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나노 탐침 반사를 이용한 근접장 파면 측정 간섭계

  • 기술번호 : KST2015209712
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 나노 탐침 반사를 이용한 근접장 파면 측정 간섭계가 개시되어 있다. 이 개시된 나노 탐침 반사를 이용한 근접장 파면 측정 간섭계는, 피검 물질에 광을 조사하는 광원; 상기 광원으로부터 조사된 광을 분할하는 빔스프리터; 상기 광원에서 조사된 후 상기 피검 물질을 통과한 광을 반사시키는 광학 탐침; 상기 피검 물질로부터 반사된 광과 상기 광학 탐침에서 반사된 광을 간섭시켜 간섭 무늬를 촬영하고, 위상 천이된 간섭 무늬를 촬영하는 고체촬상소자;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 구성에 의해, 본 발명에서는 반사형 광학 탐침을 구비하여 피검 물질에서 반사된 광과 광학 탐침에서 반사된 광의 간섭 무늬를 얻고, 이 간섭 무늬를 위상 천이시켜 피검 물질의 광학적 특성을 측정할 수 있다.
Int. CL B82Y 35/00 (2011.01) G01N 21/45 (2011.01)
CPC G01N 21/45(2013.01) G01N 21/45(2013.01) G01N 21/45(2013.01) G01N 21/45(2013.01)
출원번호/일자 1020040024446 (2004.04.09)
출원인 학교법인연세대학교
등록번호/일자 10-0648406-0000 (2006.11.15)
공개번호/일자 10-2005-0099218 (2005.10.13) 문서열기
공고번호/일자 (20061124) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.04.09)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인연세대학교 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유장훈 대한민국 서울특별시 양천구
2 임상엽 대한민국 경기도 고양시 덕양구
3 박승한 대한민국 서울특별시 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)
2 이해영 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.04.09 수리 (Accepted) 1-1-2004-0146639-74
2 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.04.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0154573-92
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.01.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0051715-67
4 의견서
Written Opinion		 2006.03.27 수리 (Accepted) 1-1-2006-0214420-81
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.03.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0214422-72
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2006.07.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0428254-52
7 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2006.08.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2006-0027878-20
8 등록결정서
Decision to grant		 2006.10.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0592527-79
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.11.05 수리 (Accepted) 4-1-2010-5207014-07
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.11.29 수리 (Accepted) 4-1-2010-5224078-51
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
삭제
3 3
피검 물질에 광을 조사하는 광원;상기 광원으로부터 조사된 광을 분할하는 빔스프리터;상기 광원에서 조사된 후 상기 피검 물질을 통과한 광을 반사시키는 것으로, 광섬유로 이루어진 광학 탐침;상기 피검 물질로부터 반사된 광과 상기 광학 탐침에서 반사된 광을 간섭시켜 간섭 무늬를 촬영하고, 위상 천이된 간섭 무늬를 촬영하는 고체촬상소자;를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 탐침 반사를 이용한 근접장 파면 측정 간섭계
4 4
제 3항에 있어서,상기 광학 탐침은 피검 물질의 근접장 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 나노 탐침 반사를 이용한 근접장 파면 측정 간섭계
5 5
제 3항에 있어서,상기 광학 탐침과 피검 물질 사이의 거리를 변화시키면서 위상 천이를 수행하는 것을 특징으로 하는 나노 탐침 반사를 이용한 근접장 파면 측정 간섭계
6 6
제 3항에 있어서, 상기 피검 물질을 통과한 광이 광학 탐침에서 반사되는 영역은 광원에서 조사되는 광의 파장보다 작은 크기를 가지는 것을 특징으로 하는 나노 탐침 반사를 이용한 근접장 파면 측정 간섭계
7 6
제 3항에 있어서, 상기 피검 물질을 통과한 광이 광학 탐침에서 반사되는 영역은 광원에서 조사되는 광의 파장보다 작은 크기를 가지는 것을 특징으로 하는 나노 탐침 반사를 이용한 근접장 파면 측정 간섭계
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