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비접촉 프린팅을 이용한 미세 구조물의 패턴 형성 방법

  • 기술번호 : KST2015201755
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본원은, 비접촉 방법을 이용한 미세 구조물의 선택적 패턴 형성 방법에 관한 것으로서, 기재에 용매 및 전사 물질을 함유한 용액을 도포하는 단계; 및, 상기 기재를 패턴된 몰드와 접촉시켜, 상기 기재에 도포된 용액 중 용매만이 상기 몰드에 선택적으로 흡수되어 상기 기재상에 상기 전사 물질을 잔류시키는 단계를 포함한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0273(2013.01) H01L 21/0273(2013.01)
출원번호/일자 1020130021467 (2013.02.27)
출원인 국민대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1598827-0000 (2016.02.24)
공개번호/일자 10-2014-0108438 (2014.09.11) 문서열기
공고번호/일자 (20160303) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.06.12)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 국민대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이재갑 대한민국 서울특별시 강남구
2 양기열 대한민국 서울 광진구
3 정대균 대한민국 서울 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인엠에이피에스 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 (역삼동, 한동빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 국민대학교산학협력단 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-0178102-74
2 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.06.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0548562-10
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2014.06.12 수리 (Accepted) 1-1-2014-0548563-66
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.11.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.12.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0096557-10
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.10.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0705325-82
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.12.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-1220664-34
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.12.14 수리 (Accepted) 1-1-2015-1220637-12
9 등록결정서
Decision to grant
2016.01.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0063823-61
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.03.14 수리 (Accepted) 4-1-2016-5032192-73
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기재에 용매 및 전사 물질을 함유한 용액을 도포하는 단계; 및,상기 기재에 도포된 용액의 표면을 패턴된 몰드와 접촉시켜, 상기 기재에 도포된 용액이 상기 패턴된 몰드의 양각 부분으로 이동하는 단계;상기 기재에 도포된 용액 중 상기 용매만이 상기 몰드에 선택적으로 흡수되어 상기 기재상에 상기 전사 물질을 잔류시키는 단계; 를 포함하며,상기 전사 물질은 상기 패턴된 몰드와 동일하게 대응되는 포지티브 패턴으로 상기 기재 상에 형성되는 것인,선택적 패턴 형성 방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 기재는 실리콘 웨이퍼, 유리, 세라믹, 유리-세라믹, 금속, 금속 산화물, 폴리머, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 것을 포함하는 것인, 선택적 패턴 형성 방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 기재는 상기 전사 물질의 입자 이동이 가능한 표면 거칠기를 가지며, 상기 용매의 흡수 정도가 상기 패턴된 몰드보다 낮은 것을 포함하는 것인, 선택적 패턴 형성 방법
4 4
제 3 항에 있어서,상기 기재의 표면 처리를 통해 상기 용매의 흡수 정도 및 표면 거칠기를 조절하는 것을 포함하는 것인, 선택적 패턴 형성 방법
5 5
제 1 항에 있어서,상기 몰드는 고분자 또는 강성 기재의 표면에 플렉서블한 고분자 물질로 코팅된 몰드를 포함하는 것인, 선택적 패턴 형성 방법
6 6
제 5 항에 있어서,상기 고분자 몰드는 폴리디메틸실록산, 폴리우레탄, 폴리이미드, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 것을 포함하는 것인, 선택적 패턴 형성 방법
7 7
제 1 항에 있어서,상기 패턴된 몰드는 상기 용매의 흡수가 가능한 재질로 이루어진 몰드를 사용하는 것인, 선택적 패턴 형성 방법
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 패턴된 몰드 내부 기공의 밀도를 조절하여 상기 용매의 흡수 정도 및 속도를 조절하는 것을 포함하는 것인, 선택적 패턴 형성 방법
9 9
제 1 항에 있어서,상기 용매 및 상기 전사 물질을 함유한 용액은 탈산화제를 추가 포함하는 것인, 선택적 패턴 형성 방법
10 10
제 1 항에 있어서,상기 용매는 알코올, 물, 유기 용매, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 것을 포함하는 것인, 선택적 패턴 형성 방법
11 11
제 1 항에 있어서, 상기 전사 물질은 금속, 세라믹, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 것을 포함하는 것인, 선택적 패턴 형성 방법
12 12
제 9 항에 있어서,상기 탈산화제는 N2H5, Na2SO3, 탄닌산, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택되는 것을 포함하는 것인, 선택적 패턴 형성 방법
13 13
제 1 항에 있어서,상기 전사 물질은 분말, 나노튜브, 나노파티클, 및 콜로이드 형태를 포함하는 것인, 선택적 패턴 형성 방법
14 14
제 13 항에 있어서,상기 전사 물질은 1 nm 내지 100 ㎛의 크기를 가지는 입자를 포함하는 것인, 선택적 패턴 형성 방법
15 15
제 1 항에 있어서,상기 전사 물질은 박막 형태를 추가 포함하는 것인, 선택적 패턴 형성 방법
16 16
제 1 항에 있어서,상기 용액의 도포는 스핀 코팅법, 롤투롤 코팅법, 딥핑 코팅법, 또는 플로우 코팅법에 의해 수행되는 것인, 선택적 패턴 형성 방법
17 17
제 1 항에 있어서,상기 용액이 상기 몰드에 흡수되는 것은 모세관 현상을 이용하여 수행되는 것인, 선택적 패턴 형성 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 국민대학교산학협력단 선도연구센터육성사업 자기조립소재공정연구센터