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베이스 부재;상기 베이스 부재 상에 돌출되며, 상호 이격되어 복수 개가 배치되어 있는 미세섬모들;상기 각 미세섬모의 선단으로부터 연장되되, 오목한 형태의 홈을 갖는 돌기가 형성되고, 상기 홈이 형성된 방향으로 상기 돌기가 접착대상물에 밀착하여 접착되는 진공접착부; 및상기 진공접착부가 상기 접착대상물에 밀착되어 있을 때, 상기 진공접착부와 상기 접착대상물 사이의 공기층을 가열하는 가열수단을 포함하며,상기 공기층을 가열시킴으로써, 상기 공기층이 팽창하여 상기 진공접착부와 상기 접착대상물을 분리시키는 힘을 형성하며,상기 가열수단은 상기 홈에 적층 형성되는 금속층을 더 포함하는 진공흡착 장치용 미세섬모 구조물
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청구항 1에 있어서,상기 가열수단은 전기가열유닛, 램프 및 히터 중 어느 하나를 포함하는 진공흡착 장치용 미세섬모 구조물
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청구항 2에 있어서,상기 진공접착부는 금속, 탄소나노튜브 복합재, 나노와이어 복합재 및 나노파티클 복합재 중 적어도 하나 이상을 포함하여 형성되며, 상기 가열수단에 의해 상기 진공접착부가 가열되면 상기 진공접착부로부터의 열전도에 의해 상기 공기층이 가열되는 진공흡착 장치용 미세섬모 구조물
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청구항 3에 있어서,상기 가열수단은 상기 접착대상물을 기준으로 상기 진공접착부와 같은 방향에 배치되거나, 상기 진공접착부와 반대되는 방향에 배치되는 진공흡착 장치용 미세섬모 구조물
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청구항 1에 있어서,상기 가열수단이 전기가열유닛 또는 히터이며,상기 접착대상물을 기준으로 상기 금속층과 같은 방향으로 배치되어 상기 금속층을 가열시키는 진공흡착 장치용 미세섬모 구조물
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청구항 1에 있어서,상기 가열수단이 램프이며,상기 금속층이 흡수하는 파장을 발산하여 상기 금속층을 가열시키는 진공흡착 장치용 미세섬모 구조물
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청구항 1에 있어서,상기 금속층은 금(Au), 크롬(Cr), 티타늄(Ti) 및 니켈(Ni) 중 단일 금속 또는 두 종류 이상의 합금으로 형성되는 진공흡착 장치용 미세섬모 구조물
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청구항 1에 있어서,상기 금속층은 스퍼터링(sputtering) 또는 e-빔 증착(e-beam evaporation) 중 어느 하나에 의해 상기 홈에 형성되는 진공흡착 장치용 미세섬모 구조물
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청구항 1에 있어서,상기 금속층 상에는 상기 금속층을 보호할 수 있도록 보호막이 더 형성되는 진공흡착 장치용 미세섬모 구조물
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청구항 10에 있어서,상기 보호막은 고분자 수지 또는 세라믹 소재로 형성되는 진공흡착 장치용 미세섬모 구조물
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