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멀티 인젝션 RF 플라즈마 처리장치 및 RF 플라즈마 토치

  • 기술번호 : KST2015222205
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 멀티 인젝션 RF 플라즈마 처리장치 및 RF 플라즈마 토치에 관하여 개시한다.본 발명은 원료공급부(120); 플라즈마 토치(200) 및 반응기(300); 상기 원료공급부(120)로부터 이송되는 파우더 입자를 고온 플라즈마 온도 분포 영역에 맞추어 분사하는 적어도 두 개 또는 그 이상으로 플라즈마 토치(200)에 정렬된 멀티 인젝터(210a)(210b)들; 및 상기 멀티 인젝터(210a)(210b)들을 지지하는 지지블럭(400);과 조정수단;을 제공함으로써, 기존의 RF 열 플라즈마 시스템 운용 시 문제점이었던 단위 시간당 생산량증대 및 이종합성이 필요한 코어 쉘(Core-shell) 구조체의 제작을 용이하게 한다.
Int. CL B01J 19/08 (2015.01) H05H 1/26 (2006.01)
CPC H05H 1/42(2013.01) H05H 1/42(2013.01) H05H 1/42(2013.01)
출원번호/일자 1020130102334 (2013.08.28)
출원인 재단법인 철원플라즈마 산업기술연구원
등록번호/일자 10-1506243-0000 (2015.03.20)
공개번호/일자 10-2015-0025120 (2015.03.10) 문서열기
공고번호/일자 (20150326) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.08.28)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 철원플라즈마 산업기술연구원 대한민국 강원도 철원군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성인 대한민국 강원도 철원군
2 손병구 대한민국 경기도 남양주시
3 김병훈 대한민국 강원도 철원군
4 이문원 대한민국 강원도 철원군
5 한상근 대한민국 강원도 철원군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김윤배 대한민국 서울특별시 중구 을지로 **길 ** ***호(수표동, 동화빌딩)(썬리치국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 철원플라즈마 산업기술연구원 대한민국 강원도 철원군
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.08.28 수리 (Accepted) 1-1-2013-0785253-20
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.06.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.07.10 수리 (Accepted) 9-1-2014-0056868-88
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.09.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0645268-46
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.11.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-1131690-11
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.11.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1131729-14
7 등록결정서
Decision to grant		 2015.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0123250-61
8 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2015.06.12 수리 (Accepted) 1-1-2015-0567926-61
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
원료 소재 파우더를 이송하는 피더(110)를 포함하는 원료공급부(120); 유도코일(130)을 가지며 그 유도코일(130)에 RF 주파수 전원을 인가하여 하우징(140) 내부에 유도열을 발생시켜 플라즈마를 생성하는 플라즈마 토치(200) 및 반응기(300); 상기 원료공급부(120)로부터 이송되는 파우더 입자를 고온 플라즈마 온도 분포 영역에 맞추어 분사하는 적어도 두 개 또는 그 이상으로 플라즈마 토치(200)에 정렬된 멀티 인젝터(210a)(210b)들; 상기 멀티 인젝터(210a)(210b)들을 지지하는 지지블럭(400); 및 상기 멀티 인젝터(210a)(210b)의 위치를 조정하는 제1 조정수단(410);을 포함하는 멀티 인젝션 RF 플라즈마 처리장치
2 2
원료 소재 파우더를 이송하는 피더(110)를 포함하는 원료공급부(120); 유도코일(130)을 가지며 그 유도코일(130)에 RF 주파수 전원을 인가하여 하우징(140) 내부에 유도열을 발생시켜 플라즈마를 생성하는 플라즈마 토치(200) 및 반응기(300); 상기 원료공급부(120)로부터 이송되는 파우더 입자를 고온 플라즈마 온도 분포 영역에 맞추어 분사하는 적어도 두 개 또는 그 이상으로 플라즈마 토치(200)에 정렬된 멀티 인젝터(210a)(210b)들; 상기 멀티 인젝터(210a)(210b)들을 지지하는 지지블럭(400); 상기 멀티 인젝터(210a)(210b)의 위치를 조정하는 제1 조정수단(410); 및 상기 지지블럭(400)에 포함되거나 또는 지지블럭(400)과 별개로 독립적으로 자리 잡아 개개의 인젝터들의 높이를 조정하는 제2 조정수단(420);을 더 포함하는 멀티 인젝션 RF 플라즈마 처리장치
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 멀티 인젝터(210a)(210b)가 하우징(140)의 중심에서 어긋난 곳에 위치하는 멀티 인젝션 RF 플라즈마 처리장치
4 4
