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극저온 냉매를 이용한 국부적 저온 챔버

  • 기술번호 : KST2015199994
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 극저온 냉매를 이용하여 피시험 장치를 냉각시키는 국부적 저온 챔버가 개시된다. 저온 테스트를 위한 피시험 장치가 격납되는 챔버에 있어서, 국부적 저온 챔버는, 피시험 장치의 상부에 형성되는 냉매 보관부, 및 피시험 장치의 온도가 조절되도록 냉매 보관부에 보관된 냉매와 피시험 장치 간의 거리를 조절하는 거리 조절부를 포함할 수 있다.
Int. CL G01M 99/00 (2011.01) B01L 7/00 (2006.01) G01N 17/00 (2006.01) G01R 31/26 (2014.01) H01L 21/66 (2006.01) G01R 31/28 (2006.01)
CPC G01R 31/28(2013.01) G01R 31/28(2013.01) G01R 31/28(2013.01) G01R 31/28(2013.01) G01R 31/28(2013.01) G01R 31/28(2013.01)
출원번호/일자 1020140026785 (2014.03.06)
출원인 한양대학교 에리카산학협력단
등록번호/일자 10-1584425-0000 (2016.01.05)
공개번호/일자 10-2015-0104876 (2015.09.16) 문서열기
공고번호/일자 (20160111) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.03.06)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정현수 대한민국 강원 강릉시 정원로 **-*,
2 백상현 대한민국 서울특별시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 양성보 대한민국 서울특별시 강남구 선릉로***길 ** (논현동) 삼성빌딩 *층(피앤티특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.03.06 수리 (Accepted) 1-1-2014-0222053-36
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.11.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.12.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0098190-15
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0140661-66
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.04.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-0398808-62
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.04.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0398809-18
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.09.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0600027-07
8 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2015.09.30 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0945776-75
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-0945775-29
10 등록결정서
Decision to Grant Registration
2015.11.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0757620-09
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번호 청구항
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저온 테스트를 위한 피시험 장치가 격납되는 챔버에 있어서,상기 피시험 장치의 상부에 형성되며, 냉매를 보관하는 냉매 보관부; 상기 피시험 장치의 온도가 조절되도록 상기 냉매 보관부에 보관된 냉매와 상기 피시험 장치 간의 거리를 조절하는 거리 조절부;상기 챔버의 상측면에 국부적으로 뚜껑 모양으로 형성되며, 상기 냉매 보관부에 냉매를 보충하는 냉매 보충부; 및상기 냉매 보관부와 상기 냉매 보충부를 연결하며, 상기 냉매 보충부를 통해 보충된 냉매를 상기 냉매 보관부로 유입시키는 냉매 연결부를 포함하고,상기 냉매는,상기 냉매 보충부가 개방됨에 따라 상기 챔버 내부에 형성된 냉매 보관부로 유입되고,상기 냉매 보충부가 차단됨에 따라 챔버 외부로부터 차단되고,상기 챔버의 상측면은, 챔버의 뚜껑에 해당하고,상기 냉매 보충부는,상기 챔버의 뚜껑이 닫혀진 상태에서, 챔버의 외부로부터 상기 냉매 보관부로 상기 냉매를 보충하고,상기 냉매 연결부는,상기 냉매 보충부가 개방되어 냉매가 보충됨에 따라 상기 피시험 장치에 발생하는 결로 및 챔버 내부로 유입되는 수증기가 감소되도록 상기 냉매 보관부와 상기 냉매 보충부를 연결하는 것을 특징으로 하는 국부적 저온 챔버
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제1항에 있어서,상기 피시험 장치와 상기 냉매 보관부 사이에 형성된 온도 조절 기판을 더 포함하고,상기 거리 조절부는,너트 및 볼트를 이용하여 상기 온도 조절 기판의 높이를 조절함에 따라 상기 냉매와 피시험 장치 간의 거리를 조절하는 것을 특징으로 하는 국부적 저온 챔버
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삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 냉매 보관부는,상기 냉매의 보충 시 발생하는 결로가 감소하도록 상기 냉매 보충부와 상기 냉매 연결부를 통해 유입되는 냉매를 보관하는 것을 특징으로 하는 국부적 저온 챔버
5 5
제1항에 있어서,상기 챔버의 일측에 형성되며, 챔버 내부가 기설정된 압력 이상이 되면 상기 챔버 내부의 공기를 외부로 배출하는 공기 배출부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 국부적 저온 챔버
6 6
제1항에 있어서,상기 피시험 장치의 테스트를 위해 상기 챔버의 외부에 위치하는 시스템과 상기 피시험 장치를 연결하는 연결 단자부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 국부적 저온 챔버
7 7
제1항에 있어서,상기 피시험 장치는,상기 챔버의 바닥에 형성된 홀(hole)을 통해 챔버 내부에서 이동 가능한 것을 특징으로 하는 국부적 저온 챔버
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제1항에 있어서,상기 냉매 보관부는,상기 피시험 장치의 온도를 극저온으로 낮추는 액화질소를 보관하는 것을 특징으로 하는 국부적 저온 챔버
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 (재)한국연구재단 이공분야 기초연구사업 / 중견연구자지원사업 / 핵심연구 45nm 이하 미세공정에서 저항성 및 용량성 결함에 의한 동적 고장이 잠재된 메모리를 효율적으로 테스트하기 위한 플랫폼 개발