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티타니아 박막의 제조방법

기술번호 : KST2015204540
담당센터 : 경기기술혁신센터
전화번호 : 031-8006-1570

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 나노구조체를 갖는 티타니아 박막의 제조방법에 관한 것으로서, 알루미늄 기판을 1차 양극산화처리하여 제 1 다공성 산화피막을 형성하는 단계, 상기 제 1 다공성 산화피막을 제거하는 단계, 및 상기 제 1 다공성 산화피막이 제거된 알루미늄 기판을 2차 양극산화처리하여 제 2 다공성 산화피막을 형성하는 단계를 포함한 알루미나 템플릿을 준비하는 단계를 포함하여 이루어진다.본 발명에 따르면 복잡한 공정을 거치지 않고도 치밀하고 균일하게 배열된 나노크기의 포어(pores), 폴(poles), 파이프(pipes)의 구조체를 형성할 수 있으며, 이에 따라 티타니아 박막의 표면적을 크게 증가시킬 수 있으므로 광전지, 광촉매로 활용되는 경우 동작 효율을 크게 향상시킬 수 있는 효과가 있다.티타니아, PMMA, 나노, 광전지, 광촉매
Int. CL	C01G 23/04 (2006.01.01) B01J 21/06 (2006.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01)
CPC	C01G 23/04(2013.01)C01G 23/04(2013.01)C01G 23/04(2013.01)
출원번호/일자	1020070027281 (2007.03.20)
출원인	명지대학교 산학협력단
등록번호/일자	10-0856746-0000 (2008.08.29)
공개번호/일자
공고번호/일자	(20080904) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	소멸
심사진행상태	수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2007.03.20)
심사청구항수	18

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	명지대학교 산학협력단	대한민국	경기도 용인시 처인구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	김용상	대한민국	경기 용인시 수지구
2	허현정	대한민국	경기 김포시
3	김정민	대한민국	전남 여수시
4	강치중	대한민국	경기 용인시 처인구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	특허법인충정	대한민국	서울특별시 강남구 역삼로**,층(역삼동,성보역삼빌딩)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	명지대학교 산학협력단	대한민국	경기도 용인시 처인구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서 Patent Application	2007.03.20	수리 (Accepted)	1-1-2007-0221741-20
2	[출원인변경]권리관계변경신고서 [Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status	2007.09.14	수리 (Accepted)	1-1-2007-5079697-04
3	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2007.10.05	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
4	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2007.11.09	수리 (Accepted)	9-1-2007-0068742-28
5	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2008.02.26	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2008-0102900-62
6	[대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)	2008.03.27	수리 (Accepted)	1-1-2008-0220887-43
7	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2008.04.21	수리 (Accepted)	1-1-2008-0283416-73
8	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2008.04.21	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2008-0283414-82
9	보정요구서 Request for Amendment	2008.04.22	발송처리완료 (Completion of Transmission)	1-5-2008-0054167-87
10	보정요구서 Request for Amendment	2008.04.23	발송처리완료 (Completion of Transmission)	1-5-2008-0054796-85
11	[출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment	2008.05.01	수리 (Accepted)	1-1-2008-0315847-22
12	[출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment	2008.05.01	수리 (Accepted)	1-1-2008-0315868-81
13	보정요구서 Request for Amendment	2008.05.01	발송처리완료 (Completion of Transmission)	1-5-2008-0058453-23
14	보정요구서 Request for Amendment	2008.05.02	발송처리완료 (Completion of Transmission)	1-5-2008-0058873-96
15	[출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment	2008.05.16	수리 (Accepted)	1-1-2008-0347723-64
16	[출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment	2008.05.16	수리 (Accepted)	1-1-2008-0347736-57
17	등록결정서 Decision to grant	2008.05.29	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2008-0289332-12
18	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2009.03.16	수리 (Accepted)	4-1-2009-5048837-01
19	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.09.17	수리 (Accepted)	4-1-2019-5194058-21
20	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.01.20	수리 (Accepted)	4-1-2020-5014795-00

