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ZnO 나노와이어의 제조방법 및 그 방법에 의해 제조된 ZnO 나노와이어

  • 기술번호 : KST2015187678
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 ZnO 나노와이어의 제조방법 및 그 방법에 의해 제조된 ZnO 나노와이어가 개시된다. 개시된 ZnO 나노와이어의 제조방법은 아연 칼코게나이드(zinc chalcogenide)를 용매에 용해시켜 아연 칼코게나이드 용액을 제조하는 단계(S10), 상기 아연 칼코게나이드 용액을 기판에 도포하는 단계(S20), 상기 도포된 아연 칼코게나이드 용액을 건조하는 단계(S30), 및 상기 단계(S30)를 거친 상기 기판을 어닐링하는 단계(S40)를 포함한다.
Int. CL C01G 9/02 (2006.01.01) B82B 3/00 (2017.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020140036980 (2014.03.28)
출원인 삼성전자주식회사, 아주대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0112547 (2015.10.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.03.12)
심사청구항수 18

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 아주대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 영통구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조경상 대한민국 경기도 과천시 양
2 김상욱 대한민국 경기도 수원시 영통구
3 최동혁 대한민국 경기도 수원시 영통구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.03.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-0302465-98
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2019.03.12 수리 (Accepted) 1-1-2019-0252768-93
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.01.23 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0034860-77
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.03.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0227182-22
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.05.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0552230-14
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2020-0552229-78
8 등록결정서
Decision to grant
2020.10.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0750077-60
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번호 청구항
1 1
아연 칼코게나이드(zinc chalcogenide)를 용매에 용해시켜 아연 칼코게나이드 용액을 제조하는 단계(S10);상기 아연 칼코게나이드 용액을 기판에 도포하는 단계(S20);상기 도포된 아연 칼코게나이드 용액을 건조하는 단계(S30); 및상기 단계(S30)를 거친 상기 기판을 산소의 존재하에 어닐링하는 단계(S40)를 포함하는 ZnO 나노와이어의 제조방법
2 2
제1항에 있어서,상기 아연 칼코게나이드는 p형 반도체인 ZnO 나노와이어의 제조방법
3 3
제1항에 있어서,상기 아연 칼코게나이드는 ZnTe, ZnSe, ZnS 또는 이들의 조합을 포함하는 ZnO 나노와이어의 제조방법
4 4
제1항에 있어서,상기 용매는 히드라진, 히드라진 수화물, 메틸 히드라진, 디메틸 히드라진, 에틸렌디아민, 1,3-디아미노프로판, 페닐렌디아민, 에틸아민, 프로필아민, 디에틸아민, 또는 이들의 조합을 포함하는 ZnO 나노와이어의 제조방법
5 5
제1항에 있어서,상기 단계(S10)는 아연 칼코게나이드의 차원 축소(dimensional reduction)에 의해 수행되는 ZnO 나노와이어의 제조방법
6 6
제5항에 있어서,상기 단계(S10)는,상기 용매에 칼코겐을 용해시켜 칼코겐 용액을 얻는 단계(S10-1);상기 칼코겐 용액에 상기 아연 칼코게나이드를 첨가하여 제1 슬러리를 얻는 단계(S10-2);상기 제1 슬러리를 가열하여 상기 아연 칼코게나이드를 상기 칼코겐 용액에 용해시킴으로써 아연 칼코게나이드 용액을 포함하는 제2 슬러리를 얻는 단계(S10-3); 및 상기 제2 슬러리를 여과하여 제1 아연 칼코게나이드 용액을 얻는 단계(S10-4)를 포함하는 ZnO 나노와이어의 제조방법
7 7
제6항에 있어서,상기 칼코겐은 Te, Se, S 또는 이들의 조합을 포함하는 ZnO 나노와이어의 제조방법
8 8
제6항에 있어서,상기 단계(S10-3)는 70~200℃의 온도에서 수행되는 ZnO 나노와이어의 제조방법
9 9
제6항에 있어서,상기 단계(S10)는,상기 제1 아연 칼코게나이드 용액을 과량의 세정용매에 첨가하여 아연 칼코게나이드가 침전되어 있는 제3 슬러리를 얻는 단계(S10-5);상기 제3 슬러리를 여과하여 상기 침전된 아연 칼코게나이드를 분리하는 단계(S10-6); 및상기 분리된 아연 칼코게나이드를 상기 용매에 용해시켜 제2 아연 칼코게나이드 용액을 제조하는 단계(S10-7)를 더 포함하는 ZnO 나노와이어의 제조방법
10 10
제9항에 있어서,상기 세정용매는 메탄올, 에탄올, 부탄올, 이소프로판올, 아세톤 또는 이들의 조합을 포함하는 ZnO 나노와이어의 제조방법
11 11
제1항에 있어서,상기 단계(S10)는 아연 및 칼코겐을 상기 용매에 용해시킴에 의해 수행되는 ZnO 나노와이어의 제조방법
12 12
제1항에 있어서,상기 아연 칼코게나이드 용액은 10-6~10M의 농도를 갖는 ZnO 나노와이어의 제조방법
13 13
제1항에 있어서,상기 단계(S20)는 상기 기판에의 상기 아연 칼코게나이드 용액의 적하, 또는 상기 적하 후의 스핀코팅에 의해 수행되는 ZnO 나노와이어의 제조방법
14 14
제1항에 있어서,상기 단계(S30)는 70~200℃에서 수행되는 ZnO 나노와이어의 제조방법
15 15
제1항에 있어서,상기 단계(S40)는 공기중에서 수행되는 ZnO 나노와이어의 제조방법
16 16
제1항에 있어서,상기 단계(S40)는 100~300℃에서 수행되는 ZnO 나노와이어의 제조방법
17 17
제1항에 있어서,상기 단계(S40)에서 얻어진 ZnO 나노와이어는 상기 기판에 붙어 있지 않은 free-standing한 형태인 ZnO 나노와이어의 제조방법
18 18
제1항 내지 제17항 중 어느 한 항에 따른 ZnO 나노와이어의 제조방법에 의해 제조된 것으로, 하기 화학식 1로 표시되는 ZnO 나노와이어:[화학식 1]ZnXαOβ상기 식에서, X는 Te, Se 또는 S이고, α는 0~0
19 19
제18항에 있어서,상기 ZnO 나노와이어는 유기 리간드를 포함하지 않는 ZnO 나노와이어
20 20
제18항에 있어서,상기 ZnO 나노와이어는 n형 반도체인 ZnO 나노와이어
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1 US09530639 US 미국 FAMILY
2 US20150279669 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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1 US2015279669 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US9530639 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.