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웨이퍼 오염물질 분석장비 및 방법
- 기술번호 : KST2015196948
- 담당센터 :
- 전화번호 :
| 요약 | 웨이퍼 오염물질 분석장비 및 방법이 제공된다. 상기 웨이퍼 오염물질 분석장비는 오염물질 분석을 위한 웨이퍼를 홀딩하는 웨이퍼 홀더, 상기 웨이퍼로부터 시료를 채취하기 위하여 상기 웨이퍼 측으로 레이저를 조사하는 레이저 애블레이션 장치, 상기 웨이퍼의 전체표면 중 상기 레이저가 조사되어 시료가 채취되는 시료채취 부위를 외부로부터 국부적으로 격리시키는 분석 셀 및, 상기 분석 셀에 연결되며 상기 채취되는 시료로부터 오염물질을 분석하는 분석장치를 포함한다. |
|---|---|
| Int. CL | H01L 21/66 (2006.01) |
| CPC | |
| 출원번호/일자 | 1020060132919 (2006.12.22) |
| 출원인 | 삼성전자주식회사, 단국대학교 산학협력단 |
| 등록번호/일자 | 10-0801708-0000 (2008.01.30) |
| 공개번호/일자 | |
| 공고번호/일자 | (20080211) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2006.12.22) |
| 심사청구항수 | 20 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 삼성전자주식회사 | 대한민국 | 경기도 수원시 영통구 |
| 2 | 단국대학교 산학협력단 | 대한민국 | 경기도 용인시 수지구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 이재석 | 대한민국 | 서울 서초구 |
| 2 | 임흥빈 | 대한민국 | 서울 서초구 |
| 3 | 류원경 | 대한민국 | 서울 서초구 |
| 4 | 채승기 | 대한민국 | 서울 서초구 |
| 5 | 이양구 | 대한민국 | 경기 과천시 |
| 6 | 이헌정 | 대한민국 | 경기 수원시 영통구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 박상수 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 강남대로 ***, ****호 (역삼동, 황화빌딩)(성우국제특허법률사무소) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 삼성전자주식회사 | 대한민국 | 경기도 수원시 영통구 |
| 2 | 단국대학교 산학협력단 | 대한민국 | 경기도 용인시 수지구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 Patent Application |
2006.12.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0956322-18 |
| 2 | 출원인변경신고서 Applicant change Notification |
2007.06.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-5060432-89 |
| 3 | 등록결정서 Decision to grant |
2007.12.06 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0663977-89 |
| 4 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2008.02.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2008-5020510-08 |
| 5 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2012.03.07 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5047629-25 |
| 6 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2012.06.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5132663-40 |
| 7 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.01.06 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-0000870-18 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.10.26 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5239146-54 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 오염물질 분석을 위한 웨이퍼를 홀딩하는 웨이퍼 홀더;상기 웨이퍼로부터 시료를 채취하기 위하여 상기 웨이퍼 측으로 레이저를 조사하는 레이저 애블레이션 장치;상기 웨이퍼의 전체표면 중 상기 레이저가 조사되어 시료가 채취되는 시료채취 부위를 외부로부터 국부적으로 격리시키는 분석 셀; 및, 상기 분석 셀에 연결되며, 상기 채취되는 시료로부터 오염물질을 분석하는 분석장치를 포함하는 웨이퍼 오염물질 분석장비 |
| 2 |
2 제 1항에 있어서, 상기 웨이퍼 홀더는 상기 웨이퍼가 안착되는 플레이트를 포함하되, 상기 플레이트에는 상기 웨이퍼를 흡착하기 위하여 진공압이 작용하는 진공홀이 다수 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 오염물질 분석장비 |
| 3 |
3 제 2항에 있어서, 상기 진공홀들은 상기 플레이트의 중앙을 기준으로 방사상 형태로 배치된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 오염물질 분석장비 |
| 4 |
4 제 1항에 있어서, 상기 웨이퍼 홀더는 플레이트, 상기 플레이트에 설치되어 상기 웨이퍼의 중앙부를 지지하는 웨이퍼 지지블럭 및, 상기 플레이트에 설치되어 상기 웨이퍼의 가장자리부를 지지하는 다수의 피팅 바를 포함한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 오염물질 분석장비 |
| 5 |
