요약 | 본 발명은 화학증착법으로 고속도강 기판에 TiN 피막을 형성하는 방법에 관한 것으로, 특히 증착전 일련의 열처리 공정을 생략한 고속도강 기판에 950 ~ 1250℃의 온도범위에서 TiN 피막을 증착한 후 N2 또는 Ar 가스분위기에서 가스소입(燒入)하는 것을 특징으로 하는 TiN 피막의 형성방법이 제공된다.이와같은 본 발명에 따르면, 기판경도와 기판과 TiN 피막 사이의 접착력이 우수할 뿐만 아니라 증착전에 고속도강 기판에 가해지는 일련의 열처리 과정을 생략할 수 있어 산업적으로 매우 유용한 발명이다.화학증착, TiN, 고속도강, 접착력, 고온증착, 가스소입(燒入) |
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Int. CL | C23C 16/34 (2006.01) |
CPC | C23C 16/34(2013.01) C23C 16/34(2013.01) |
출원번호/일자 | 1019990006486 (1999.02.26) |
출원인 | 재단법인 서울대학교 공과대학 교육연구재단 |
등록번호/일자 | 10-0326772-0000 (2002.02.19) |
공개번호/일자 | 10-2000-0056809 (2000.09.15) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20020312) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (1999.02.26) |
심사청구항수 | 3 |