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태양전지의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015190374
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요약 본 발명은 태양전지 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 태양전지 제조방법은, (a) 태양전지 기판(100)의 일면에 슬레이트(Slate) 구조(110)를 형성하는 단계; 및 (b) 슬레이트 구조(110)가 형성된 태양전지 기판(100)의 일면에 텍스쳐링을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 31/0236 (2006.01) H01L 31/042 (2014.01) H01L 31/18 (2006.01)
CPC H01L 31/02363(2013.01) H01L 31/02363(2013.01)
출원번호/일자 1020130039370 (2013.04.10)
출원인 주식회사 이앤알솔라, 영남대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1561455-0000 (2015.10.13)
공개번호/일자 10-2014-0099161 (2014.08.11) 문서열기
공고번호/일자 (20151020) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020130010441   |   2013.01.30
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.04.10)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 이앤알솔라 대한민국 경상북도 구미시
2 영남대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 경산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최현곤 대한민국 경상북도 구미시
2 정세영 대한민국 경상북도 구미시
3 백승엽 대한민국 경상북도 구미시
4 정재학 대한민국 경상북도 경산시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 수 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **, *층(역삼동, 케이앤와이빌딩)
2 김한 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 이앤알솔라 대한민국 경상북도 구미시
2 영남대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 경산시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.04.10 수리 (Accepted) 1-1-2013-0312430-45
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.02.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2014-5029868-88
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.03.10 수리 (Accepted) 9-1-2014-0022119-79
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2014-5037590-23
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.07.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0510552-87
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5111746-74
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.09.29 수리 (Accepted) 1-1-2014-0929122-26
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-1036316-10
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-1155899-18
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2014-1253004-59
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.12.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1253010-23
13 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2015.02.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0086931-32
14 [복대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Sub-agent] Report on Agent (Representative)
2015.03.24 수리 (Accepted) 1-1-2015-0285802-72
15 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.03.27 수리 (Accepted) 1-1-2015-0302986-08
16 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.03.27 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0302985-52
17 등록결정서
Decision to grant
2015.07.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0474491-90
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2017-5175631-14
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5220555-67
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번호 청구항
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(a) 태양전지 기판의 일면에 슬레이트(Slate) 구조를 형성하는 단계; 및(b) 상기 슬레이트 구조가 형성된 태양전지 기판의 일면에 텍스쳐링을 수행하는 단계를 포함하며,상기 (a) 단계는,(a1) 상기 태양전지 기판의 일면에 포토레지스트층을 형성하는 단계;(a2) 상기 포토레지스트층에 패턴을 형성하는 단계; 및(a3) 상기 포토레지스트층의 패턴에 대응하도록 상기 태양전지 기판을 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조방법
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(a) 태양전지 기판의 일면에 슬레이트(Slate) 구조를 형성하는 단계; 및(b) 상기 슬레이트 구조가 형성된 태양전지 기판의 일면에 텍스쳐링을 수행하는 단계를 포함하며,상기 (a) 단계는,(a1) 상기 태양전지 기판의 일면에 이산화규소(SiO2) 패턴층을 형성하는 단계;(a2) 상기 이산화규소 패턴층과 상기 태양전지 기판을 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조 방법
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(a) 태양전지 기판의 일면에 슬레이트(Slate) 구조를 형성하는 단계; 및(b) 상기 슬레이트 구조가 형성된 태양전지 기판의 일면에 텍스쳐링을 수행하는 단계를 포함하며,상기 (a) 단계는,(a1) 상기 태양전지 기판의 일면에 이산화규소층을 형성하는 단계;(a2) 상기 이산화규소층에 패턴을 형성하는 단계; 및(a3) 상기 이산화규소층과 상기 태양전지 기판을 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조방법
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(a) 태양전지 기판의 일면에 레이저 빔을 조사하여 슬레이트(Slate) 구조를 형성하는 단계; 및(b) 상기 슬레이트 구조가 형성된 태양전지 기판의 일면에 텍스쳐링을 수행하는 단계를 포함하며,상기 태양전지 기판은 결정질 실리콘을 포함하고, 상기 레이저 빔을 조사하여 형성한 상기 슬레이트 구조의 함몰된 부분의 하부 영역이 비정질 실리콘으로 개질되는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조방법
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제4항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 슬레이트 구조는 파동(Wave) 형상 또는 돌출 및 함몰이 연속되는 형상을 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조방법
9 9
제4항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 (b) 단계에서, 수산화칼륨(KOH), 수산화나트륨(NaOH), 질산(HNO3), 황산(H2SO4) 또는 아세트산(CH3COOH)을 사용하여 텍스쳐링을 수행하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조방법
10 10
제4항 내지 제7항 중 어느 한 항의 태양전지 제조방법에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 태양전지 기판
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1 지식경제부 영남대학교 산학협력단 태양광 융합 그린에너지 컨소시엄 공동연구 저가 고효율 실리콘 태양전지를 위한 기술 개발