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광이 투과되는 물질로 형성된 기판;
제1 클래딩(cladding)층, 외부로부터 입사된 검사광을 가이드하는 코어(core)층 및 제2 클래딩층이 상기 기판 상의 일부분에 순차적으로 적층되어 형성되고, 상기 코어층의 굴절률이 상기 제1 클래딩층 및 상기 제2 클래딩층의 굴절률보다 크게 설정되는 광도파로부;
상기 기판 상에 일측면은 상기 광도파로부의 측면과 접촉되게 배치되고, 타측면은 상기 광도파로부의 상면에 대해 경사지게 형성되어, 상기 코어층으로부터 방출된 검사광을 가이드하는 광가이드부; 및
상기 광가이드부의 타측면에 형성되어 상기 광가이드부를 통해 입사되는 검사광 중 플라즈몬 공명 현상이 일어나는 소정의 공명각으로 입사된 검사광에 의해 표면 플라즈마 파를 발생시키고, 상기 공명각 이외의 각도로 입사된 검사광은 반사시키는 금속박막;을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서
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2
제1항에 있어서,
상기 광가이드부는 상기 코어층과 동일한 물질로 구성되는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서
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3
제1항에 있어서,
상기 기판은 유리(glass) 또는 석영(quartz)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서
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4
제1항에 있어서,
상기 코어층은 폴리머(polymer)로 이루어진 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서
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5
제4항에 있어서,
상기 폴리머는 SU-8 또는 폴리메틸메타크릴레이트인 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서
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6
제1항에 있어서,
상기 코어층의 두께는 4 내지 100μm의 범위에서 설정되는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서
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7
제1항에 있어서,
상기 제2 클래딩층은 상기 제1 클래딩층과 동일한 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서
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8
제7항에 있어서,
상기 제1 클래딩층 및 상기 제2 클래딩층은 폴리머로 이루어진 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서
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9
제8항에 있어서,
상기 폴리머는 광학 접착제(optical adhesive)인 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서
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10
제1항에 있어서,
상기 금속박막은 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu) 및 알루미늄(Al) 중에서 선택된 1종 이상을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서
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11
제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 검사광을 생성하고 방출하여 상기 코어층에 조사하는 광원부; 및
상기 기판의 하부에 배치되어, 금속박막에 의해 반사되어 상기 광가이드부를 통해 출사된 검사광을 검출하는 광검출부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서
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12
제11항에 있어서,
상기 광원부는 광도파로 형태의 TM(Transverse Magnetic) 모드로 편광된 레이저 다이오드 또는 발광다이오드 중 어느 하나를 구비하는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서
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