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기판 상에 번갈아 적층된 강유전체 박막 및 산화물이 첨가된 강유전체 박막을 포함하는, 적층 구조체
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2
기판;
상기 기판 상에 형성된 산화물 강유전체 박막; 및
상기 산화물이 첨가된 강유전체 박막 상에 형성된 강유전체 박막을 포함하고,
상기 산화물이 첨가된 강유전체 박막과 상기 강유전체 박막이 적어도 한번 번갈아 적층되는, 적층 구조체
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3
제2항에 있어서,
상기 산화물이 첨가된 강유전체 박막과 상기 강유전체 박막의 격자 상수 어긋 정도는 0 % 내지 0
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4
제2항에 있어서,
상기 기판은 산화물 기판인, 적층 구조체
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5
제4항에 있어서,
상기 산화물 기판과 상기 산화물 기판에 접하는 상기 산화물이 첨가된 강유전체 박막의 격자 상수의 어긋 정도는 0 % 내지 10 %인, 적층 구조체
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6
제2항에 있어서,
상기 산화물이 첨가된 강유전체 박막을 이루는 산화물 원자의 최외각 전자는 3 이하인, 적층 구조체
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7
제2항에 있어서,
상기 산화물이 첨가된 강유전체 박막의 두께는 상기 산화물이 첨가된 강유전체 박막에 포함된 강유전체 격자 상수의 1~10배의 두께인, 적층 구조체
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8
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 강유전체 박막 및 산화물이 첨가된 강유전체 박막의 두께는 동일한, 적층 구조체
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9
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 강유전체 박막 및 산화물이 첨가된 강유전체 박막 중 어느 하나가 상대적으로 두꺼운, 적층 구조체
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10
기판을 마련하는 단계;
상기 기판 상에 산화물이 첨가된 강유전체 박막을 형성하는 단계;
상기 산화물이 첨가된 강유전체 박막 상에 강유전체 박막을 형성하는 단계; 및
상기 산화물이 첨가된 강유전체 박막 형성 단계에서 상기 강유전체 박막의 형성 단계에 이르는 과정을 적어도 한번 수행하는, 적층 구조체 제조 방법
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11
제10항에 있어서,
상기 산화물이 첨가된 강유전체 박막과 강유전체 박막의 격자 상수 어긋 정도는 0 % 내지 0
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12
제10항에 있어서,
상기 기판은 산화물 기판인, 적층 구조체 제조 방법
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13
제12항에 있어서,
상기 산화물 기판과 상기 산화물 기판에 접하는 상기 산화물이 첨가된 강유전체 박막의 격자 상수의 어긋 정도는 0% 내지 10%인, 적층 구조체 제조 방법
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14
제10항에 있어서,
상기 산화물이 첨가된 강유전체 박막을 이루는 산화물 원자의 최외각 전자는 3 이하인, 적층 구조체 제조 방법
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15
제10항에 있어서,
상기 산화물이 첨가된 강유전체 박막을 산화물이 첨가된 강유전체 박막에 포함된 강유전체 격자 상수의 1~10배의 두께로 형성하는, 적층 구조체 제조 방법
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16
제10항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 강유전체 박막 및 산화물이 첨가된 강유전체 박막을 동일한 두께로 형성하는, 적층 구조체 제조 방법
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17
제10항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 강유전체 박막 및 산화물이 첨가된 강유전체 박막 중 어느 하나를 상대적으로 두껍게 형성하는, 적층 구조체 제조 방법
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