요약 | 본 발명은 기판 위에서 수직방향으로 성장한 ZnO 나노와이어의 면밀도(area density)를 제어할 수 있는 신규 방법을 제시한다. 본 특허는 한 종류의 블록공중합체 마이셀의 코어에는 금속나노입자의 전구체가 로딩되며, 나머지 한 종류의 마이셀의 코어에는 금속나노입자의 전구체가 로딩되지 않은 두 종류의 다른 블록공중합체 마이셀의 혼합비율을 조절함으로써, 기판 위의 스핀코팅된 금속나노입자 촉매의 면밀도를 조절하고, 결과적으로 금속나노입자 촉매로부터 VLS(Vapor-Liquid-Solid) 방법에 의하여 성장하는 ZnO 나노와이어의 면밀도를 조절할 수 있는 것을 특징으로 한다. 마이셀, ZnO, 나노와이어, 면밀도 |
---|---|
Int. CL | B82Y 35/00 (2011.01) C01G 9/02 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01) |
CPC | C01G 9/02(2013.01) C01G 9/02(2013.01) C01G 9/02(2013.01) C01G 9/02(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020080129944 (2008.12.19) |
출원인 | 연세대학교 산학협력단 |
등록번호/일자 | 10-1010071-0000 (2011.01.14) |
공개번호/일자 | 10-2010-0071285 (2010.06.29) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20110124) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2008.12.19) |
심사청구항수 | 7 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 연세대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 서대문구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 박철민 | 대한민국 | 서울특별시 마포구 |
2 | 김태희 | 대한민국 | 서울특별시 양천구 |
3 | 황원석 | 대한민국 | 서울 서초구 |
4 | 명재민 | 대한민국 | 경기도 고양시 일산동구 |
5 | 최지혁 | 대한민국 | 경기도 안양시 동안구 |
6 | 성진우 | 대한민국 | 서울특별시 관악구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 김윤보 | 대한민국 | 서울특별시 구로구 디지털로**길 ** ***호(구로동, 삼성아이티밸리)(특허법인현) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 연세대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 서대문구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2008.12.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0873223-96 |
2 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2008.12.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0896162-82 |
3 | 등록결정서 Decision to grant |
2011.01.11 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0017687-41 |
4 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.12.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5252006-10 |
5 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5062749-37 |
6 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.06.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5088566-87 |
7 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5114224-78 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 ZnO 나노와이어의 기판에 대한 면밀도를 제어하기 위한 방법으로서, 금속나노입자 전구체가 코어에 로딩되어 있는 블록공중합체 마이셀과, 금속나노입자 전구체가 코어에 로딩되어 있지 않은 블록공중합체 마이셀의 혼합비율을 조절하여 혼합용액을 제조하는 단계(I); 상기 두 종류의 혼합 블록공중합체 마이셀 용액을 기판 위에 스핀코팅 한 후 열분해(thermal decompositon)하여 면밀도가 제어된 금속나노입자를 기판 위에 제조하는 단계(II); 및 VLS(Vapor-Liquid-Solid) 방법에 의하여 상기 면밀도가 제어된 금속나노입자로부터 ZnO 나노와이어를 제조하는 단계(III)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 ZnO 나노와이어의 면밀도 제어방법 |
