| 요약 |
본 발명은 미소선형변위의 측정을 위한 접촉식 전기용량형 센서에 관한 것이다. 본 발명은, 고정물체상에 전도성패턴이 형성되고 상기 전도성패턴을 균일하게 코팅한 절연막을 포함하는 고정요소, 이동물체상에 전도성패턴이 형성되고 상기 전도성패턴을 균일하게 코팅한 절연막을 포함하며 상기 절연막이 상기 고정요소의 절연막과 맞닿게 배치되는 이동요소, 상기 고정요소 또는 이동요소의 어느 하나의 상기 전도성패턴에 공급되는 전원 및 상기 전원이 인가되지 않는 상기 고정요소 또는 이동요소의 어느 하나의 전도성패턴에 연결되어 상기 이동요소의 이동에 따른 상기 고정요소와 이동요소 사이의 전기용량의 변화를 검출하는 신호검출수단을 포함한다. 따라서, 면적변화 측정 방식의 접촉식 전기용량형 센서가 제공되게 되어, 기계적 설치오차 및 구동방향과 측정방향의 불일치로 인한 오차를 줄일 수 있고 구동방향 이외의 변위오차가 포함될 여지가 없어 신뢰성 높은 측정이 가능하며, 구동방향과 측정방향이 일치하므로 구성시 공간절감을 이룰 수 있고, 미소변위의 측정은 물론 넓은 범위의 변위측정도 안정적으로 가능하여, 종국적으로 전반적인 성능이 대폭 향상되는 효과가 있다. 접촉식, 전기, 용량형, 센서, 변위
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