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레이저로부터 발생되는 광신호와 패브리 페로 간섭계(Fabry-perot interferometer)가 지속적으로 공진을 유지하도록 조절하고, 상기 광신호를 측정시편에 조사하는 광신호발생부;거친표면을 가지는 측정시편으로부터 산란된 광신호를 증폭하는 광신호증폭부; 및상기 광신호발생부에서 발생되는 광신호와 상기 광신호증폭부에서 증폭된 광신호를 분석하여 상기 측정시편의 표면 진동을 측정하는 광신호분석부를 포함하는 것을 특징으로 하는 주입잠금 레이저를 이용한 표면 진동 측정 장치
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제1항에 있어서, 상기 광신호증폭부는,주입잠금 레이저(Injention locking laser)를 통하여 상기 측정시편으로부터 산란된 광신호를 증폭하는 것을 특징으로 하는 주입잠금 레이저를 이용한 표면 진동 측정 장치
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제2항에 있어서, 상기 광신호발생부는,광신호가 발생되는 제1레이저부;상기 제1레이저부로부터 발생되는 광신호중 일부를 반사하는 빔스플리터;상기 빔스플리터에 의해 반사된 광신호의 세기 특성을 검출하는 제2광검출기;상기 빔스플리터를 통과한 광신호 및 상기 측정시편으로 부터 산란된 광신호가 입사되는 제1광단절기;상기 제1광단절기를 통과한 광신호를 상기 측정시편으로 집속하는 제2렌즈;상기 제1광단절기에 의해 반사된 광신호를 상기 패브리 페로 간섭계로 입사시키는 제1렌즈;상기 광신호증폭부에 의해 증폭된 광신호를 상기 패브리 페로 간섭계로 입사시키는 제4렌즈;상기 제1렌즈를 통해 상기 패브리 페로 간섭계로 입사된 광신호의 주파수 특성을 검출하는 제1광검출기; 및 상기 제1광검출기 및 상기 제2광검출기로부터 검출된 광신호의 주파수 특성을 기반으로 제1레이저부로부터 발생되는 광신호와 상기 패브리 페로 간섭계가 지속적으로 공진을 유지하도록 조절하는 공진조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 주입잠금 레이저를 이용한 표면 진동 측정 장치
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제3항에 있어서, 상기 광신호증폭부는,상기 측정시편으로부터 반사된 광신호가 입사되는 제2광단절기;상기 제2광단절기를 통과한 광신호를 집속하는 제3렌즈;상기 제3렌즈에 의해 집속된 광신호를 증폭하는 제2레이저부; 및상기 제2레이저부에 의해 증폭된 광신호를 반사하여 상기 패브리 페로 간섭계로 입사되도록 하는 반사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 주입잠금 레이저를 이용한 표면 진동 측정 장치
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제4항에 있어서, 상기 광신호분석부는,상기 반사부를 통해 상기 패브리 페로 간섭계로 입사된 광신호의 주파수 특성을 검출하는 제3광검출기; 및상기 제3광검출기 및 상기 제1광검출기를 통해 검출된 광신호의 주파수 특성을 분석하여 상기 측정시편의 표면 진동을 측정하는 분석부를 포함하는 것을 특징으로 하는 주입잠금 레이저를 이용한 표면 진동 측정 장치
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제5항에 있어서, 상기 제1렌즈는,상기 패브리 페로 간섭계의 모드와 상기 제1레이저부에서 발생되는 광신호의 횡모드 동기를 맞추는 것을 특징으로 하는 주입잠금 레이저를 이용한 표면 진동 측정 장치
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제5항에 있어서, 상기 제3렌즈는,상기 제2레이저부에 입사되는 광신호의 크기를 조절하고, 상기 제2레이저부로부터 증폭된 광신호가 평행광이 되도록 하는 것을 특징으로 하는 주입잠금 레이저를 이용한 표면 진동 측정 장치
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제5항에 있어서, 상기 제4렌즈는,상기 패브리 페로 간섭계의 모드와 상기 반사부에서 반사된 광신호의 횡모드 동기를 맞추는 것을 특징으로 하는 주입잠금 레이저를 이용한 표면 진동 측정 장치
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제5항에 있어서, 상기 제2레이저부는,상기 제1레이저부에서 발생된 광신호의 주파수와 동일한 주파수의 광신호를 발생시키는 것을 특징으로 하는 주입잠금 레이저를 이용한 표면 진동 측정 장치
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