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전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015113519
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 마이크로 센서(micro sensor) 또는 액츄에이터(actuator) 제작에 사용되는 압전 박막 시편에 대한 인장실험을 통해 변위, 변형률 및 전하량 등을 측정하고 이로부터 압전 박막의 횡방향 압전상수를 측정하는 장치 및 방법에 관한 것이다.본 발명에 의하면, 압전 재료로 구성된 박막형 압전체의 횡방향 압전상수를 측정할 때, 굽힘이 아닌 인장방식의 하중을 가하고, 그 과정에서 변형률 및 집적되는 전하량을 측정함으로써, 정밀하고 신뢰성 있게 압전 박막의 압전 상수를 측정할 수 있다. 이로부터 박막형 압전 재료의 횡방향 압전 물성에 대한 다양한 연구가 가능하게 되어 박막형 압전 재료를 사용하는 제품의 성능에 관한 연구를 성숙하게 할 뿐 아니라 압전 제품에 대한 안정적인 신뢰성 평가를 할 수 있다.압전박막, 횡방향, 물성, 전하량, 인장
Int. CL G01N 3/08 (2006.01) G01L 25/00 (2006.01) G01B 11/16 (2006.01)
CPC G01B 11/14(2013.01) G01B 11/14(2013.01)
출원번호/일자 1020090059024 (2009.06.30)
출원인 한국과학기술원, 전자부품연구원
등록번호/일자 10-1189816-0000 (2012.10.04)
공개번호/일자 10-2011-0001476 (2011.01.06) 문서열기
공고번호/일자 (20121010) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.06.30)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
2 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이순복 대한민국 대전광역시 유성구
2 심기동 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장수현 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***, *층(양재동, 영진빌딩)(두리암특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
2 전자부품연구원 경기도 성남시 분당구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2009-0398904-40
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.11.15 수리 (Accepted) 9-1-2010-0070203-27
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.05.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0259724-52
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.07.15 수리 (Accepted) 1-1-2011-0545813-57
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.08.16 수리 (Accepted) 1-1-2011-0628336-59
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.09.16 수리 (Accepted) 1-1-2011-0719761-52
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.10.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0810859-96
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.10.17 수리 (Accepted) 1-1-2011-0810860-32
10 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2011.12.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0771127-81
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.02.27 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0158005-40
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0158006-96
13 등록결정서
Decision to grant		 2012.07.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0385767-16
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
압전 박막의 횡방향 변형시 발생하는 전하량을 측정하여 이로부터 압전 박막의 횡방향 압전 물성을 측정하는 장치로서,압전 박막이 전극을 매개로 하여 부착된 시편에 인장하중을 가하기 위하여, 상기 시편의 한쪽에 장착되고 고정된 고정 그립과 상기 시편의 다른 한쪽에 장착되어 상기 인장 구동부에 의해 가해지는 인장 하중에 따라 변위를 일으키는 구동 그립을 구비하는 인장 구동부;레이저 변위 센서를 이용하여 측정하고 상기 구동 구립의 변위에 기초하여 상기 시편의 인장변형에 의한 변위를 측정하는 변위 측정부;인장 구동부와 연결되어 상기 시편에 걸리는 인장하중을 측정하는 인장하중 측정부;두 개의 마이크로스코프(dual microscope)를 통한 이미지 패턴 매칭(pattern matching) 방식에 의해 시편의 변형률을 측정하는 변형률 측정부;상기 압전박막의 상·하부 전극에서 발생하는 전하량을 측정하는 전하량 측정부; 및상기 변형률 측정부에 의해 측정된 변형률 및 상기 전하량 측정부에 의해 측정된 전하량으로부터 아래 식에 따라 횡방향 압전상수를 산출하는 압전상수 산출부여기서, 는 횡방향 압전상수, Q는 전하, A는 상기 전극의 면적, S1은 상기 변형률 측정부에 의해 측정된 변형률, 는 시편의 프와송비를 포함하는 전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 장치
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청구항 1에 있어서,상기 시편은,실리콘 재질로 이루어지며, 접착제(adhesive)를 이용하여 상기 구동 그립 및 고정 그립에 장착되는 것을 특징으로 하는 전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 장치
7 7
청구항 1에 있어서,상기 변형률 측정부는,두 개의 마이크로스코프(dual microscope)를 통한 이미지 패턴 매칭(pattern matching) 방식에 의해 변형률을 측정하는 것을 특징으로 하는 전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 장치
8 8
청구항 1에 있어서,상기 전하량 측정부에서 측정된 전하량을 증폭하여 상기 압전상수 산출부로 제공하는 전하량 증폭부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 장치
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청구항 1에 따른 횡방향 압전 물성 측정 장치를 이용하여 압전 박막의 횡방향 압전 물성을 측정하는 방법으로서,(a) 압전 박막을 포함하는 시편이 장착된 그립에 인장하중을 가하는 단계;(b) 상기 인장하중에 따른 시편의 변형률을 측정하는 단계;(c) 상기 인장변형에 따라 상기 압전박막에서 발생하는 전하량을 측정하는 단계; 및(d) 상기 측정된 데이터들로부터 아래 식에 따라 횡방향 압전상수()를 산출하는 단계 여기서, Q는 전하, A는 상기 전극의 면적, S1은 상기 변형률 측정부에 의해 측정된 변형률, 는 시편의 프와송비를 포함하는 전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 방법
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청구항 9에 있어서,상기 시편에 포함되는 압전 박막은, 시편 기판에서 인장변형에 따른 변형률(strain)이 일정한 영역에 부착되는 것을 특징으로 하는 전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 방법
11 11
청구항 9에 있어서,상기 단계(a) 이후,(a1) 상기 시편의 한쪽은 고정된 그립에 장착된 상태로, 상기 시편의 다른 한쪽에 장착된 구동 그립의 인장변형에 의한 변위를 측정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 방법
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청구항 11에 있어서,상기 단계(a1)의 변위 측정은,레이저를 구동 그립에 연결된 판에 조사(irradiate)한 후 반사된 신호를 통하여 상기 판과 레이저 변위 센서 사이의 간격 변화를 측정함에 의해 행해지는 것을 특징으로 하는 전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 방법
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청구항 9에 있어서,상기 시편은,고정된 고정 그립 및 인장변형에 의한 변위를 일으키는 구동 그립에, 접착제(adhesive)를 이용하여 장착되는 것을 특징으로 하는 전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 방법
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청구항 9에 있어서,상기 단계(b)는,(b11) 두 개의 대물렌즈에 의해 측정대상 물상의 두 지점에 대한 상을 얻는 단계;(b12) 상기 단계(b11)에서 얻은 상을 각각에 대한 줌렌즈에 통과시켜 카메라로 촬영하여 영상을 획득하는 단계; 및(b13) 상기 단계(b12)에서 획득한 영상에서 패턴을 인식하고, 인식된 패턴을 추적하여 각 위치에서의 변위를 계산하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 방법
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청구항 9에 있어서,상기 단계(c)와 단계(d) 사이에,(c1) 상기 단계(c)에서 측정된 전하량을 증폭하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.