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내부에 웨이퍼가 투입된 상태에서 웨이퍼를 건조시킬 수 있도록 이루어진 챔버 구조체와;파이프 구조로 형성되어 상기 챔버 구조체의 외부에서 내부로 연결되고, 상기 챔버 구조체에 회전 가능하게 지지되어, 챔버 구조체 내에 투입된 웨이퍼를 건조시킬 수 있도록 에어를 공급하는 스윙 노즐과;상기 챔버 구조체에 구비되어 상기 스윙 노즐을 회전시키는 스윙구동장치를 포함하며, 상기 챔버 구조체 내에는 복수개의 상기 스윙 노즐이 구비되되,스윙 노즐들은 챔버 구조체의 내부 양쪽에 각각 복수개가 수직 방향으로 나란히 배치된 양측 스윙노즐 그룹과, 챔버 구조체의 내부 하측에 복수개가 수평 방향으로 나란히 배치된 하측 스윙노즐 그룹을 포함한 것을 특징으로 하는 태양전지 웨이퍼 세정기용 드라이 장치
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청구항 1에 있어서,상기 챔버 구조체는, 웨이퍼의 세정이 이루어지는 챔버와, 이 챔버의 외곽에 구비되어 챔버 및 스윙구동장치를 지지하는 프레임과, 상기 챔버의 개방된 부분을 개폐하는 커버가 포함한 것을 특징으로 하는 태양전지 웨이퍼 세정기용 드라이 장치
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청구항 2에 있어서,상기 커버는 챔버의 상부에 구비되어 상기 프레임에 지지된 구조물에 설치된 액츄에이터에 의해 개폐되도록 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지 웨이퍼 세정기용 드라이 장치
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청구항 1에 있어서,상기 챔버 구조체는, 웨이퍼를 건조시킨 에어가 배출되는 배출구가 챔버 구조체의 하부 쪽에서 외부로 연결되게 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지 웨이퍼 세정기용 드라이 장치
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청구항 1에 있어서,상기 챔버 구조체의 일측에는, 상기 스윙구동장치가 설치될 수 있도록 스윙 베이스 플레이트가 설치된 것을 특징으로 하는 태양전지 웨이퍼 세정기용 드라이 장치
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청구항 5에 있어서,상기 스윙구동장치는, 상기 스윙 베이스 플레이트에 지지되어 직선 운동력을 발생시키는 스윙 액츄에이터와, 상기 스윙 베이스 플레이트에 직선 이동 가능하게 설치되어 상기 스윙 액츄에이터에 의해 직선 이동되는 구동 플레이트와, 상기 구동 플레이트와 스윙 노즐 사이에 구비되어 구동 플레이트의 직선 운동을 스윙 노즐의 회전 운동으로 변환시키는 동력전달기구를 포함한 것을 특징으로 하는 태양전지 웨이퍼 세정기용 드라이 장치
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청구항 6에 있어서,상기 동력전달기구는 상기 구동 플레이트 측에 설치되는 랙과, 상기 스윙 노즐 측에 설치되어 상기 랙과 치합되는 피니언으로 이루어진 것을 특징으로 하는 태양전지 웨이퍼 세정기용 드라이 장치
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청구항 1에 있어서,상기 챔버 구조체의 일측에는, 상기 스윙구동장치가 설치될 수 있도록 스윙 베이스 플레이트가 설치되고, 상기 스윙구동장치는, 상기 스윙 베이스 플레이트에 지지되어 직선 운동력을 발생시키는 스윙 액츄에이터와, 상기 스윙 베이스 플레이트에 직선 이동 가능하게 설치되어 상기 스윙 액츄에이터에 의해 직선 이동되는 구동 플레이트와, 상기 구동 플레이트와 스윙 노즐 사이에 구비되어 구동 플레이트의 직선 운동을 스윙 노즐의 회전 운동으로 변환시키는 랙 및 피니언을 포함하되,상기 스윙 액츄에이터는 상기 스윙 베이스 플레이트의 중앙부에 위치되고, 상기 구동 플레이트는 수평 방향으로 배치되어 상기 스윙 액츄에이터에 연결된 수평 바와, 이 수평 바의 양단부에 수직 방향으로 배치되어 양측 스윙노즐 그룹과 하측 스윙노즐 그룹에 동시에 구동력을 전달할 수 있도록 랙이 형성된 수직 바를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지 웨이퍼 세정기용 드라이 장치
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