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서로 밀착되도록 배치된 두 개의 탄성평판들;
상기 밀착된 두 개의 탄성평판들의 외면에 각각 배치되는 두 조의 압전체들;
서로 반파장의 위상 차이가 나도록 동기되어 진행방향으로 향하는 진행 파동들이 상기 두 개의 탄성평판에 각각 형성되도록, 상기 두 조의 압전체들에 정현파를 인가하는 전원부; 및
상기 서로 반파장의 위상 차이가 나는 진행 파동들로 인해 상기 탄성평판들 사이에 일정 공간이 형성되어 상기 진행방향으로 연동운동이 일어날 때, 상기 공간에 유체가 채워져서 상기 진행방향으로 이동될 수 있도록 상기 탄성평판들에 형성되는 유체 유입구 및 유체 유출구를 포함하되,
상기 압전체는 반복적으로 배치되는 서로 반대의 두께 방향으로 분극된 영역을 갖는 두 개의 압전평판들로 구성되고,
상기 두 개의 압전평판들이 1/4 파장 이격되어 상기 탄성평판 외면에 배치된 것을 특징으로 하는 압전펌프
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서로 밀착되도록 배치된 두 개의 탄성평판들;
상기 밀착된 두 개의 탄성평판들의 외면에 각각 배치되는 두 조의 압전체들;
서로 반파장의 위상 차이가 나도록 동기되어 진행방향으로 향하는 진행 파동들이 상기 두 개의 탄성평판에 각각 형성되도록, 상기 두 조의 압전체들에 정현파를 인가하는 전원부; 및
상기 서로 반파장의 위상 차이가 나는 진행 파동들로 인해 상기 탄성평판들 사이에 일정 공간이 형성되어 상기 진행방향으로 연동운동이 일어날 때, 상기 공간에 유체가 채워져서 상기 진행방향으로 이동될 수 있도록 상기 탄성평판들에 형성되는 유체 유입구 및 유체 유출구를 포함하되,
상기 압전체들은 각각 반복적으로 배치되는 서로 반대의 두께 방향으로 분극된 영역을 갖는 두 개의 압전평판으로 구성되고,
상기 두 개의 압전평판 중 어느 한 압전평판의 분극 영역 경계가 다른 압전 평판의 분극 영역의 중앙에 위치하도록 포개어 형성되어, 상기 탄성평판 외면에 배치된 것을 특징으로 하는 압전펌프
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제 2항 또는 제 3항에 있어서,
상기 두 개의 탄성평판들의 내부에 형성되는 밀폐수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압전펌프
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제 2항 또는 제 3항에 있어서,
상기 두 개의 탄성평판들의 외부에 형성되는 밀폐수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압전펌프
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제 2항 또는 제 3항에 있어서,
상기 압전체들에 공급되는 정현파의 위상을 반전시켜 인가하여 양방향으로 동작하는 것을 특징으로 하는 압전펌프
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서로 밀착되도록 배치된 두 개의 탄성평판들;
상기 밀착된 두 개의 탄성평판들의 외면에 각각 배치되는 두 조의 압전체들;
서로 반파장의 위상 차이가 나도록 동기되어 진행방향으로 향하는 진행 파동들이 상기 두 개의 탄성평판에 각각 형성되도록, 상기 두 조의 압전체들에 정현파를 인가하는 전원부; 및
상기 서로 반파장의 위상 차이가 나는 진행 파동들로 인해 상기 탄성평판들 사이에 일정 공간이 형성되어 상기 진행방향으로 연동운동이 일어날 때, 상기 공간에 유체가 채워져서 상기 진행방향으로 이동될 수 있도록 상기 탄성평판들에 형성되는 유체 유입구 및 유체 유출구를 포함하되,
상기 압전체들에 공급되는 정현파가 차단되면 상기 탄성평판의 연동운동으로 인한 공간이 소멸되어 유체의 흐름이 차단되는 것을 특징으로 하는 압전펌프
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서로 밀착되도록 배치되고, 유체 유출입을 위한 유체 유입구 및 유체 유출구가 형성되는 두 개의 탄성평판들; 및
상기 밀착된 두 개의 탄성평판들의 외면에 각각 배치되는 두 조의 압전체들을 포함하되,
상기 두 조의 압전체들은, 서로 반파장의 위상 차이가 나도록 동기되어 진행방향으로 향하는 진행 파동들이 상기 두 개의 탄성평판에 각각 형성될 수 있도록 외부 전원으로부터 정현파를 인가받을 수 있고,
상기 진행파동에 인하여 상기 탄성평판들 사이에 일정 공간이 형성되어 상기 진행방향으로 연동운동이 일어날 때, 상기 공간에 유체가 채워져서 상기 진행방향으로 이동될 수 있으며, 상기 압전체는 반복적으로 배치되는 서로 반대의 두께 방향으로 분극된 영역을 갖는 두 개의 압전평판으로 구성되고,
상기 두 개의 압전평판들이 1/4 파장 이격되어 상기 탄성평판 외면에 배치된 것을 특징으로 하는 압전펌프
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서로 밀착되도록 배치되고, 유체 유출입을 위한 유체 유입구 및 유체 유출구가 형성되는 두 개의 탄성평판들; 및
상기 밀착된 두 개의 탄성평판들의 외면에 각각 배치되는 두 조의 압전체들을 포함하되,
상기 두 조의 압전체들은, 서로 반파장의 위상 차이가 나도록 동기되어 진행방향으로 향하는 진행 파동들이 상기 두 개의 탄성평판에 각각 형성될 수 있도록 외부 전원으로부터 정현파를 인가받을 수 있고,
상기 진행파동에 인하여 상기 탄성평판들 사이에 일정 공간이 형성되어 상기 진행방향으로 연동운동이 일어날 때, 상기 공간에 유체가 채워져서 상기 진행방향으로 이동될 수 있으며, 상기 압전체는 반복적으로 배치되는 서로 반대의 두께 방향으로 분극된 영역을 갖는 두 개의 압전평판으로 구성되고,
상기 두 개의 압전평판 중 어느 한 압전평판의 분극 영역 경계가 다른 압전 평판의 분극 영역의 중앙에 위치하도록 포개어 형성되어, 상기 탄성평판 외면에 배치된 것을 특징으로 하는 압전펌프
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제 9항 또는 제 10항에 있어서,
상기 두 개의 탄성평판들의 내부에 형성되는 밀폐수단이 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압전펌프
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제 9항 또는 제 10항에 있어서,
상기 두 개의 탄성평판들의 외부에 형성되는 밀폐수단이 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압전펌프
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서로 밀착되도록 배치되고, 유체 유출입을 위한 유체 유입구 및 유체 유출구가 형성되는 두 개의 탄성평판들; 및
상기 밀착된 두 개의 탄성평판들의 외면에 각각 배치되는 두 조의 압전체들을 포함하는 압전펌프를 제어하는 방법에 있어서,
서로 반파장의 위상 차이가 나도록 동기되어 진행방향으로 향하는 진행 파동들이 상기 두 개의 탄성평판에 각각 형성될 수 있도록 상기 두 조의 압전체들에 정현파를 인가하는 단계;
상기 진행파동에 의하여 상기 탄성평판들 사이에 일정 공간이 형성되어 상기 진행방향으로 연동운동이 일어날 때, 상기 공간에 유체가 채워져 상기 진행방향으로 유체를 이동시키는 단계를 포함하는 압전펌프 제어 방법
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