| 요약 |
자기 베어링에 장착되어 변위를 측정하는 정전용량 센서의 분할각도를 개선하여 형상오차를 최소화시킬 수 있도록 하는 자기 베어링의 변위센서에 대해 개시한다. 이러한 자기 베어링의 변위센서는, 자기베어링 모듈에 내장되어 변위를 측정하는 원형판의 정전용량 변위 센서에 있어서, 자기 베어링의 변위를 측정하기 위하여 소정 내경을 가지는 원통형의 몸체와; 몸체의 내측에 서로 일정한 공극이 유지되도록 8개의 분할로 이루어지되, 그 분할 각도가 60도와 30도로 반복적으로 마련되어 각각 상호 병합연산 가능한 센서부를 구비하는데, 센서부는 30도가 중복 사용되어, 두가지의 차동센서 조합을 가지는 120도를 가진 형상을 구현하고, 센서부와 몸체 사이에 마련되어 센서부의 상측이 개방되도록 원주 전체를 감싸는 원통형의 가드를 더 포함하여 이루어진다. 따라서, 축 형상오차를 여러 주기가 합쳐진 주기 함수로 가정하면, 센서의 분할각도가 달라짐에 따라 특정한 주기의 형상오차를 제거할 수 있게 되는데, 특히 상술된 8개의 분할 각도를 갖게 될 때, 가장 안정적으로 회전축의 변위를 측정할 수 있으며, 형상오차로 인한 측정잡음을 줄일 수 있게 된다. 자기베어링, 정전용량, 변위센서, 형상오차, 분할각도
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