2 |
2 제 1 항에서, 상기 금속나노입자 전구체가 Au, Cu, 또는 Ag 계열 전구체 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 ZnO 나노와이어의 면밀도 제어방법 |
3 |
3 제 1 항에서, 상기 금속나노입자 전구체가 코어에 로딩되어 있는 블록공중합체 마이셀은 상기 코어에 금속나노입자 전구체가 배위결합되어 있는 것을 특징으로 하는 ZnO 나노와이어의 면밀도 제어방법 |
4 |
4 제 1 항에서, 상기 단계(II)는 온도 250 ~ 300℃ 사이에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 ZnO 나노와이어의 면밀도 제어방법 |
5 |
5 제 1 항에서, 상기 금속나노입자 전구체가 HAuCl4ㆍ3H2O일 때, 상기 금속나노입자 전구체가 로딩되어 있는 마이셀은 PS-b-P4VP(polystyrene-block-poly(4-vinyl pyridine))이고, 상기 금속나노입자 전구체가 로딩되어 있지 않은 마이셀은 PS-b-PAA(polystyrene - block - poly(acrylic acid))인 것을 특징으로 하는 ZnO 나노와이어의 면밀도 제어방법 |
6 |
6 제 1 항에서, 상기 단계(II)에서 상기 혼합 블록공중합체 마이셀 용액을 스핀코팅하지 않고, 패턴화된 마이크로몰드에 상기 혼합 블록공중합체 마이셀 용액을 묻혀서 직접 기판에 접촉시켜 패턴을 기판에 전달한 후 열분해시키는 것을 특징으로 하는 ZnO 나노와이어의 면밀도 제어방법 |
7 |
7 제 1 항에서, 상기 단계(II)와 단계(III)가 연속공정으로서 하나의 반응기 내에서 일어나는 것을 특징으로 하는 ZnO 나노와이어의 면밀도 제어방법 |
지정국 정보가 없습니다 |
---|
패밀리정보가 없습니다 |
---|
순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
---|---|---|---|---|
1 | 교육과학기술부 | 연세대학교 산학협력단 | BK21(국고) | BK21휴먼트로닉스정보소재사업단-3차년도 |
특허 등록번호 | 10-1010071-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20081219 출원 번호 : 1020080129944 공고 연월일 : 20110124 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20110111 청구범위의 항수 : 7 유별 : B82B 3/00 발명의 명칭 : 블록공중합체 마이셀을 이용한 수직성장 ZnO 나노와이어의 면밀도 제어방법 존속기간(예정)만료일 : |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 159,000 원 | 2011년 01월 14일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 194,000 원 | 2013년 10월 10일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 135,800 원 | 2014년 10월 07일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 135,800 원 | 2016년 01월 11일 | 납입 |
제 7 년분 | 금 액 | 256,200 원 | 2017년 01월 11일 | 납입 |
제 8 년분 | 금 액 | 256,200 원 | 2018년 01월 11일 | 납입 |
제 9 년분 | 금 액 | 183,000 원 | 2019년 01월 14일 | 납입 |
제 10 년분 | 금 액 | 359,370 원 | 2020년 06월 01일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2008.12.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0873223-96 |
2 | [출원서등 보정]보정서 | 2008.12.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0896162-82 |
3 | 등록결정서 | 2011.01.11 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0017687-41 |
4 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.12.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5252006-10 |
5 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5062749-37 |
6 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.06.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5088566-87 |
