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Fullerene계 소결조제 첨가에 의한 저온 결정화 무연계 복합산화물 박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015203925
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 sol-gel법을 이용하여 기본조성이 (KxNa1-x)NbO3이며 x=0-1을 만족하는 세라믹막을 형성하는 무연 압전 세라믹막의 제조방법에 있어서 막 형성시 결정화 온도를 낮추기 위한 플로렌계 소결조제 첨가에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명은, 기본조성이 (KxNa1-x)NbO3이며 x=0-1을 만족하는 무연 압전 세라믹막 제조방법에 있어서, 순도 99% 이상의 Nb alkoxide, K alkoxide, Na alkoxide를 mixing하여 최종 생성 막의 조성이 Nb : K : Na = 1.0 : 0~1.0 : 0~1.0이 되도록 조성을 맞추어 sol을 제조하고 상기 sol에 저온 소결조제를 첨가하기 위하여 fullerene을 solvent에 녹이는 단계(a); 상기 sol을 기판에 spin coating하고 열처리하여 박막을 형성하는 단계(b)로 이루어진다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 증착된 막 결정화 온도가 첨가하지 않은 막에 비하여 월등하게 저하되고, 결정성이 증가 되는 이점이 있다. KNN계 복합산화물, Fullerene, 박막, 무연소재
Int. CL H01L 41/37 (2013.01) C04B 35/495 (2013.01) H01L 41/318 (2013.01)
CPC H01L 41/318(2013.01) H01L 41/318(2013.01) H01L 41/318(2013.01) H01L 41/318(2013.01)
출원번호/일자 1020090038294 (2009.04.30)
출원인 강릉원주대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0119268 (2010.11.09) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.04.30)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 강릉원주대학교산학협력단 대한민국 강원도 강릉시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김세훈 대한민국 서울특별시 서초구
2 최재철 대한민국 강원도 강릉시 강릉대학로
3 김태경 대한민국 강원도 강릉시 강릉대학로
4 강석용 대한민국 강원도 강릉시 강릉대학로
5 유인상 대한민국 강원도 강릉시 강릉대학로
6 박병석 대한민국 강원도 강릉시 강릉대학로

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2009-0264728-57
2 보정요구서
Request for Amendment
2009.05.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0031438-17
3 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2009.05.26 수리 (Accepted) 1-1-2009-0282211-87
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262222-55
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.30 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262717-43
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.30 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262635-08
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.09.10 수리 (Accepted) 4-1-2012-5189762-86
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000031-39
9 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2014.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2014-0415816-37
10 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2014.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2014-0415815-92
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-5105851-74
12 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.12.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
13 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.01.09 수리 (Accepted) 9-1-2015-0005259-43
14 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.07.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0509659-73
15 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.12.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0854001-55
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2016-5017716-01
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.03.27 수리 (Accepted) 4-1-2017-5046519-16
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2020-5235497-71
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기본 조성이 (KxNa1-x)NbO3 x=0~1을 만족하는 무연계 압전박막용 sol 제조 공정에 있어서, 최종 생성 막의 조성이 Nb : K : Na = 1
2 2
청구항 1에 있어서, 박막의 밀도를 해하지 아니한 범위 내에서 박막의 결정화 온도를 낮추기에 적절한 fullerene계 소결조제의 첨가량 범위
3 3
청구항 1에 있어서, KNN계 sol과 균질 혼합상이 되도록 소결조제를 녹이는 solvent 선택 및 첨가 후 sol을 aging 하는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 전자부품연구원 부품ㆍ소재기술개발사업(소재원천) Sol-gel Process를 이용한 Micro actuator용 무연계 압전박막 성장 기술 개발 및 최적화 기술 개발