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성막 챔버 내부를 일정 압력으로 유지하는 단계;
유량제어수단을 통해 운반가스의 유량이 노즐 분사구의 단위면적(㎟)당 250∼10,000sccm이 되게 조절하는 단계;
유량이 조절된 운반가스를 5㎚∼0
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제1항에 있어서, 성막이 이루어지는 동안 상기 성막 챔버 내부의 압력은 1∼760torr 범위로 유지되며, 상기 운반가스는 공기(Air), 산소(O2), 질소(N2), 아르곤(Ar) 또는 헬륨(He)인 것을 특징으로 하는 세라믹 폴리머 복합체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 기판의 성막하려는 면적에 걸쳐 균일한 두께로 성막이 이루어지게 하기 위하여 상기 기판을 고정하는 홀더에 의해 상기 기판이 0
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제1항에 있어서, 상기 세라믹 분말은, 알루미나(Al2O3) 분말, 실리카(SiO2) 분말 또는 질화알루미늄(AlN) 분말이고, 상기 다공성 세라믹 구조체의 기공율은 10∼50부피%를 이루며, 상기 다공성 세라믹 구조체의 기공은 1㎚∼2㎛ 범위의 크기를 이루는 것을 특징으로 하는 세라믹 폴리머 복합체의 제조방법
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제1항에 있어서, 감압 시 상기 진공 챔버의 압력은 상압보다 낮은 압력으로서 1∼700㎜Hg 범위로 이루고, 상기 감압 처리는 1분∼1시간 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 세라믹 폴리머 복합체의 제조방법
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제1항에 있어서, 폴리머 입자간 결합을 강화하여 기계적 강도 및 내열 특성을 개선하기 위하여 상기 폴리머가 타는 온도보다 낮은 150℃∼300℃의 온도에서 10분∼10시간 동안 열처리를 실시하는 단계를 더 포함하는 세라믹 폴리머 복합체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 건조 공정은, 상기 폴리머가 타는 온도보다 낮은 60∼180℃의 온도에서 용매가 증발되게 10분∼2시간 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 세라믹 폴리머 복합체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 폴리머는,
시아네이트 에스테르, 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리페닐렌 옥사이드, 변성 폴리페닐렌 옥사이드, 폴리페닐렌 에테르, 폴리아미드, 폴리에테르이미드, 폴리아미드이미드, 폴리에테르아미드, 폴리카보네이트, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 비정질 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 글리콜 변성 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 시클로헥산 변성 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리부틸렌 테레프탈레이트, 폴리스티렌, 폴리염화비닐, 폴리비닐플루오라이드, 폴리클로로트리플루오로에틸렌, 폴리우레탄, 폴리프로필렌, 폴리아크릴, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리에테르 케톤, 폴리에테르 케톤 케톤, 폴리에틸렌, 폴리설폰, 폴리페닐렌 설파이드, 폴리에테르설폰, 설폰화된 폴리부틸렌 테레프탈레이트, 폴리아세탈, 아크릴로니트릴-부타디엔-스티렌, 에틸렌 프로필렌 고무, 에틸렌 프로필렌 디엔 단량체 및 폴리 유산 중에서 선택된 적어도 하나 이상의 물질인 것을 특징으로 하는 세라믹 폴리머 복합체의 제조방법
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제1항에 기재된 방법에 의해 제조된 세라믹 폴리머 복합체
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