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스핀 스프레이법을 이용한 태양전지용 CuInS2 박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015190072
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 스핀 스프레이(spin spray)법을 이용한 태양전지용 CuInS2 박막의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 본 발명은 (i) 기판을 세정하는 단계(제1단계); (ii) 염화구리, 염화인듐 및 황화나트륨으로 이루어진 군에서 선택된 전구체를 물에 용해하여 증착용 전구체 용액을 준비하는 단계(제2단계); (iii) 스핀코터에 로딩된 기판에 염화구리 수용액을 분무한 후, 황화나트륨 수용액을 분무하는 단계(제3단계); (iv) 염화구리 및 황화나트륨이 분무된 기판에 염화인듐을 분무한 후, 황화나트륨 수용액을 분무하는 단계(제4단계); (v) 제3단계 및 제4단계 분무를 지그재그형으로 반복하여 분무하여 실온 증착시키는 단계(제5단계); 및 (vi) 열처리하는 단계(제6단계)를 포함하여 구성되는 스핀 스프레이(spin spray)법을 이용한 태양전지용 CuInS2 박막의 제조방법에 관한 것이다. 스핀 스프레이, CuInS2, 염화구리, 염화인듐, 황화나트륨, 태양전지
Int. CL H01L 31/18 (2014.01) H01L 31/0445 (2014.01)
CPC H01L 31/0322(2013.01) H01L 31/0322(2013.01) H01L 31/0322(2013.01) H01L 31/0322(2013.01) H01L 31/0322(2013.01)
출원번호/일자 1020090107654 (2009.11.09)
출원인 영남대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1093831-0000 (2011.12.07)
공개번호/일자 10-2011-0051012 (2011.05.17) 문서열기
공고번호/일자 (20111213) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.11.09)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 영남대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 경산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 류시옥 대한민국 경상북도 경산시
2 신형섭 대한민국 대구광역시 달서구
3 박미선 대한민국 대구광역시 달서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인태백 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** 이노플렉스 *차 ***호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 에스엠케이 경기도 안양시 동안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.11.09 수리 (Accepted) 1-1-2009-0687311-87
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.03.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0171446-23
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2011-0403149-52
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.06.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0496230-11
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-0496231-56
6 등록결정서
Decision to grant
2011.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0705581-15
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2014-5029868-88
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2014-5037590-23
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2017-5175631-14
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5220555-67
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(i) 기판을 세정하는 단계(제1단계); (ii) 염화구리, 염화인듐 및 황화나트륨으로 이루어진 군에서 선택된 전구체를 물에 용해하여 증착용 전구체 용액을 준비하는 단계(제2단계); (iii) 스핀코터에 로딩된 기판에 염화구리 수용액을 분무한 후, 황화나트륨 수용액을 분무하는 단계(제3단계); (iv) 염화구리 및 황화나트륨이 분무된 기판에 염화인듐을 분무한 후, 황화나트륨 수용액을 분무하는 단계(제4단계); (v) 제3단계 및 제4단계 분무를 지그재그형으로 반복하여 분무하여 실온 증착시키는 단계(제5단계); 및 (vi) 열처리하여 CuInS2 박막을 제조하는 단계(제6단계)를 포함하며, 상기 CuInS2 박막은 구리, 인듐 및 황을 몰비율로 1:1:2로 함유하는 것을 특징으로 하는, 스핀 스프레이(spin spray)법을 이용한 태양전지용 CuInS2 박막의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 제1단계는 (i) 기판을 농 수산화나트륨 용액에서 가열하여 세정하는 단계; 및 (ii) 기판에 초순수물을 가하여 초음파 세정하는 단계를 포함하는, 스핀 스프레이(spin spray)법을 이용한 태양전지용 CuInS2 박막의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 제6단계는 질소 분위기 하 100-600℃에서 1-2 시간 동안 열처리하는, 스핀 스프레이(spin spray)법을 이용한 태양전지용 CuInS2 박막의 제조방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 영남대학교 산학협력단 산학연 공동 기술 개발 지원사업 저온공정을 이용한 박막태양전지 개발