7 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5114224-78 |
기술정보가 없습니다 |
---|
과제고유번호 | 1415109131 |
---|---|
세부과제번호 | 10030559 |
연구과제명 | 차세대 고성능 유기나노 소재 및 프린팅 공정기술 개발 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 지식경제부 |
연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
연구주관기관명 | 서울대학교 |
성과제출연도 | 2010 |
연구기간 | 200709~201108 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
과제고유번호 | 1345071141 |
---|---|
세부과제번호 | 과C6A2005 |
연구과제명 | 휴먼트로닉스 정보소재 사업단 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국학술진흥재단 |
연구주관기관명 | 연세대학교 |
성과제출연도 | 2008 |
연구기간 | 200603~201302 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | 기타 |
[1020110110477] | 유기 박막 트랜지스터 전극, 이의 제조방법 및 이를 이용한 표시소자 | 새창보기 |
---|---|---|
[1020110071580] | 압전 나노발전기의 제조방법 | 새창보기 |
[1020110054863] | 복수의 나노 로드가 전자 이동용 채널로 제공되는 전계 효과 트랜지스터 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020110027226] | 산화아연 박막 트랜지스터 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
[1020110007361] | 랜덤 네트워크 구조를 갖는 전계 효과 트랜지스터 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020100130313] | 플라즈마 처리, 잉크젯 프린팅 및 기상증착중합법을 이용한 전도성 고분자의 마이크로패턴 형성 | 새창보기 |
[1020100121924] | PVDF-TrFE/토포그래픽 나노패턴 OS의 복합 절연층의 제조방법, 상기 절연층을 적용한 커패시터 및 전계효과트랜지스터의 제조방법 | 새창보기 |
[1020100120191] | 자가 조립 방식에 의한 조밀 적층 모노레이어 제조 방법 및 상기 모노레이어를 포함하는 전자 소자 | 새창보기 |
[1020100077542] | 유무기 복합 다이오드 및 그의 제조 방법 | 새창보기 |
[1020100077503] | 전기적 어닐링을 통해 전기적 특성을 향상시킨 유기 다이오드 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[1020100058380] | 나노와이어 소자를 임의 형태로 프린팅하여 나노 소자를 제조하는 방법 및 상기 방법에 사용되는 중간체 빌딩 블록 | 새창보기 |
[1020100046650] | 유기 메모리 소자 및 이의 특성 측정방법 | 새창보기 |
[1020100012367] | 전하 트랩층을 갖는 비휘발성 유기 메모리 소자 | 새창보기 |
[1020090099160] | FFM 소자 원천기술 개발 | 새창보기 |
[1020090078481] | 광 감응성 유기 박막 트랜지스터 | 새창보기 |
[1020090060214] | 초저 표면거칠기를 갖는 강유전성 PVDF/PMMA 박막을 적용한 비휘발성 메모리 디바이스의 제조방법 | 새창보기 |
[1020090028741] | 성능이 향상된 나노 복합물 전자 소자 제조 방법 및 그 나노 복합물 소자 | 새창보기 |
[1020090014726] | 전단응력을 이용한 PVDF―TrFE 박막의 결정배향 제어 방법 | 새창보기 |
[1020090013445] | 저항변화 메모리 소자 제조방법 및 이에 따라 제조된 저항변화 메모리 소자 | 새창보기 |
[1020090013423] | 스위칭 소자 제조방법 및 이에 의하여 제조된 스위칭 소자 | 새창보기 |
[1020090011785] | 유기 반도체 물질 및 이를 포함하는 전자 소자 | 새창보기 |
[1020090009477] | 신규한 이리듐(Ⅲ) 착물 및 이를 포함하는 유기전계발광소자 | 새창보기 |
[1020080137138] | 전기전도성 실리카-폴리아닐린 코어-쉘 나노입자를 이용한 잉크젯 프린터용 잉크의 제조방법 | 새창보기 |
[1020080136269] | 알루미늄기 벌크 나노 결정립 합금 | 새창보기 |
[1020080135249] | 개량형 직물필터 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[1020080131296] | 플래시 메모리 소자의 제조방법 | 새창보기 |
[1020080129944] | 블록공중합체 마이셀을 이용한 수직성장 ZnO 나노와이어의 면밀도 제어방법 | 새창보기 |
[1020080129943] | 에피택시 결정성장 PVDF-TrFE 박막을 적용한 커패시터, FeFET 및 FeFET형 비휘발성 메모리 | 새창보기 |
