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타겟물질과 프로브물질의 반응여부를 전기신호로 출력하는 복수의 센서 셀을 매트릭스 형태로 배열한 감지부;상기 감지부와 복수의 행 선택선을 통하여 전기적으로 연결되고, 기준전기신호를 출력하는 복수의 기준 셀을 매트릭스 형태로 배열한 기준감지부;상기 감지부 및 기준감지부의 행 방향으로 배열된 일군의 상기 선세 셀 및 기준 셀에 연결된 상기 행 선택선에 미리 설정된 소정의 제1 전압신호를 제공하여 상기 센서 셀 및 기준 셀을 선택하는 행디코더부;상기 감지부 및 기준감지부의 열 방향으로 배열된 일군의 상기 센서 셀 및 기준 셀에 연결된 상기 열 선택선에 미리 설정된 소정의 제2 전압신호를 제공하여 상기 센서 셀 및 기준 셀을 선택하는 열디코더부; 및선택된 상기 센서 셀의 상기 전기신호와 선택된 상기 기준 셀의 상기 기준전기신호를 비교하고, 상기 비교한 결과에 기초하여 상기 타겟물질을 종류 또는 수를 검지하는 검출부를 포함하는 바이오 센서
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제1항에 있어서,상기 감지부는,복수의 블록으로 구분되고, 각각의 상기 블록은 서로 다른 프로브물질이 고정되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
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제1항에 있어서,상기 센서 셀은,기판 상에 형성된 게이트 전극;상기 게이트 전극 상에 형성된 게이트 절연막;상기 게이트 절연막 상에 형성된 소스 및 드레인 전극;상기 소스 및 드레인 전극 사이에 형성된 채널; 및상기 채널 상에 고정되고 상기 타겟물질과 선택적으로 반응하는 상기 프로브물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
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제3항에 있어서,상기 채널은,전기 전도성을 갖고, 나노구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
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제4항에 있어서,상기 채널은,탄소원자를 포함하는 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
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제1항에 있어서,상기 타겟물질은,세포, 세포분비인자, 단백질, 항원 및 DNA 중 어느 하나이고,상기 프로브물질은,상기 타겟물질과 선택적으로 결합하는 물질인 것을 특징으로 하는 바이오 센서
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제6항에 있어서,상기 세포는,줄기세포, 혈액세포 및 암세포 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 바이오 센서
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제1항에 있어서,상기 기준 셀은,기판상에 형성된 게이트 전극;상기 게이트 전극 상에 형성된 게이트 절연막;상기 게이트 절연막 상에 형성된 소스 및 드레인 전극; 및상기 소스 및 드레인 전극 사이에 형성된 채널을 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
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제8항에 있어서,상기 채널은,전기 전도성을 갖고, 나노구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
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제9항에 있어서,상기 채널은,탄소원자를 포함하는 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 센서
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