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 알루미늄 기판을 1차 양극산화처리하여 제 1 다공성 산화피막을 형성하는 단계;상기 제 1 다공성 산화피막을 제거하는 단계; 및상기 제 1 다공성 산화피막이 제거된 알루미늄 기판을 2차 양극산화처리하여 제 2 다공성 산화피막을 형성하는 단계를 포함하여 알루미나 템플릿을 준비하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 티타니아 박막의 제조방법
2	2 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 다공성 산화피막을 제거하는 단계는, 상기 제 1다공성 산화피막이 형성된 알루미늄 기판을 60℃에서 인산(phosphoric acid) 18g이 혼합된 크롬산 용액에 넣어 상기 제 1다공성 산화피막을 제거하는 것을 특징으로 하는 티타니아 박막의 제조방법
3	3 제 1 항에 있어서,상기 1차 양극산화처리 전에, 상기 알루미늄 기판을 탈지 및 전해연마하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 티타니아 박막의 제조방법
4	4 제 1 항에 있어서, 상기 1차 양극산화 처리는, 상기 알루미늄 기판을 0
5	5 제 1 항에 있어서, 상기 2차 양극산화 처리는, 상기 제 1 다공성 산화피막이 제거된 알루미늄 기판을 0
6	6 제 1 항에 따른 상기 제 2 다공성 산화피막이 형성된 알루미나 템플릿을 준비하는 단계;상기 제 2 다공성 산화피막에 형성된 나노포어를 확장하는 단계;상기 알루미나 템플릿에 액상의 PMMA를 도포하여 나노폴 구조의 PMMA 몰드를 성형하는 단계;상기 PMMA 몰드에 졸-겔 상태의 티타니아 박막을 엠보싱하는 단계; 및엠보싱된 상기 티타니아 박막을 상기 PMMA 몰드로부터 분리하는 단계를 포함하여 이루어져 나노포어가 형성되는 것을 특징으로 하는 티타니아 박막의 제조방법
7	7 제 6 항에 있어서,상기 졸-겔 상태의 티타니아 박막은 1
8	8 제 6 항에 있어서,상기 나노포어 확장단계는 상기 알루미나 템플릿을 0
9	9 제 7 항에 있어서,상기 나노폴 구조의 PMMA 몰드를 성형하는 단계는,상기 PMMA 용액이 도포된 알루미나 템플릿에 소정의 온도로 열 처리를 행하여 도포된 PMMA가 상기 알루미나 템플릿의 상기 확장된 나노 포어에 스며들게 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 티타니아 박막의 제조방법
10	10 제 6 항에 있어서,상기 엠보싱하는 단계는,ITO 기판 상에 상기 졸-겔 상태의 티타니아 용액을 스핀코팅하는 단계; 및스핀코팅된 상기 티타니아 용액이 응고되기 전, 상기 PMMA 몰드에 형성된 다수의 나노폴이 상기 티타니아 용액을 향하도록 배치하여 압착시키는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 티타니아 박막의 제조방법
11	11 제 6 항에 있어서,상기 분리하는 단계는,엠보싱된 상기 PMMA 몰드 및 상기 티타니아 박막을 건조 및 소결시키는 단계; 및상기 PMMA 몰드를 제거하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 티타니아 박막의 제조방법
12	12 제 1 항에 따른 상기 제 2다공성 산화피막이 형성된 알루미나 템플릿을 준비하는 단계;상기 알루미나 템플릿의 일면에 PMMA 용액을 도포하여 나노포어 구조의 합성 몰드를 성형하는 단계;상기 합성 몰드의 상기 PMMA 용액이 도포되지 않는 일면을 이용하여 졸-겔 상태의 티타니아 박막을 엠보싱하는 단계; 및 엠보싱된 상기 티타니아 박막을 분리하는 단계를 포함하여 이루어져 나노폴 또는 나노파이프가 형성되는 것을 특징으로 하는 티타니아 박막의 제조방법
13	13 제 12 항에 있어서,상기 나노포어 구조의 합성 몰드를 성형하는 단계는,상기 PMMA 용액이 도포된 알루미나 템플릿을 소정 온도로 열 처리하는 단계;상기 제 2 다공성 산화피막을 제외한 상기 알루미늄 템플릿의 활성층을 제거하는 단계; 및 상기 제 2 다공성 산화피막에 형성된 나노포어를 확장하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 티타니아 박막의 제조방법
14	14 제 13 항에 있어서,상기 나노포어 확장단계는 상기 알루미나 템플릿을 0
15	15 제 12 항에 있어서,상기 졸-겔 상태의 티타니아 용액은 1
16	16 제 12 항에 있어서,상기 졸-겔 상태의 티타니아 용액은 1g의 티타니아(IV) 에톡사이드 및 8g의 2-프로판올을 포함하여 나노파이프가 형성되는 것을 특징으로 하는 티타니아 박막의 제조방법
17	17 제 12 항에 있어서,상기 엠보싱하는 단계는,ITO 기판 상에 상기 졸-겔 상태의 티타니아 용액을 스핀코팅하는 단계; 및스핀코팅된 상기 티타니아 용액이 응고되기 전, 상기 제 2 다공성 산화피막에 형성된 다수의 나노포어가 상기 티타니아 용액을 향하도록 배치하여 상기 합성 몰드를 압착시키는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 티타니아 박막의 제조방법
18	18 제 12 항에 있어서,상기 분리하는 단계는,엠보싱된 상기 합성 몰드 및 상기 티타니아 박막을 건조 및 소결시키는 단계; 및상기 PMMA 막 및 상기 제 2 다공성 산화피막을 제거하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 티타니아 박막의 제조방법

