레이저 광을 조사하고, 상기 두 전극 패턴에서 반사되어 나오는 간섭된 레이저 광을 상기 광 검출기로 검출하여, 광 검출기를 통해 검출한 간섭신호의 변화로부터 두 전극 패턴의 일정한 간격 유지 여부를 검사할 수 있도록 구성한 평판 디스플레이의 패턴 검사 장치 및 방법에 관한 것이다. 이러한 본 발명에 의하면, 레이저 광 간섭을 이용하여 기존의 CCD 카메라에 비해 보다 고분해능으로 더욱 신뢰성 있는 전극 패턴의 검사가 가능해지게 된다.평판 디스플레이, 패턴, 광 간섭, 레이저
Int. CL G01B 11/30 (2006.01) G01B 11/24 (2006.01)
CPC G01B 11/2441(2013.01) G01B 11/2441(2013.01) G01B 11/2441(2013.01) G01B 11/2441(2013.01) G01B 11/2441(2013.01)
출원번호/일자 1020070014155 (2007.02.12)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2008-0075257 (2008.08.18) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.02.12)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최만용 대한민국 대전 유성구
2 강기수 대한민국 광주 서구
3 박정학 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이학수 대한민국 부산광역시 연제구 법원로 **, ****호(이학수특허법률사무소)
2 백남훈 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, KTB네트워크빌딩**층 한라국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2007-0125323-29
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.11.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.12.05 수리 (Accepted) 9-1-2007-0071861-24
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.04.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0208057-39
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2008.10.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0507682-35
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전극 패턴이 소정 간격으로 형성된 평판 디스플레이의 유리 기판에 대해 전극 패턴의 이상 유무를 검사하기 위한 패턴 검사 장치에 있어서,상기 유리 기판의 상측에서 간섭성이 우수한 레이저 광을 평면파 형태로 유리 기판 위의 두 전극 패턴에 수직 하향 조사하는 레이저 장치와; 상기 레이저 장치의 양 측방에 각각 설치되어 상기 두 전극 패턴에서 반사되어 나오는 간섭된 레이저 광을 검출하는 광 검출기와;상기 광 검출기로부터 입력되는 레이저 광의 간섭신호를 처리하고 그로부터 전극 패턴의 불량 여부를 분석하여 그 결과를 저장 및 표시하는 신호처리 및 분석부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 패턴 검사 장치
2 2
청구항 1에 있어서,상기 레이저 장치는 구동수단에 의해 수평 이동하도록 된 이송부에 설치되어 전극 패턴의 경로를 따라 수평 이동하면서 연속적으로 레이저 광을 하향 조사하고, 상기 광 검출기는 상기 이송부에 연결 설치되어 전극 패턴의 경로를 따라 레이저 장치와 일체로 수평 이동하면서 레이저 광 검출과 신호처리 및 분석부로의 간섭신호 출력을 연속적으로 수행하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 패턴 검사 장치
3 3
청구항 2에 있어서,상기 신호처리 및 분석부는 양 측방의 두 광 검출기로부터 입력되는 간섭신호의 변화로부터 두 전극 패턴의 일정한 간격 유지 여부를 분석하되, 간섭신호의 변화가 일정 수준 이상이 될 경우 간격 유지 불량으로 판정하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 패턴 검사 장치
4 4
청구항 1에 있어서,상기 레이저 장치를 중심으로 배치되는 상기 양 측방의 두 광 검출기는 레이저 광 조사방향을 기준으로 동일 경사각 위치에 배치되어 동일 수신각도를 가지도록 설치되고, 또한 유리 기판으로부터 동일 높이에 설치되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 패턴 검사 장치
5 5
전극 패턴이 소정 간격으로 형성된 평판 디스플레이의 유리 기판에 대해 전극 패턴의 이상 유무를 검사하는 패턴 검사 방법에 있어서,상기 유리 기판의 상측에서 레이저 장치를 이용해 간섭성이 우수한 레이저 광을 평면파 형태로 유리 기판 위의 두 전극 패턴에 수직 하향 조사하는 단계와; 상기 레이저 장치의 양 측방에 각각 설치된 광 검출기가 상기 두 전극 패턴에서 반사되어 나오는 간섭된 레이저 광을 검출하는 단계와;신호처리 및 분석부가 상기 광 검출기로부터 입력되는 레이저 광의 간섭신호를 처리하고 그로부터 전극 패턴의 불량 여부를 분석하여 그 결과를 저장 및 표시하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 패턴 검사 방법
6 6
청구항 5에 있어서,상기 레이저 장치를 구동수단에 의해 수평 이동하도록 된 이송부에 설치하여 전극 패턴의 경로를 따라 수평 이동시키면서 연속적으로 레이저 광을 하향 조사하고, 상기 광 검출기를 전극 패턴의 경로를 따라 레이저 장치와 일체로 수평 이동시키면서 레이저 광 검출과 신호처리 및 분석부로의 간섭신호 출력을 연속적으로 수행하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 패턴 검사 방법
7 7
청구항 6에 있어서,상기 신호처리 및 분석부가 양 측방의 두 광 검출기로부터 입력되는 간섭신호의 변화로부터 두 전극 패턴의 일정한 간격 유지 여부를 분석하되, 간섭신호의 변화가 일정 수준 이상이 될 경우 간격 유지 불량으로 판정하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 패턴 검사 방법
8 8
청구항 5에 있어서,상기 레이저 장치를 중심으로 배치되는 상기 양 측방의 두 광 검출기를 레이저 광 조사방향을 기준으로 동일 경사각 위치에 배치하여 동일 수신각도를 가지도록 설치하고, 또한 유리 기판으로부터 동일 높이에 설치하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 패턴 검사 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.