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자기조립 단분자막의 표면 개질을 이용한 패턴의 전사 방법

  • 기술번호 : KST2015201585
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본원은 용매 패턴의 전사방법에 관한 것으로서, 기재에 친수성을 가지는 친수성 자기조립 단분자막을 형성하는 단계; 패턴된 몰드를 수득하는 단계; 상기 패턴된 몰드에 친수성 용매를 도포하여 상기 패턴된 몰드 표면에 친수성 용매 패턴을 형성하는 단계;및, 상기 친수성 자기조립 단분자막이 형성된 기재에 상기 친수성 용매 패턴이 형성된 몰드를 접촉시켜, 상기 몰드의 친수성 용매 패턴을 상기 기재에 전사하는 단계를 포함한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0273(2013.01) H01L 21/0273(2013.01) H01L 21/0273(2013.01)
출원번호/일자 1020130012071 (2013.02.01)
출원인 국민대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0099409 (2014.08.12) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.06.12)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 국민대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이재갑 대한민국 서울특별시 강남구
2 이영규 대한민국 충북 청주시 흥덕구
3 정대균 대한민국 서울 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인엠에이피에스 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 (역삼동, 한동빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.02.01 수리 (Accepted) 1-1-2013-0100183-01
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2013.02.08 수리 (Accepted) 1-1-2013-0120717-40
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2014.06.12 수리 (Accepted) 1-1-2014-0548559-83
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.06.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0548558-37
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.12.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.01.09 수리 (Accepted) 9-1-2015-0005914-41
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.10.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0697741-28
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.12.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-1213395-93
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.12.11 수리 (Accepted) 1-1-2015-1213388-73
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.01.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0063822-15
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.03.14 수리 (Accepted) 4-1-2016-5032192-73
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기재에 친수성 자기조립 단분자막을 형성하여 상기 기재의 표면을 개질하는 단계 ; 패턴된 몰드를 수득하는 단계;상기 패턴된 몰드에 친수성 용매를 도포하여 상기 패턴된 몰드 표면에 친수성 용매 패턴을 형성하는 단계; 및 친수성 자기조립 단분자막이 형성된 상기 기재에 친수성 용매 패턴이 형성된 상기 몰드를 접촉시켜, 상기 몰드의 친수성 용매 패턴을 상기 기재에 전사하는 단계를 포함하는, 용매 패턴의 전사 방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 기재는 쿼츠(quartz), 실리콘 웨이퍼(silicon wafer), 유리, 세라믹, 유리-세라믹, 금속, 금속 산화물, 폴리카보네이트, PET, 폴리에테르설폰 또는 폴리이미드인, 용매 패턴의 전사 방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 기재의 표면을 개질하는 단계 전에, 상기 기재의 표면에 UV를 조사하여 상기 기재의 표면에 OH-기를 형성시키는 단계를 추가 포함하는, 용매 패턴의 전사 방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 친수성 자기조립 단분자막은 APS((3-aminopropyl)trimethoxysilane), MUA(11-mercaptoundecanoic acid), DET((3-trimethoxysilylpropyl) diethylenetriamine), EDA(N-[2-aminoethyl]-3-aminopropyltrimethoxysilane) 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 자기조립 단분자막을 포함하는 것인, 용매패턴의 전사방법
5 5
제 1 항에 있어서,상기 기재에 상기 친수성 자기조립 단분자막을 형성하는 것은 딥핑 코팅 (dipping coating)방법, 스핀 코팅 방법, 롤투롤 방법 또는 기상 증착방법에 의해 형성된 것인, 용매 패턴의 전사 방법
6 6
제 1 항에 있어서,상기 몰드는 PDMS (polydimethylsiloxane), 폴리우레탄(polyurethane), 폴리이미드 (polyimides) 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는, 용매 패턴의 전사 방법
7 7
제 1 항에 있어서,상기 친수성 용매는 PVP(poly(4-vinylphenol)), PMF(poly(melamine-co-formaldehyde)), PGMEA(propylene glycol monomethyl ether acetate) 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 용매를 포함하는 것인, 용매 패턴의 전사 방법
8 8
제 1 항 또는 제 7 항에 있어서,상기 친수성 용매는 기화기를 통한 표면 처리 방법, 스핀 코팅법, 롤투롤 코팅법, 스프레이 코팅법, 딥핑 코팅법 또는 플로우 코팅법 에 의해 도포되는 것인, 용매 패턴의 전사 방법
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제 1 항에 있어서,상기 기재와 상기 몰드를 접촉시키는 방식은 마이크로 컨택 프린팅 (micro-contact printing)방식, 임프린팅(Imprinting) 방식, 롤 투 롤(Roll to Roll)방식 또는 딥 펜 리소그라피 (Dip pen lithography) 방식에 의해 이루어지는, 용매 패턴의 전사 방법
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제 1 항에 있어서,상기 패턴된 몰드의 표면에 친수화 처리가 이루어지는 것을 포함하는, 용매 패턴의 전사 방법
11 11
제 10 항에 있어서,상기 친수화 처리는 상압 플라즈마 처리인, 용매 패턴의 전사 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 국민대학교산학협력단 선도연구센터육성사업 자기조립소재공정연구센터