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기판;상기 기판상에 형성되는 지시 전극;상기 기판상에 형성되는 기준 전극;상기 기판을 덮어서, 상기 지시 전극과 상기 기준 전극으로 시료가 공급되도록 하는 챔버를 형성하는 커버부; 및상기 지시 전극과 상기 기준 전극 간의 전위 차에 따라 상기 시료의 수소이온농도를 측정하는 측정부를 포함하며,상기 지시 전극은,적어도 일부가 상기 시료와 접촉 가능하도록 상기 기판상에 형성되고, 상기 시료의 수소이온과 감응하여 상기 시료의 수소이온농도에 따라 전위 값이 가변되는 단일벽 탄소나노튜브층을 포함하며,상기 단일벽 탄소나노튜브층은, 상기 시료의 수소이온과 감응하는 기능과, 수소이온 감응에 따라 가변되는 전위 값을 상기 측정부로 전달하는 기능을 동시에 가지며,상기 기준 전극은,상기 기판상에 형성되는 단일벽 탄소나노튜브 필름; 및상기 시료가 단일벽 탄소나노튜브 필름에 접촉하지 않도록, 상기 커버부의 챔버 내에서 상기 단일벽 탄소나노튜브 필름을 덮도록 상기 단일벽 탄소나노튜브 필름상에 형성되고, 외부로부터 별도의 전압 신호를 인가받지 않으며, 상기 시료의 수소이온농도에 의해 변동되지 않는 기준 전위 값을 갖는 전극을 포함하며,상기 단일벽 탄소나노튜브 필름은 상기 단일벽 탄소나노튜브 필름 상의 전극에 형성되는 기준 전위 값을 상기 측정부 측으로 전달하는 기능을 갖는 수소이온농도 측정 센서
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제1 항에 있어서,상기 단일벽 탄소나노튜브층은,상기 시료와 접촉 가능하도록 상기 기판상에 형성되고, 상기 시료의 수소이온과 감응하여 상기 시료의 수소이온농도에 따라 전위 값이 가변되는 제1 단일벽 탄소나노튜브층을 포함하는 수소이온 감응부; 및상기 기판상에 상기 수소이온 감응부와 연결되도록 형성되고, 상기 시료의 수소이온농도에 따라 가변되는 상기 전위 값을 상기 측정부 측으로 전달하는 제2 단일벽 탄소나노튜브층을 포함하는 연결부를 포함하는 수소이온농도 측정 센서
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제4 항에 있어서,상기 전극은,Ag/AgCl 전극을 포함하는 수소이온농도 측정 센서
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제1 항, 제4 항 및 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 커버부는,상기 시료를 상기 챔버 안으로 유입하기 위한 유입구; 및상기 시료를 상기 챔버로부터 배출하기 위한 배출구를 더 구비하는 수소이온농도 측정 센서
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제1 항, 제4 항 및 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 수소이온농도 측정 센서는,마이크로플루이딕 칩 형태로 구현되는 수소이온농도 측정 센서
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제1 항, 제4 항 및 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 단일벽 탄소나노튜브층은,상기 시료의 수소이온과의 감응에 따라 전자 구조와 페르미 레벨이 변화되는 반도체성과, 전위 값을 전달하는 금속성을 동시에 갖는 단일벽 탄소나노튜브로 이루어지는 수소이온농도 측정 센서
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제1 항, 제4 항 및 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 커버부는,PDMS 재질의 몰드로 이루어지는 수소이온농도 측정 센서
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제1 항, 제4 항 및 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판은,플렉시블한 소재로 이루어지는 수소이온농도 측정 센서
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기판상에 단일벽 탄소나노튜브층을 포함하는 지시 전극을 형성하는 단계;상기 기판상에 기준 전극을 형성하는 단계;상기 기판에 커버부를 덮어 상기 지시 전극과 상기 기준 전극으로 시료가 공급되는 챔버를 형성하는 단계; 및상기 지시 전극과 상기 기준 전극 간의 전위 차에 따라 상기 시료의 수소이온농도를 측정하도록 측정부를 연결하는 단계를 포함하며,상기 단일벽 탄소나노튜브층은,적어도 일부가 상기 시료의 수소이온과 감응하여 상기 시료의 수소이온농도에 따라 전위 값이 가변되며,상기 단일벽 탄소나노튜브층은, 상기 시료의 수소이온과 감응하는 기능과, 수소이온 감응에 따라 가변되는 전위 값을 상기 측정부로 전달하는 기능을 동시에 가지며,상기 기준 전극을 형성하는 단계는,상기 기판상에 단일벽 탄소나노튜브 필름을 형성하는 단계; 및상기 시료가 단일벽 탄소나노튜브 필름에 접촉하지 않도록, 상기 커버부의 챔버 내에서 상기 단일벽 탄소나노튜브 필름을 덮도록 상기 단일벽 탄소나노튜브 필름상에 외부로부터 별도의 전압 신호를 인가받지 않으며 상기 시료의 수소이온농도에 의해 변동되지 않는 기준 전위 값을 갖는 전극을 형성하는 단계를 포함하며,상기 단일벽 탄소나노튜브 필름은 상기 단일벽 탄소나노튜브 필름 상의 전극에 형성되는 기준 전위 값을 상기 측정부 측으로 전달하는 기능을 가지며,상기 단일벽 탄소나노튜브 필름을 형성하는 단계는 상기 단일벽 탄소나노튜브층을 포함하는 지시 전극을 형성하는 단계와 동시에 수행되는 수소이온농도 측정 센서의 제조 방법
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제17 항에 있어서,상기 지시 전극을 형성하는 단계는,진공여과법을 이용하여 상기 기판상에 단일벽 탄소나노튜브층을 박막 형태로 증착하는 단계;광식각을 통해 상기 단일벽 탄소나노튜브층상에 감광성 고분자 패턴을 형성하는 단계;상기 감광성 고분자 패턴이 형성된 상기 단일벽 탄소나노튜브층에 대해 축전결합 플라즈마 방식의 산소 플라즈마 처리를 수행하는 단계; 및에탄올을 이용하여 상기 감광성 고분자를 제거하여 패터닝된 단일벽 탄소나노튜브층을 형성하는 단계를 포함하는 수소이온농도 측정 센서의 제조 방법
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제17 항에 있어서,상기 챔버를 형성하는 단계는,소프트 식각법을 이용해 제작된 PDMS 몰드를 산소 플라즈마 처리를 통해 상기 기판상에 부착하는 단계를 포함하는 수소이온농도 측정 센서의 제조 방법
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