맞춤기술찾기

이전대상기술

저온 다결정 성장 방법

  • 기술번호 : KST2015193335
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따르면, 기판 상면에 Au(금)가 진공 증착되면서 Au가 결정화되어 Au박막이 형성되는 Au 증착 단계; Au박막 상면에 도전성 소재 또는 반도성 소재를 진공 증착시키는 상부박막 증착 단계; 및 Au박막 상면에 도전성 소재 또는 반도성 소재가 증착되는 동안, 증착되는 도전성 소재 또는 반도성 소재가 결정화된 Au박막의 결정구조에 대응되는 형상으로 성장하여 자기 결정화가 이루어짐에 따라 결정상태의 상부박막이 형성되는 상부박막 자기 결정화 단계를 포함하는 저온 다결정 성장 방법이 제공된다. 개시된 저온 다결정 성장 방법에 따르면, 별도의 열처리와 같은 후속 공정 없이도 저온의 환경에서 결정화도가 높은 Au를 이용함에 따라 기판에 증착되는 비정질 상태의 ITO 또는 Si 소재의 자기 결정화 유도가 가능하여 제작비용 및 제작시간을 크게 절감할 수 있는 이점이 있다.
Int. CL H01L 21/20 (2006.01) H01B 5/14 (2006.01)
CPC H01L 21/02595(2013.01) H01L 21/02595(2013.01) H01L 21/02595(2013.01) H01L 21/02595(2013.01) H01L 21/02595(2013.01) H01L 21/02595(2013.01)
출원번호/일자 1020070096707 (2007.09.21)
출원인 울산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0924461-0000 (2009.10.26)
공개번호/일자 10-2008-0087628 (2008.10.01) 문서열기
공고번호/일자 (20091103) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020070029863   |   2007.03.27
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.09.21)
심사청구항수 3

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 울산대학교 산학협력단 대한민국 울산광역시 남구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김대일 대한민국 울산 남구
2 김유성 대한민국 제주 제주시 외
3 박지혜 대한민국 울산 울주군
4 이재영 대한민국 울산 남구
5 장호성 대한민국 울산 동구
6 최대한 대한민국 울산 남구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 위병갑 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 * *층(대영빌딩)(위특허법률사무소)
2 성정현 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로***,*층(역삼동,성보역삼빌딩)(특허법인충정)
3 황주명 대한민국 서울특별시 중구 세종대로*길 **, *층 (서소문동, 부영빌딩)(특허법인 에이치엠피)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 울산대학교 산학협력단 대한민국 울산광역시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.09.21 수리 (Accepted) 1-1-2007-0689077-64
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2008-5134663-69
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.09.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2008-0062050-47
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0607647-60
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.01.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0047052-12
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2009.01.23 수리 (Accepted) 1-1-2009-0046877-94
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.01.23 수리 (Accepted) 1-1-2009-0047053-68
9 보정요구서
Request for Amendment
2009.02.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0008334-27
10 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2009.02.10 수리 (Accepted) 1-1-2009-0073855-12
11 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.06.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0250578-79
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.07.20 수리 (Accepted) 1-1-2009-0440322-19
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.07.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0440264-58
14 등록결정서
Decision to grant
2009.10.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0432392-08
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.11.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-0057072-80
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.12.30 수리 (Accepted) 4-1-2013-5176374-15
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2016-5080807-13
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.10 수리 (Accepted) 4-1-2020-5154267-54
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
폴리머 기판에 열을 가하지 않은 상태에서 폴리머 기판 상면에 ITO를 진공 증착하면서 비결정 상태의 베이스박막을 형성하는 베이스박막 증착 단계; 폴리머 기판에 열을 가하지 않은 상태에서 상기 베이스박막 상면에 Au를 진공 증착하면서 결정화된 Au 박막을 형성하는 Au 증착 단계; 폴리머 기판에 열을 가하지 않은 상태에서 상기 Au 박막 상면에 ITO를 진공 증착시키는 상부박막 증착 단계; 및 폴리머 기판에 열을 가하지 않은 상태에서 상기 Au 박막 상면에 ITO가 증착됨과 동시에 상기 증착되는 ITO가 상기 결정화된 Au 박막의 결정구조에 대응되는 형상으로 성장하여 자기 결정화가 됨으로써 결정 상태의 상부박막이 형성되는 상부박막 자기 결정화 단계를 포함하는 저온 다결정 성장 방법
2 2
폴리머 기판에 열을 가하지 않은 상태에서 폴리머 기판 상면에 Si를 진공 증착하면서 비결정 상태의 베이스박막을 형성하는 베이스박막 증착 단계; 폴리머 기판에 열을 가하지 않은 상태에서 상기 베이스박막 상면에 Au를 진공 증착하면서 결정화된 Au 박막을 형성하는 Au 증착 단계; 폴리머 기판에 열을 가하지 않은 상태에서 상기 Au 박막 상면에 Si를 진공 증착시키는 상부박막 증착 단계; 및 폴리머 기판에 열을 가하지 않은 상태에서 상기 Au 박막 상면에 Si가 증착됨과 동시에 상기 증착되는 Si가 상기 결정화된 Au 박막의 결정구조에 대응되는 형상으로 성장하여 자기 결정화가 됨으로써 결정 상태의 상부박막이 형성되는 상부박막 자기 결정화 단계를 포함하는 저온 다결정 성장 방법
3 3
삭제
4 4
제 1항 또는 제2항에 있어서, 상기 상부박막 자기 결정화 단계 이후에는, 상기 상부박막 상면에 추가적으로 Au 박막 및 상부박막이 순차적으로 적어도 하나 또는 그 이상의 층으로 증착되도록, 상기 Au 증착 단계, 상기 상부박막 증착 단계 및 상기 상부박막 자기 결정화 단계를 상기 상부박막 상면에서 적어도 한번 또는 그 이상의 횟수로 시행하는 것을 특징으로 하는 저온 다결성 성장 방법
5 5
삭제
6 6
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.