[1020080129942] | 단결정 TIPS-PEN을 활성층으로 하는 FeFET 및FeFET형 비휘발성 메모리 | 새창보기 |
[1020080124442] | 투명 단열 유리 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[1020080124371] | 음원분리 및 음원식별을 이용한 음성인식 장치 및 방법 | 새창보기 |
[1020080122911] | 액정 표시 패널 및 이의 제조 방법 | 새창보기 |
[1020080117133] | 잉크젯 프린팅과 기상증착중합법을 이용한 전도성 고분자 패턴 형성 | 새창보기 |
[1020080112055] | 신규의 희생층 재료를 이용한 기판 상에서의 나노와이어 패터닝 방법 | 새창보기 |
[1020080109365] | 다층 박막을 포함하는 유기 박막 트랜지스터의 제조방법 및이에 의하여 제조된 유기 박막 트랜지스터 | 새창보기 |
[1020080103375] | 화학적 산화 중합을 이용한 은 나노 입자 함유 폴리로다닌 나노 섬유의 제조 방법 | 새창보기 |
[1020080098598] | 금속 나노 구조체의 형성 방법 및 상기 방법에 의하여 형성된 금속 나노 구조체 | 새창보기 |
[1020080096946] | 플라즈마 촉진 폴리머 트랜스퍼 프린팅을 이용한 폴리(3-헥실 티오펜)(P3HT) 박막의 마이크로패터닝 방법 및 상기 P3HT 마이크로패턴화된 박막을 활성층으로 포함하는 유기 박막 트랜지스터의 제조방법 | 새창보기 |
[1020080095686] | 기판 상에서 표면 에너지를 이용한 나노 와이어 성장 방법 | 새창보기 |
[1020080089553] | 면상 발열체 | 새창보기 |
[1020080078218] | 저 컨택트저항 실리콘계 나노선 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020080077402] | 플래시 메모리 소자의 제조방법 | 새창보기 |
[1020080077396] | 플래시 메모리 소자의 제조방법 | 새창보기 |
[1020080071057] | 주조용 금속기지 복합재 및 제조 방법 | 새창보기 |
[1020080057120] | RTA를 통한 스핀캐스팅된 PVDF 박막의 β 결정화방법 | 새창보기 |
[1020080049471] | 레이저 직접 박막 패터닝 방법 | 새창보기 |
[1020080041202] | 플렉서블 기판에 형성된 박막의 인장 강도 시험 장치 | 새창보기 |
[1020080011323] | 단결정 규소 나노리본 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020080008867] | 나노 와이어가 함입된 고분자 박막 구조체의 제조 방법 | 새창보기 |
[1020080005244] | 무감광 리소그래피에 의한 박막 패터닝 방법 | 새창보기 |
[1020070122808] | 고순도 알파 리튬알루미네이트의 제조방법 | 새창보기 |
[1020070047670] | 에칭 알루미늄 하부기판을 사용하는P(VDF-TrFE) 기반 커패시터 및P(VDF-TrFE)기반 커패시터에서의 고온 안정성향상 방법 | 새창보기 |
[1020070047526] | 안티몬-아연 합금을 이용한 상변화형 비휘발성 메모리 소자및 이의 제조방법 | 새창보기 |
[1020070046672] | 이온교환수지를 이용한 연속공정으로 실리카 졸을 제조하는방법 | 새창보기 |
[1020070043241] | 형태에 따라 최적화된 실리카 에어로젤의 제조방법 | 새창보기 |
[1020070030147] | 펄스 레이저를 이용한 나노입자 패터닝 방법 | 새창보기 |
[1020070025171] | 반도체 이종구조 나노선을 이용한 광기전력 소자 및 그제조방법 | 새창보기 |
[1020070019281] | 비휘발성 메모리 전자소자 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020060135209] | Pd 나노와이어를 이용한 수소센서 제조방법 | 새창보기 |
[1020060109332] | 고순도 알파 리튬알루미네이트의 제조방법 | 새창보기 |
[1020060074049] | 마이크로임프린팅을 이용한 PVDF 박막의 강유전성 패턴어레이를 제조하는 방법 | 새창보기 |
[1020060073582] | 양친매성 블록공중합체 마이셀을 이용한 단일벽탄소나노튜브의 분산방법 | 새창보기 |
[1020050104503] | 플라즈마를 이용한 액정표시장치용 무기배향막의표면처리방법 | 새창보기 |
[1020050040955] | 나노파이버를 금속 또는 폴리머 기지에 균일 분산시키는 방법 및 이를 이용하여 제조한 금속 또는 폴리머 복합재 | 새창보기 |
[1020050040635] | 벌집 구조의 그린 러스트와 이를 이용한 박막 | 새창보기 |
[KST2015012964][연세대학교] | 다공성 재료의 표면 및 내부 기공에 대규모로 와이어를 형성할 수 있는 방법 및 장치 | 새창보기 |
---|---|---|
