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나노 임프린트 리소그래피용 고내구성 실리카 하드나노몰드및 그 제작 방법

  • 기술번호 : KST2015181077
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 a) 폴리비닐실라잔을 웨이퍼위에 코팅하여 박막을 형성하는 단계; b) 상기 폴리비닐실라잔 박막에 자외선을 10 ~25분간 조사한 후, 열경화하는 단계; 및 c)상기 열경화된 폴리비닐실라잔 박막에 암모니아수증기로 수화시켜 실리카 박막을 제조하는 단계를 포함하는 실리카 박막제조방법에 관한 것이다. 그리고 본 발명은 10nm ~ 1cm의 패턴이 형성되고, 암모니아수증기에 의하여 실리카로 수화된 폴리비닐실라잔 경화막을 갖는 실리카 박막에 관한 것이다. 상기 발명은 화학적, 열적, 기계적인 스트레스에 높은 내구성을 가지며, 열 나노임프린트 리소그래피 및 광 나노임프린트리소그래피를 포함하는 각종 나노 리소그래피 기술에 매우 적합하게 이용할 수 있는 실리카 하드나노몰드로 사용할 수 있다. 또한 높은 릴리스(release)성질을 가지고 있으며, 간편하고 저가로 제조할 수 있는 장점이 있다. 실리카 박막, 실리카 하드나노몰드, 수화, 나노리소그래피, 폴리비닐실라잔
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) H01L 21/027 (2011.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020080098952 (2008.10.09)
출원인 충남대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0900496-0000 (2009.05.26)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20090603) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.10.09)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 충남대학교산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김동표 대한민국 대전광역시 유성구
2 홍난영 대한민국 대전광역시 서구
3 박성준 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.10.09 수리 (Accepted) 1-1-2008-0703939-70
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2008.10.16 수리 (Accepted) 1-1-2008-0720734-61
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.11.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.12.01 수리 (Accepted) 9-1-2008-0076824-41
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.01.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0018433-82
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.01.21 수리 (Accepted) 4-1-2009-5014069-12
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.03.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0137302-76
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.03.06 수리 (Accepted) 1-1-2009-0137291-51
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.03.18 수리 (Accepted) 4-1-2009-5050645-34
10 등록결정서
Decision to grant		 2009.05.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0200577-17
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.05.31 수리 (Accepted) 4-1-2011-5108981-12
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.12.26 수리 (Accepted) 4-1-2013-5174286-48
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2015-5116888-44
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2015-5116889-90
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
a)폴리비닐실라잔을 웨이퍼에 코팅하여 박막을 형성하는 단계; b)상기 박막의 상부에 미소패턴이 형성된 PDMS몰드의 미소패턴이 폴리비닐실라잔 박막으로 향하게 하여 상기 PDMS몰드를 가압하여 적층하는 단계; c)상기 PDMS몰드 상부에서 자외선을 조사하여 폴리비닐실라잔 박막을 경화하는 단계; d)상기 PDMS 몰드를 제거 하는 단계; e)상기 폴리비닐실라잔박막을 가열 경화하는 단계 f)가열 경화후 암모니아 수증기로 수화하여 실리카하드몰드를 제조하는 단계 를 포함하는 실리카하드몰드제조방법
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서, 상기 b)단계에서 미소패턴의 사이즈가 10nm ~ 1cm인 것을 특징으로 하는 실리카하드몰드제조방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 d)단계에서 PDMS몰드를 제거한 후 테트라부틸암모늄플로라이드(tetrabutylammonium fluoride(TBAF))용액을 상기 폴리비닐실라잔박막의 표면에 처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실리카하드몰드제조방법
5 5
제 1항에 있어서, 상기 e) 단계에서 가열경화는 상기 폴리비닐실라잔 박막을 100 ~ 200℃에서 2 ~ 5시간 열경화하는 것을 특징으로 하는 실리카하드몰드제조방법
6 6
제 5항에 있어서, 상기 f)단계에서 상기 수화는 4 ~ 8시간 이루어지는 것을 특징으로 하는 실리카하드몰드제조방법
7 7
제 6항에 있어서, 상기 a)단계에서 상기 웨이퍼는 유리 또는 실리콘 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 실리카하드몰드제조방법
8 8
삭제
9 9
삭제
10 10
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한국과학재단 / 한국학술진흥재단 충남대학교 / 충남대학교 국가지정연구실사업 / 유망여성과학자지원사업 무기고분자를 이용한 미세화학 세라믹 MEMS 모듈 제조기술 개발 / 친수성 SiO2-TiO2계 무기고분자 수지의 개발 및 화학적,생화학적 응용연구