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그라핀 박막의 형성 방법

  • 기술번호 : KST2015193742
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 그라핀(graphene) 박막을 형성하는 방법에 관한 것으로서, 기판 상에 그라핀 분산액을 분무 증착(spray deposition)하여 그라핀 박막을 형성하는 것에 특징이 있다. 상기 그라핀 분산액은 산화 그라파이트에 히드라진을 첨가함으로써 형성될 수 있으며, 상기 산화 그라파이트에 히드라진을 첨가하는 단계 이후에 상기 그라핀 분산액을 희석하는 단계를 더 포함할 수 있다. 본 발명에 따라 형성된 그라핀 박막은 투명하고 높은 도전성을 가진다. 그라핀, 산화 그라파이트, 분무 증착, 히드라진, 환원
Int. CL H01L 21/208 (2006.01) H01L 21/20 (2006.01)
CPC C01B 32/192(2013.01)
출원번호/일자 1020090040947 (2009.05.11)
출원인 울산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1071224-0000 (2011.09.30)
공개번호/일자 10-2010-0121978 (2010.11.19) 문서열기
공고번호/일자 (20111010) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.05.11)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산대학교 산학협력단 대한민국 울산광역시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정진석 대한민국 울산광역시 남구
2 김의정 대한민국 울산광역시 남구
3 팜 베트 홍 베트남 베트남 호치민시티, 탄빈 디스트릭트,
4 팜 하이 딘 베트남 베트남 호치민시티, 푸누안
5 웬 판 투 두엉 베트남 베트남 호치민시티, 빈탄 디스트릭
6 트랑 비엣 쿠엉 베트남 울산 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 위병갑 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 * *층(대영빌딩)(위특허법률사무소)
2 성정현 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로***,*층(역삼동,성보역삼빌딩)(특허법인충정)
3 황주명 대한민국 서울특별시 중구 세종대로*길 **, *층 (서소문동, 부영빌딩)(특허법인 에이치엠피)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 울산대학교 산학협력단 대한민국 울산광역시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.05.11 수리 (Accepted) 1-1-2009-0281799-21
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.11.30 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.12.14 수리 (Accepted) 9-1-2010-0074919-92
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.02.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0077329-17
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.04.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0251644-75
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2011-0341614-49
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.06.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0441603-60
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.06.13 수리 (Accepted) 1-1-2011-0441604-16
9 등록결정서
Decision to grant
2011.09.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0541562-45
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.11.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-0057072-80
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.12.30 수리 (Accepted) 4-1-2013-5176374-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2016-5080807-13
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.10 수리 (Accepted) 4-1-2020-5154267-54
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번호 청구항
1 1
산화 그라파이트를 준비하는 단계; 상온에서, 상기 산화 그라파이트에 히드라진을 첨가하여 그라핀 분산액을 형성하는 단계; 및 상기 그라핀 분산액을, 온도가 100℃ 내지 400℃ 인 기판상에, 30nm 이하의 두께로 분무 증착(spray deposition)하는 단계;를 포함하는 그라핀 박막을 형성하는 방법
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 산화 그라파이트에 히드라진을 첨가하는 단계 이후에 상기 그라핀 분산액을 희석하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그라핀 박막을 형성하는 방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 그라핀 분산액을 희석하는 단계는 상기 그라핀 분산액에 물, 몰과 알코올의 혼합물, 에틸렌글리콜(ethylene glycol), 디메틸포름아미드(DMF; dimethyl formamide), N-메틸피롤리돈(NMP; N-Methyl Pyrrolidone) 또는 디메틸술폭시드 (DMSO; dimethyl sulphoxide)를 첨가하여 상기 그라핀 분산액을 희석하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 그라핀 박막을 형성하는 방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 산화 그라파이트를 준비하는 단계는 상기 산화 그라파이트의 농도가 0
6 6
제1항에 있어서, 상기 산화 그라파이트에 히드라진을 첨가하는 단계는 히드라진/산화 그라파이트의 중량 비율이 10 내지 1000 이 되도록 히드라진을 첨가하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 그라핀 박막을 형성하는 방법
7 7
제1항에 있어서, 상기 그라핀 분산액은 0
8 8
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.