[KST2015125057][연세대학교] | SWNTs/블록공중합체 투명 복합막의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015127405][연세대학교] | 나노 금속 구조물의 도트 크기 조절 방법을 이용한 나노 금속 구조물의 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015125683][연세대학교] | 탄소나노튜브의 분리방법 | 새창보기 |
[KST2015125552][연세대학교] | p형 Ⅲ-Ⅴ족 화합물 나노선 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015012970][연세대학교] | 3차원 구조의 금속 및 금속산화물/그래핀 나노복합소재 합성 및 이의 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2014040280][연세대학교] | 수소 기체 분위기의 마이크로웨이브 고상 인가법을 통한 고품질을 가지는 그래핀의 대량 합성 및 그의 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2014040305][연세대학교] | 홈 구조를 이용한 나노선 정렬 방법, 나노선 정렬용 3차원 틀 및 나노선 정렬용 3차원 틀의 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015012914][연세대학교] | 금속산화물나노선의 이온주입 성장방법 및 이를 이용한 금속산화물나노선 패턴 소자 | 새창보기 |
[KST2015126594][연세대학교] | 안정화된 다중 알파-나선 구조를 갖는 펩타이드와 금 나노입자의 복합 나노구조체 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015125677][연세대학교] | 탄소나노튜브 또는 탄소 섬유가 네트워크 구조를 형성한 금속기지 복합재 제조 방법 및 그 복합재 | 새창보기 |
[KST2015126141][연세대학교] | 루테늄 캡핑 실리사이드 나노와이어 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015013178][연세대학교] | 1차원 탄소 나노섬유의 합성 방법 | 새창보기 |
[KST2014040302][연세대학교] | 정렬된 나노선의 전사 방법 | 새창보기 |
[KST2015125593][연세대학교] | 하이드로젤을 이용한 나노다공성 박막에의 세포 마이크로패터닝 | 새창보기 |
[KST2015125494][연세대학교] | 마이크로어레이 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015126924][연세대학교] | 완충용액 상에서 생물모방분자 자기조립 구조체 및 금속자성입자를 포함하는 나노 복합구조체의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015126227][연세대학교] | 코어/쉘 구조를 갖는 열전 나노와이어의 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2016018228][연세대학교] | 블록공중합체 박막의 나노구조체 제조방법 및 안정구조 유지시간 조절(Method For Nano-Structure Of Block Copolymer Thin Film And Control For Period Of Stable-Structure Maintaining) | 새창보기 |
[KST2015210397][연세대학교] | 에이에프엠 캔틸레버와 극초단펄스 전압을 이용한 전도성 고분자 나노 와이어 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015125926][연세대학교] | 산화 안정성이 개선된 금속 나노입자 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015125474][연세대학교] | 금속-탄소나노튜브 복합재 제조 방법 및 그 복합재 | 새창보기 |
[KST2015125306][연세대학교] | 다공성 금속/탄소나노튜브 복합체 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[KST2014009521][연세대학교] | 나노 구조물 제작방법 | 새창보기 |
[KST2015127143][연세대학교] | 매크로 크기 동공과 메조 크기 동공의 혼합 동공구조를 가지는 3차원 다공성 탄소나노튜브 박막의 제조 | 새창보기 |
[KST2015127846][연세대학교] | 양이온성 양친매 고분자를 이용한 양이온성 자성 나노복합체 제조 | 새창보기 |
[KST2015125707][연세대학교] | 코팅된 자성 실리카 나노 복합체 및 그의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015125053][연세대학교] | 금속산화물 및 금속질화물 나노구조의 제작 | 새창보기 |
[KST2015126419][연세대학교] | 금속기지 복합재 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015124685][연세대학교] | 잉크젯 프린팅용 전도성 잉크 조성물 및 이를 이용한 금속패턴 형성방법 | 새창보기 |
심판사항 정보가 없습니다 |
---|