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특허 등록번호	10-0856746-0000

권리란

표시번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 권리란 표입니다.
표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20070320 출원 번호 : 1020070027281 공고 연월일 : 20080904 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20080529 청구범위의 항수 : 18 유별 : C01G 23/04 발명의 명칭 : 티타니아 박막의 제조방법 존속기간(예정)만료일 : 20110830

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 명지대학교 산학협력단 경기도 용인시 처인구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	438,000 원	2008년 09월 01일	납입

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서	2007.03.20	수리 (Accepted)	1-1-2007-0221741-20
2	[출원인변경]권리관계변경신고서	2007.09.14	수리 (Accepted)	1-1-2007-5079697-04
3	선행기술조사의뢰서	2007.10.05	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
4	선행기술조사보고서	2007.11.09	수리 (Accepted)	9-1-2007-0068742-28
5	의견제출통지서	2008.02.26	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2008-0102900-62
6	[대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서	2008.03.27	수리 (Accepted)	1-1-2008-0220887-43
7	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2008.04.21	수리 (Accepted)	1-1-2008-0283416-73
8	[명세서등 보정]보정서	2008.04.21	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2008-0283414-82
9	보정요구서	2008.04.22	발송처리완료 (Completion of Transmission)	1-5-2008-0054167-87
10	보정요구서	2008.04.23	발송처리완료 (Completion of Transmission)	1-5-2008-0054796-85
11	[출원서등 보정]보정서	2008.05.01	수리 (Accepted)	1-1-2008-0315847-22
12	[출원서등 보정]보정서	2008.05.01	수리 (Accepted)	1-1-2008-0315868-81
13	보정요구서	2008.05.01	발송처리완료 (Completion of Transmission)	1-5-2008-0058453-23
14	보정요구서	2008.05.02	발송처리완료 (Completion of Transmission)	1-5-2008-0058873-96
15	[출원서등 보정]보정서	2008.05.16	수리 (Accepted)	1-1-2008-0347723-64
16	[출원서등 보정]보정서	2008.05.16	수리 (Accepted)	1-1-2008-0347736-57
17	등록결정서	2008.05.29	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2008-0289332-12
18	출원인정보변경(경정)신고서	2009.03.16	수리 (Accepted)	4-1-2009-5048837-01
19	출원인정보변경(경정)신고서	2019.09.17	수리 (Accepted)	4-1-2019-5194058-21
20	출원인정보변경(경정)신고서	2020.01.20	수리 (Accepted)	4-1-2020-5014795-00


과제고유번호	1350009521
세부과제번호	2006-02330
연구과제명	액상신호탐침검출법과초미세유체제어시스템을접목한생체물질분석용범용플랫폼기술개발
성과구분	출원
부처명	교육과학기술부
연구관리전문기관명	한국과학재단
연구주관기관명	명지대학교
성과제출연도	2006
연구기간	200604~200703
기여율	1
연구개발단계명	기초연구
6T분류명	NT(나노기술)


과제고유번호	1350009521
세부과제번호	2006-02330
연구과제명	액상신호탐침검출법과초미세유체제어시스템을접목한생체물질분석용범용플랫폼기술개발
성과구분	등록
부처명	교육과학기술부
연구관리전문기관명	한국과학재단
연구주관기관명	명지대학교
성과제출연도	2006
연구기간	200604~200703
기여율	1
연구개발단계명	기초연구
6T분류명	NT(나노기술)

특허성과

[1020070092928]	광에너지에 의한 자가충전형 이차전지	새창보기
[1020070027990]	모세관 전기영동 칩상에 집적된 전기화학적 검출기 및 이의제조방법	새창보기
[1020070027281]	티타니아 박막의 제조방법	새창보기

중요키워드

이전대상기술 뷰 페이지 관련기술 표
[KST2015204806][명지대학교]	습식 식각을 통해 기판 상에 선택적으로 패터닝된 산화아연 나노선의 제조방법	새창보기
[KST2015204608][명지대학교]	염산 수용액 내에서 화학적 에칭에 의하여 제조된 산화아연나노콘 및 그의 제조방법	새창보기
[KST2022018516][명지대학교]	복합 광촉매 구조체, 이를 포함하는 광촉매 필터 및 공기정화장치	새창보기

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