5 제 4항에 있어서, 상기 웨이퍼 지지블럭 및 상기 다수의 피팅 바에는 상기 웨이퍼를 흡착하기 위하여 진공압이 작용하는 진공홀이 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 오염물질 분석장비 |
| 6 |
6 제 4항에 있어서, 상기 피팅 바에는 각각 상기 피팅 바에 상기 웨이퍼가 안착될 때 상기 웨이퍼의 측면을 지지하는 측면지지부가 더 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 오염물질 분석장비 |
| 7 |
7 제 6항에 있어서, 상기 피팅 바는 상기 웨이퍼 지지블럭의 주변에 설치되되, 상기 웨이퍼 지지블럭에 가까워지거나 상기 웨이퍼 지지블럭으로부터 멀어지는 방향으로 이동가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 오염물질 분석장비 |
| 8 |
8 제 1항에 있어서,상기 레이저 애블레이션 장치는 일정 세기 및 일정 특성을 갖는 레이저를 상기 웨이퍼 측으로 조사하는 레이저 조사유닛, 상기 레이저 조사유닛에서 조사된 레이저를 상기 시료채취 부위 측으로 안내하는 광학계 및, 상기 시료채취 부위를 모니터링하기 위한 모니터링 유닛을 포함한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 오염물질 분석장비 |
| 9 |
9 제 8항에 있어서, 상기 레이저 애블레이션 장치는 상기 레이저 조사유닛, 상기 광학계 및, 상기 모니터링 유닛에 각각 연결되되, 상기 모니터링 유닛의 모니터링 값을 이용하여 상기 시료채취 부위 측으로 조사되는 레이저의 횟수, 세기 및 특성을 조절하는 레이저 제어유닛을 더 포함한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 오염물질 분석장비 |
| 10 |
10 제 1항에 있어서, 상기 분석 셀에 연결되며, 상기 웨이퍼로부터 채취되는 시료가 상기 분석장치 측으로 이송되도록 상기 분석 셀의 내부로 캐리어 가스를 공급하는 시료 이송장치를 더 포함한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 오염물질 분석장비 |
| 11 |
11 제 1항에 있어서, 상기 분석 셀은 상기 웨이퍼에 접촉되어 상기 시료채취 부위를 한정하도록 하부가 개구된 중공의 셀 몸체, 상기 셀 몸체 내부로 레이저가 투과되도록 상기 셀 몸체의 상부에 설치된 윈도우, 상기 셀 몸체의 일측면 하부에 설치되며 상기 셀 몸체 내부로의 캐리어 가스 공급을 위한 가스유입부 및, 상기 캐리어 가스에 의하여 상기 셀 몸체 내부에서 채취되는 시료가 상기 분석장치 측으로 이송되도록 상기 셀 몸체의 타측면 상부에 설치되는 가스유출부를 포함한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 오염물질 분석장비 |
| 12 |
12 제 11항에 있어서, 상기 가스유입부는 다수의 가스유입관으로 구성되고, 상기 가스유출부는 단수의 가스유출관으로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 오염물질 분석장비 |
| 13 |
13 제 11항에 있어서, 상기 분석 셀은 상기 셀 몸체의 내부가 외부로부터 격리되도록 상기 셀 몸체의 밑면 둘레에 설치된 실링부재를 더 포함한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 오염물질 분석장비 |
| 14 |
14 제 1항에 있어서,상기 웨이퍼 홀더와 상기 분석 셀에 각각 결합되어 상기 웨이퍼 홀더와 상기 분석 셀을 각각 또는 동시에 이동시킴으로 상기 시료채취 부위를 조정하는 이동장치를 더 포함한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 오염물질 분석장비 |
| 15 |
15 제 14항에 있어서,상기 이동장치는 상기 웨이퍼 홀더에 결합되어 상기 웨이퍼 홀더를 각각 X 방향, Y 방향 및, Z 방향으로 이동시키는 홀더 이동유닛, 상기 분석 셀에 결합되어 상기 분석 셀을 각각 X 방향, Y 방향 및, Z 방향으로 이동시키는 셀 이동유닛 및, 상기 홀더 이동유닛과 상기 셀 이동유닛에 각각 연결되어 상기 웨이퍼 홀더와 상기 분석 셀을 동시에 이동시키는 스캔유닛을 포함한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 오염물질 분석장비 |
| 16 |
16 제 1항에 있어서, 상기 분석장치는 고분해능 유도결합 질량분석기(HR-ICP-MS)를 포함한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 오염물질 분석장비 |
| 17 |
17 오염물질 분석을 위한 웨이퍼를 웨이퍼 홀더에 로딩하고,상기 웨이퍼의 전체표면 중 시료가 채취되는 시료채취 부위를 분석 셀을 이용하여 외부로부터 국부적으로 격리하고,상기 웨이퍼로부터 시료가 채취되도록 상기 시료채취 부위로 레이저를 조사하고,상기 채취되는 시료로부터 오염물질을 분석하는 것을 포함하는 웨이퍼 오염물질 분석방법 |
| 18 |
18 제 17항에 있어서, 상기 채취되는 시료가 상기 분석 셀 내부에서 상기 분석장치 측으로 이송되도록 상기 분석 셀에 연결된 시료 이송장치를 이용하여 상기 분석 셀의 내부로 캐리어 가스를 공급하는 것을 더 포함하는 웨이퍼 오염물질 분석방법 |
| 19 |
19 제 17항에 있어서, 상기 웨이퍼 홀더와 상기 분석 셀에 각각 결합된 이동장치를 이용하여 상기 웨이퍼 홀더와 상기 분석 셀을 각각 이동시킴으로 상기 시료채취 부위를 조정하는 것을 더 포함하는 웨이퍼 오염물질 분석방법 |
| 20 |
20 제 17항에 있어서, 상기 웨이퍼 홀더와 상기 분석 셀에 각각 결합된 이동장치를 이용하여 상기 웨이퍼 홀더와 상기 분석 셀을 동시에 이동시킴으로 상기 시료채취 부위를 조정하는 것을 더 포함하는 웨이퍼 오염물질 분석방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | JP20160127 | JP | 일본 | FAMILY |
| 2 | TW200837863 | TW | 대만 | FAMILY |
| 3 | US07880138 | US | 미국 | FAMILY |
