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플라즈마 처리장치

  • 기술번호 : KST2015222218
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 플라즈마 처리장치는 플라즈마 처리대상소재의 플라즈마 처리를 위한 통과 경로가 반응기 내에서 코일형태의 유전체를 갖도록 하고, 반응기 내로 공급되는 처리대상소재의 공급량을 조절하는 것이 가능하다. 본 발명에 따르면 플라즈마 처리대상소재의 방전처리 노출시간을 증대시킴으로써, 보다 균일하고 일정한 전기적 및 물리적 특성의 변환이 가능한 소재의 생산이 이루어질 수 있도록 할 뿐만 아니라 생산자가 원하는 정도의 전기적 및 물리적 특성의 변환을 위한 다양한 조절 및 장치의 변형이 용이하게 이루어질 수 있도록 한다.
Int. CL H05H 1/46 (2006.01) H01L 21/00 (2006.01) H05H 1/34 (2006.01)
CPC H01J 37/32715(2013.01) H01J 37/32715(2013.01) H01J 37/32715(2013.01) H01J 37/32715(2013.01)
출원번호/일자 1020120110649 (2012.10.05)
출원인 재단법인 철원플라즈마 산업기술연구원
등록번호/일자 10-1414168-0000 (2014.06.25)
공개번호/일자 10-2014-0044547 (2014.04.15) 문서열기
공고번호/일자 (20140704) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.10.05)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 철원플라즈마 산업기술연구원 대한민국 강원도 철원군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성인 미국 서울 성동구
2 손병구 대한민국 경기 남양주시
3 김용득 대한민국 대구 서구
4 김병훈 대한민국 강원 철원군
5 이문원 대한민국 서울 노원구
6 송석균 대한민국 서울 구로구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김윤배 대한민국 서울특별시 중구 을지로 **길 ** ***호(수표동, 동화빌딩)(썬리치국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 철원플라즈마 산업기술연구원 강원도 철원군
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.10.05 수리 (Accepted) 1-1-2012-0808318-49
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2012.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2012-0834711-34
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025708-25
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.11.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0771779-08
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.01.03 수리 (Accepted) 1-1-2014-0007887-54
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.01.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0007890-92
7 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2014.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2014-0025867-63
8 직권정정안내서
Notification of Ex officio Correction		 2014.01.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2014-0008725-38
9 등록결정서
Decision to grant		 2014.05.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0328397-25
10 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2015.06.12 수리 (Accepted) 1-1-2015-0568078-26
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
일단에 인렛(inlet)부를 구비함과 동시에 타단에 아웃렛(outlet)부를 구비하는 반응기, 상기 반응기에 전원을 공급하는 전원공급부 및 전극을 포함하는 플라즈마 플라즈마 처리장치에 있어서, 상기 인렛부를 통해 공급되는 처리대상소재 및 처리가스를 통과시키기 위해 전극의 양극(+)과 음극(-) 사이에 배치된 코일형태의 유전체;를 포함하며, 상기 코일형태의 유전체를 통과하면서 플라즈마 처리되어 상기 아웃렛부를 통해 전기적 및 물리적 특성이 변환된 물질을 반출하는 반응기; 상기 인렛부를 통해 상기 반응기의 내부로 특정 처리대상소재를 공급하는 소재 공급부;상기 인렛부를 통해 상기 반응기의 내부로 특정 처리가스를 공급하는 가스 공급부; 상기 반응기의 내부에 일정한 전원을 인가하여, 상기 인렛부로부터 아웃렛부 측까지 연장된 처리 채널을 따라 이동하는 처리대상소재 및 처리가스가 플라즈마 반응을 발생시키도록 하는 전원 공급부;상기 전원 공급부의 양단에 각각 연결된 양극 및 음극이 상기 유전체의 코일형태가 갖는 원형면을 이루는 방향으로 삽입되고, 상기 유전체 내에서 플라즈마 방전 반응을 발생시키기 위하여 일정 주기의 고전압을 공급하는 제1 및 제2 전극부;상기 제1 및 제2 전극부를 통하여 공급된 고전압에 의하여 발생된 플라즈마 방전에 의하여 특정 처리대상소재가 플라즈마 처리됨에 따라 특정 전기적 및 물리적 특성으로 변환되어 상기 아웃렛부를 통해 반출되는 처리 물질을 수취하는 수취부;를 포함하여 이루어지며,상기 소재 공급부는, 상기 인렛부를 통해 상기 반응기에 공급되는 처리대상소재의 재질, 물성, 전기적 및 물리적 특성의 변환 정도에 따라 그 공급량을 조절하는 공급량 조절기;를 포함하는 플라즈마 처리장치
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 가스 공급부는 처리가스가 상기 반응기의 내부로 주입되도록 주입력을 발생하는 주입 콤프레셔를 더 포함하는 플라즈마 처리장치
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 처리대상소재의 전기적 및 물리적 특성 변환을 위해 상기 가스 공급부의 주입력 조절, 상기 가스 공급부에 의한 처리가스의 공급량 조절, 또는 상기 반응기의 배치 경사도 조절 중에서 어느 하나가 이루어지는 플라즈마 처리장치
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 처리대상소재는 상기 반응기에서 발생되는 플라즈마 방전 처리를 통해 전기적 및 물리적 특성의 변환이 가능한 소재이고, 상기 소재는 나노 소재, 비 나노 소재, 또는 고분자 소재 중에서 적어도 하나의 소재인 플라즈마 처리장치
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 처리가스는, 불활성 기체, 상기 불활성 기체끼리의 혼합물, 또는 상기 불활성 기체와 활성 기체의 혼합물 중에서 적어도 하나인 플라즈마 처리장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (재)철원플라즈마산업기술연구원 광역경제권연계협력사업 플라즈마 기반, 나노융합소재 개발 및 방열시트 적용 분산용액 상용화