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3차원 곡면 기판 위에 온도 센서 어레이 제작방법

  • 기술번호 : KST2015227383
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유동에 영향을 미치지 않고 고온의 조건에서 온도 분포를 측정하기 위하여 고온용 온도 센서 어레이를 3차원 곡면에 제작할 수 있는 방법에 대한 것이다.본 발명의 일 측면에 따른 3차원 곡면 기판 위에 온도 센서 어레이 제작방법은 감광막도포단계와, 자외선노출단계와, 감광막탈착단계와, 절연층도포단계와, 금속층증착단계와, 감광막부착단계와, 감광막현상단계와, 식각단계와, 감광막제거단계를 포함한다. 상기 감광막도포단계는 평면기판 위에 감광막을 도포하는 단계이다. 상기 자외선노출단계는 상기 감광막에 센서 형상이 패터닝된 광마스크를 통하여 자외선을 노출시키는 단계이다. 상기 감광막탈착단계는 상기 평면기판에서 상기 자외선에 노출된 감광막을 탈착하는 단계이다. 상기 절연층도포단계는 3차원 형상의 곡면기판 위에 절연층을 도포하는 단계이다. 상기 금속층증착단계는 상기 절연층 위에 금속층을 증착하는 단계이다. 상기 감광막부착단계는 상기 금속층 위에 상기 평면기판에서 탈착된 감광막을 부착하는 단계이다. 상기 감광막현상단계는 상기 금속층 위에 부착된 감광막을 현상하는 단계이다. 상기 식각단계는 식각용액을 사용하여 상기 금속층을 식각하는 단계이다. 상기 감광막제거단계는 상기 금속층에 부착된 감광막을 제거하는 단계이다.
Int. CL G01K 7/16 (2006.01) G01K 13/00 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01)
CPC G01K 7/18(2013.01) G01K 7/18(2013.01) G01K 7/18(2013.01)
출원번호/일자 1020100056852 (2010.06.16)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1120382-0000 (2012.01.28)
공개번호/일자 10-2011-0136931 (2011.12.22) 문서열기
공고번호/일자 (20120224) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.16)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 고정상 대한민국 부산광역시 금정구
2 안철희 대한민국 부산광역시 남구
3 하만영 대한민국 부산광역시 해운대구
4 김귀순 대한민국 부산광역시 금정구
5 조종래 대한민국 부산광역시 금정구
6 정지환 대한민국 서울특별시 강남구
7 박상후 대한민국 대구광역시 달서구
8 민준기 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다인 대한민국 경기도 화성시 동탄기흥로*** 더퍼스트타워쓰리제**층 제****호, 제****-*호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.06.16 수리 (Accepted) 1-1-2010-0385495-87
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.10.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.11.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0087963-29
4 등록결정서
Decision to grant		 2011.12.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0758422-95
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000027-56
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
평면기판 위에 감광막을 도포하는 감광막도포단계와,상기 감광막에 센서 형상이 패터닝된 광마스크를 통하여 자외선을 노출시키는자외선노출단계와,상기 평면기판에서 상기 자외선에 노출된 감광막을 탈착하는 감광막탈착단계와,3차원 형상의 곡면기판 위에 절연층을 도포하는 절연층도포단계와,상기 절연층 위에 금속층을 증착하는 금속층증착단계와,상기 금속층 위에 상기 평면기판에서 탈착된 감광막을 부착하는 감광막부착단계와,상기 금속층 위에 부착된 감광막을 현상하는 감광막현상단계와,식각용액을 사용하여 상기 금속층을 식각하는 식각단계와,상기 금속층에 부착된 감광막을 제거하는 감광막제거단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 곡면 기판 위에 온도 센서 어레이 제작방법
2 2
평면기판 위에 감광막을 도포하는 감광막도포단계와,상기 감광막에 센서 형상이 패터닝된 광마스크를 통하여 자외선을 노출시키는자외선노출단계와,상기 평면기판에서 상기 자외선에 노출된 감광막을 탈착하는 감광막탈착단계와,3차원 형상의 곡면기판 위에 절연층을 도포하는 절연층도포단계와,상기 절연층 위에 상기 평면기판에서 탈착된 감광막을 부착하는 감광막부착단계와,상기 절연층 위에 부착된 감광막을 현상하는 감광막현상단계와,상기 감광막이 부착된 절연층 위에 금속층을 증착하는 금속층증착단계와,상기 감광막을 상기 절연층에서 제거하는 감광막제거단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 곡면 기판 위에 온도 센서 어레이 제작방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.