| 4 | US20080149827 | US | 미국 | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | CN101236913 | CN | 중국 | DOCDBFAMILY |
| 2 | DE102007062272 | DE | 독일 | DOCDBFAMILY |
| 3 | JP2008160127 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
| 4 | TW200837863 | TW | 대만 | DOCDBFAMILY |
| 5 | US2008149827 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 6 | US7880138 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
| 공개전문 정보가 없습니다 |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-0801708-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20061222 출원 번호 : 1020060132919 공고 연월일 : 20080211 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20071206 청구범위의 항수 : 20 유별 : H01L 21/66 발명의 명칭 : 웨이퍼 오염물질 분석장비 및 방법 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 단국대학교 산학협력단 경기도 용인시 수지구... |
| 1 |
(권리자) 삼성전자주식회사 경기도 수원시 영통구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 1,161,000 원 | 2008년 01월 31일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 480,000 원 | 2011년 01월 03일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 480,000 원 | 2011년 12월 29일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 480,000 원 | 2013년 01월 02일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 860,000 원 | 2014년 01월 03일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 860,000 원 | 2014년 12월 31일 | 납입 |
| 제 9 년분 | 금 액 | 860,000 원 | 2016년 01월 04일 | 납입 |
| 제 10 년분 | 금 액 | 1,340,000 원 | 2017년 01월 02일 | 납입 |
| 제 11 년분 | 금 액 | 1,340,000 원 | 2018년 01월 02일 | 납입 |
| 제 12 년분 | 금 액 | 1,340,000 원 | 2018년 12월 28일 | 납입 |
| 제 13 년분 | 금 액 | 1,460,000 원 | 2019년 12월 26일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 | 2006.12.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0956322-18 |
| 2 | 출원인변경신고서 | 2007.06.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-5060432-89 |
| 3 | 등록결정서 | 2007.12.06 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0663977-89 |
| 4 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2008.02.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2008-5020510-08 |
| 5 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2012.03.07 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5047629-25 |
| 6 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2012.06.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5132663-40 |
| 7 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.01.06 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-0000870-18 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.10.26 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5239146-54 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1345071288 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 핵06A3003 |
| 연구과제명 | 지능형나노재료개발을위한연구인력양성사업팀 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국학술진흥재단 |
| 연구주관기관명 | 단국대학교 |
| 성과제출연도 | 2008 |
| 연구기간 | 200603~201302 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
특허성과
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| [1020080067431] | 대상물 분석 장치 | 새창보기 |
| [1020060132919] | 웨이퍼 오염물질 분석장비 및 방법 | 새창보기 |
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