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광도파로 영상 검사장치

  • 기술번호 : KST2015198385
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광도파로 영상 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 광도파로 웨이퍼, 칩 바아, 칩을 카메라로 영상을 검출하여 이를 자동으로 검사하여 양품/불량품을 판정할 수 있는 광도파로 영상 검사장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한 광도파로 영상 검사장치는 광도파로 검사 대상물의 영상을 취득하게 되는 카메라와, 상기 카메라에 착탈식으로 구성되어 초점을 조절할 수 있도록 카메라 앞에 부착된 현미경 렌즈와, 상기 카메라 앞쪽을 조명하게 되는 조명수단과, 상기 카메라와 조명수단이 고정되는 서포트 패널과, 상기 서포트 패널이 끼워져 안내하는 가이드와, 상기 가이드를 따라 서포트 패널을 이송시키는 실린더장치를 포함하는 비젼 카메라장치와 상기 비젼 카메라장치에 의해 검출된 영상 정보를 분석하여 양품/불량품을 판정하는 제어장치를 포함한다.
Int. CL G01N 21/88 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01)
CPC G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01)
출원번호/일자 1020110121779 (2011.11.21)
출원인 금오공과대학교 산학협력단, 주식회사 엔티코아, 이주일
등록번호/일자 10-1293841-0000 (2013.07.31)
공개번호/일자 10-2013-0056048 (2013.05.29) 문서열기
공고번호/일자 (20130807) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.11.21)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 금오공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 구미시
2 주식회사 엔티코아 대한민국 경상북도 칠곡군
3 이주일 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최한고 대한민국 경상북도 구미시
2 이주일 대한민국 경북 구미시
3 장성진 대한민국 경상북도 칠곡군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인리온 대한민국 서울특별시 서초구 사평대로 ***, *층(반포동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 금오공과대학교 산학협력단 경상북도 구미시
2 주식회사 엔티코아 경상북도 칠곡군
3 이주일 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.11.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-0920796-10
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.01.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.02.05 수리 (Accepted) 9-1-2013-0005764-19
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.02.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0113553-31
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.04.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0346202-83
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.04.19 수리 (Accepted) 1-1-2013-0346209-02
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2013-5087338-16
8 등록결정서
Decision to grant
2013.07.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0513293-36
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.12.31 수리 (Accepted) 4-1-2013-5177397-22
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2014-5047711-41
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2015-5112070-21
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2015-5157879-38
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5079599-14
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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광도파로 검사 대상물의 영상을 취득하게 되는 카메라와, 상기 카메라에 착탈식으로 구성되어 초점을 조절할 수 있도록 카메라 앞에 부착된 현미경 렌즈와, 상기 카메라 앞쪽을 조명하게 되는 조명수단과, 상기 카메라와 조명수단이 고정되는 서포트 패널과, 상기 서포트 패널이 끼워져 안내하는 가이드와, 상기 가이드를 따라 서포트 패널을 이송시키는 실린더장치를 포함하는 비젼 카메라장치;상기 비젼 카메라장치에 의해 검출된 영상 정보를 분석하여 양품/불량품을 판정하는 제어장치;를 포함하고,상기 검사 대상물은 지그에 끼워진 다수개의 칩들이고, 그 칩들을 검사하기 위하여 상부에 직접조명 검사를 위하여 두 대의 카메라가 설치된 비젼 카메라장치가 설치되고, 측면에는 투과조명 검사를 위하여 두 대의 카메라가 설치된 비젼 카메라장치가 설치되며, 하부에도 직접조명 검사를 위하여 두 대의 카메라가 설치된 비젼 카메라장치가 설치된 것을 특징으로 하는 광도파로 영상 검사장치
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제1항에 있어서,상기 서포트 패널에는 간접조명을 하기 위하여 일정각도로 회전될 수 있도록 간접조명장치가 설치된 것을 특징으로 하는 광도파로 영상 검사장치
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삭제
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제1항에 있어서,상기 검사 대상물은 웨이퍼이고, 그 웨이퍼를 검사하기 위하여 상부에 직접조명 검사를 위하여 세 대의 카메라가 설치된 비젼 카메라장치가 설치되되, 상기 비젼 카메라장치는 웨이퍼의 이송방향에 대하여 수직 방향으로 직선 왕복 가능토록 설치된 것을 특징으로 하는 광도파로 영상 검사장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.