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RF-MEMS 패키징 기반의 슬롯 결합형 패치 안테나 및그의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015182701
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 RF-MEMS 패키징 플랫폼을 기반으로 안테나를 효율적으로 집적화할 수 있는 구조의 안테나를 개시한다. 상기 안테나는 상면에 패치 모양의 방사체를 구비하고, 저면에 테두리부를 구비하며 상기 테두리부를 제외한 저면에 슬롯을 구비한 금속 박막 형태의 접지면을 가지는 유전체 기판;및 상기 유전체 기판의 하부에 이격되어 형성되고, 상면에 신호선을 구비하여 상기 유전체 기판과는 상기 테두리부를 통해 접합되며, 상기 유전체 기판과 함께 내부공간을 형성하는 RF-MEMS 소자용 유전체 기판을 포함한다. 단일 공정으로 RF-MEMS 패키징과 안테나를 함께 제작할 수 있어 안테나의 집적도를 높일 수 있다. RF-MEMS, 패키징, 안테나, 슬롯, 패치, 유전체 기판
Int. CL H01Q 13/08 (2006.01) H01Q 1/38 (2006.01)
CPC H01Q 13/085(2013.01) H01Q 13/085(2013.01) H01Q 13/085(2013.01) H01Q 13/085(2013.01)
출원번호/일자 1020080077738 (2008.08.08)
출원인 중앙대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1012175-0000 (2011.01.25)
공개번호/일자 10-2010-0018963 (2010.02.18) 문서열기
공고번호/일자 (20110207) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.08.08)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 중앙대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 동작구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 백창욱 대한민국 서울특별시 서초구
2 임성준 대한민국 경기도 안양시 동안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 양문옥 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 중앙대학교 산학협력단 대한민국 서울 동작구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2008.08.08 수리 (Accepted) 1-1-2008-0569314-44
2 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.08.08 수리 (Accepted) 1-1-2008-0569077-17
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.12.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0518785-21
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.02.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0095922-13
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2010-0095923-58
6 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2010.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0272177-03
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.08.30 수리 (Accepted) 1-1-2010-0560555-34
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.08.30 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2010-0560543-97
9 등록결정서
Decision to grant
2010.12.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0600638-00
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.07.20 수리 (Accepted) 4-1-2011-5148883-62
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.07.20 수리 (Accepted) 4-1-2011-5148879-89
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000494-54
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2014-5123944-33
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.04 수리 (Accepted) 4-1-2018-5125629-51
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.29 수리 (Accepted) 4-1-2019-5151122-15
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.01 수리 (Accepted) 4-1-2019-5153932-16
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
상부 유전체 기판; 상기 상부 유전체 기판의 상면에 설치되어, 전파를 방사 또는 수신하기 위한 패치 모양의 방사체; 상기 상부 유전체 기판의 저면에 설치되며, 슬롯이 형성된 금속 박막 형태로 구성되는 접지면; 상기 접지면의 주변을 따라 하측으로 연장 형성되는 테두리부; 상면에 신호선이 형성되며, 상기 테두리부와 접하도록 형성되어 상기 상부 유전체 기판 저면의 접지면와 함께 내부 공간을 형성하는 하부 유전체 기판; 그리고, 상기 신호선에 탑재되도록 상기 내부 공간에 설치되는 RF-MEMS 소자를 포함하는 안테나
2 2
제1항에 있어서, 상기 RF-MEMS 소자는 RF-MEMS 스위치 또는 RF-MEMS 튜너블 커패시터로 구성되는 것을 특징으로 하는 안테나
3 3
제1항에 있어서, 상기 상부 유전체 기판은 수정(quartz) 기판인 것을 특징으로 하는 안테나
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 패치 모양의 방사체, 상기 접지면 및 상기 신호선 중 적어도 하나는 금 (Au)박막으로 이뤄진 것을 특징으로 하는 안테나
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 테두리부는 실리콘으로 이뤄진 것을 특징으로 하는 안테나
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 하부 유전체 기판은 유리 기판인 것을 특징으로 하는 안테나
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 테두리부와 상기 하부 유전체 기판은 벤조시클로부텐 (Benzocyclobutene)을 이용하여 접합되는 것을 특징으로 하는 안테나
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 내부 공간은 상기 접지면과 상기 하부 유전체 기판 사이에서 유전 물질의 역할을 수행하는 것을 특징으로 하는 안테나
9 9
상부 유전체 기판의 상면에 전파를 방사 또는 수신하기 위한 방사체를 형성하는 단계; 상기 상부 유전체 기판의 저면에 테두리부를 형성하는 단계; 상기 상부 유전체 기판의 저면 중 상기 테두리부를 제외한 부분에 슬롯을 구비한 금속 박막 형태의 접지면을 형성하는 단계; 하부 유전체 기판의 상면에 신호선을 형성하는 단계; 상기 신호선에 RF-MEMS 소자를 탑재하는 단계; 그리고, 상기 하부 유전체 기판을 상기 테두리부에 접합시켜 상기 RF-MEMS 소자를 상기 상부 유전체 기판과 상기 하부 유전체 기판 사이에 형성되는 내부 공간에 패키징시키는 단계;를 포함하는 안테나의 제조방법
10 10
제 9 항에 있어서, 상기 방사체 또는 상기 접지면은 금속 박막의 리프트-오프 공정, 금속 증착 및 식각 공정, 및 금속 도금 공정 중 적어도 하나를 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 안테나의 제조방법
11 11
제 9 항에 있어서, 상기 테두리부는 반응성 이온 식각 공정 혹은 실리콘 습식 식각 공정을 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 안테나의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 서울특별시 중앙대학교 산학협력단 서울시 산학연 협력사업 (서울시 신기술 연구개발지원사업) Adaptive MIMO 통신을 위한 RF MEMS 기반의 편파 Reconfigurable 안테나 개발