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 멀티 인젝터(210a)(210b)가 플라즈마 토치(200)의 하우징(140) 중심을 기준으로 양 방향에 대칭적인 한 쌍으로 위치하는 멀티 인젝션 RF 플라즈마 처리장치
5 5
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 플라즈마 토치(200)의 하우징(140)에 설치되는 멀티 인젝터(210a)(210b)의 종단 팁 길이가 같은 멀티 인젝션 RF 플라즈마 처리장치
6 6
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 멀티 인젝터(210a)(210b)가 원형 하우징(140)의 원주상으로 180도 선상에서 마주 보는 위치에 배치된 멀티 인젝션 RF 플라즈마 처리장치
7 7
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 멀티 인젝터(210a)(210b)가 원형 하우징(140)의 원주상으로 120도로 등분된 곳에 위치하는 삼각 배열로 배치된 멀티 인젝션 RF 플라즈마 처리장치
8 8
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 멀티 인젝터(210a)(210b)가 플라즈마 토치(200)의 원형 하우징(140) 원주상으로 90도로 등분된 곳에 위치하는 사각 배열형, 또는 72도로 등분된 곳에 위치하는 오각 배열형 중에서 선택된 어느 하나로 이루어지는 멀티 인젝션 RF 플라즈마 처리장치
9 9
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 멀티 인젝터(210a)(210b)가 플라즈마 토치(200)의 원형 하우징(140)에 형성되는 초고온 플라즈마 영역 범위에 위치하는 멀티 인젝션 RF 플라즈마 처리장치
10 10
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 멀티 인젝터(210a)(210b)의 위치를 조정하는 제1 조정수단(410)은, 상기 지지블럭(400)의 상부에 결합된 이동블럭(430); 상기 이동블럭(430)의 상하 이동을 안내하기 위해 상기 이동블럭(430)을 지지블럭(400)에 결합하는 스크류볼트(440);로 구성된 멀티 인젝션 RF 플라즈마 처리장치
11 11
제 2 항에 있어서,상기 제2 조정수단(420)은 제1 조정수단(410)의 상부에서 멀티 인젝터(210a)(210b)들의 높이를 조절하기 위하여 제1 조정수단(410)과는 별개로 제1 조정수단(410)의 이동블럭(430) 상부에 또 다른 이동블럭(450)을 결합하고 그 이동블럭(450)을 제1 조정수단(410)의 이동블럭(430)측과 스크류볼트(460)로 결합하여 멀티 인젝터(210a)(210b)들의 높이를 제1 조정수단(410)과 별개로 조절하는 멀티 인젝션 RF 플라즈마 처리장치
12 12
원료 소재 파우더를 이송하는 피더(110)를 포함하는 원료공급부(120); 유도코일(130)을 가지며 그 유도코일(130)에 RF 주파수 전원을 인가하여 하우징(140) 내부에 유도열을 발생시켜 플라즈마를 생성하는 반응기(300)를 포함하는 RF 플라즈마 처리장치에 있어서, 상기 원료공급부(120)로부터 이송되는 파우더 입자를 하우징(140) 내부 고온 플라즈마 온도 분포 영역에 맞추어 분사하도록 하우징(140)을 따라 배열된 적어도 두 개 또는 그 이상의 멀티 인젝터(210a)(210b)들; 상기 멀티 인젝터(210a)(210b)를 하우징(140) 내부에 지지하는 지지블럭(400); 및 상기 멀티 인젝터(210a)(210b)들의 높이를 조정하는 조정수단;을 포함하는 RF 플라즈마 처리장치의 멀티 인젝션 플라즈마 토치
13 13
제 12 항에 있어서,상기 멀티 인젝터(210a)(210b)가 하우징(140)의 중심에서 어긋난 곳에 위치하는 RF 플라즈마 처리장치의 멀티 인젝션 플라즈마 토치
14 14
제 12 항에 있어서,상기 멀티 인젝터(210a)(210b)가 플라즈마 토치(200)의 하우징(140) 중심을 기준으로 양 방향에 대칭적인 한 쌍으로 위치하는 RF 플라즈마 처리장치의 멀티 인젝션 플라즈마 토치
15 15
제 12 항에 있어서,상기 플라즈마 토치(200)의 하우징(140)에 설치되는 멀티 인젝터(210a)(210b)의 종단 팁 길이가 서로 같은 RF 플라즈마 처리장치의 멀티 인젝션 플라즈마 토치
16 16
제 12 항에 있어서,상기 멀티 인젝터(210a)(210b)가 원형 하우징(140)의 원주상으로 180도 선상에서 마주 보는 위치에 배치된 RF 플라즈마 처리장치의 멀티 인젝션 플라즈마 토치
17 17
제 12 항에 있어서,상기 멀티 인젝터(210a)(210b)가 원형 하우징(140)의 원주상으로 120도로 등분된 곳에 위치하는 삼각 배열이거나 90도로 등분된 곳에 위치하는 사각 배열형, 또는 72도로 등분된 곳에 위치하는 오각 배열형 중에서 선택된 어느 하나로 이루어지는 RF 플라즈마 처리장치의 멀티 인젝션 플라즈마 토치
18 18
제 12 항에 있어서,상기 멀티 인젝터(210a)(210b)가 플라즈마 토치(200)의 원형 하우징(140)에 형성되는 초고온 플라즈마 영역 범위에 위치하는 RF 플라즈마 처리장치의 멀티 인젝션 플라즈마 토치
19 19
제 12 항에 있어서,상기 조정수단은, 상기 지지블럭(400)의 상부에 결합된 이동블럭(430), 상기 이동블럭(430)의 상하 이동을 안내하기 위해 상기 이동블럭(430)을 지지블럭(400)에 결합하는 스크류볼트(440)로 멀티 인젝터(210a)(210b)의 위치를 조정하는 제1 조정수단(410); 상기 제1 조정수단(410)과는 별개로 제1 조정수단(410)의 상부에서 멀티 인젝터(210a)(210b)들의 높이를 조절하기 위하여 상기 제1 조정수단(410)과는 별개로 제1 조정수단(410)의 이동블럭(430) 상부에 또 다른 이동블럭(450)을 결합하고 그 이동블럭(450)을 제1 조정수단(410)의 이동블럭(430)측과 스크류볼트(460)로 결합하여 멀티 인젝터(210a)(210b)들의 높이를 제1 조정수단(410)과 별개로 조절하는 제2 조정수단(420);을 포함하는 RF 플라즈마 처리장치의 멀티 인젝션 플라즈마 토치
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (재)철원플라즈마산업기술연구원 광역경제권연계협력사업 플라즈마 기반, 나노융합소재 개발 및 방열시트 적용 분산용액 상용화