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3차원 형상의 구조물에 감광막을 코팅하는 감광막코팅단계와,미세패턴이 형성된 유연한 메쉬시트의 양단을 일정한 힘으로 잡아당겨서 상기 3차원 형상의 구조물을 감싸는 메쉬시트접착단계와,슬릿을 사용하여 광원이 노광되는 면적을 선택적으로 제어하여 광원을 상기 감광막에 노광시키는 광원조사단계를 구비하는 노광단계와,현상액을 사용하여 상기 노광된 감광막을 현상하는 현상단계와,전주도금을 이용하여 현상된 상기 감광막이 형성된 상기 구조물에 일정한 두께로 도금층을 형성하는 도금단계와,상기 감광막을 제거하는 감광막제거단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상의 미세메쉬구조물 제작방법
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제1항에 있어서,상기 광원조사단계는 상기 3차원 형상의 구조물을 회전시키면서 상기 감광막에 광원을 노광시키는 것을 특징으로 하는 3차원 형상의 미세메쉬구조물 제작방법
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제2항에 있어서,상기 도금단계는 서로 다른 도금물질을 사용하여 도금층을 다단으로 형성하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상의 미세메쉬구조물 제작방법
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제2항에 있어서,상기 도금단계 후 상기 도금층 위에 미세 패턴으로 형성된 도금층을 더 형성하는 도금층형성단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형사의 미세메쉬구조물 제작방법
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제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 감광막제거단계 후 식각용액을 사용하여 상기 3차원 형상의 구조물을 식각하여 제거하는 식각단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상의 미세메쉬구조물 제작방법
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필름형태의 감광막에 미세패턴이 형성된 광마스크를 사용하여 광원을 노광시키는 노광단계와,상기 감광막을 3차원 형상의 구조물에 결합시키는 감광막결합단계와,현상액을 사용하여 상기 노광된 감광막을 현상하는 현상단계와,전주도금을 이용하여 상기 감광막이 형성된 상기 구조물에 일정한 두께로 도금층을 형성하는 도금단계와,상기 감광막을 제거하는 감광막제거단계와,식각용액을 사용하여 상기 3차원 형상의 구조물을 식각하여 제거하는 식각단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상의 미세메쉬구조물 제작방법
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제6항에 있어서,상기 감광막결합단계는 열을 가하여 상기 감광막을 상기 3차원 형상의 구조물에 결합시키는 것을 특징으로 하는 3차원 형상의 미세메쉬구조물 제작방법
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제6항에 있어서,상기 노광단계 전에 열을 가하여 상기 감광막을 금속테이프에 접착시키는 금속테이프접착단계를 더 포함하며,상기 감광막결합단계는 상기 금속테이프를 상기 3차원 형상의 구조물에 접착시키는 것을 특징으로 하는 3차원 형상의 미세메쉬구조물 제작방법
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스템프의 표면에 형성된 자기조립단분자막을 일정한 패턴으로 3차원 형상의 구조물에 찍어내는 자기조립단분자막부착단계와,전주도금을 이용하여 상기 3차원 형상의 구조물에 일정한 두께로 도금층을 형성하는 도금단계와,상기 자기조립단분자막을 제거하는 자기조립단분자막제거단계와,식각용액을 사용하여 상기 3차원 형상의 구조물을 식각하여 제거하는 식각단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상의 미세메쉬구조물 제작방법
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3차원 형상의 제1구조물의 일면에 감광막을 코팅하는 제1감광막코팅단계와,미세패턴이 형성된 메쉬시트를 사용하여 상기 감광막에 노광을 하는 제1노광단계와,현상액을 사용하여 노광된 상기 감광막을 현상하는 제1현상단계와,전주도금을 이용하여 현상된 상기 감광막이 형성된 상기 제1구조물의 일면에 일정한 두께로 도금층을 형성하는 제1도금단계와,상기 감광막을 제거하는 제1감광막제거단계와,상기 제1구조물의 일면을 제외한 타면과 3차원 형상의 제2구조물의 어느 한면을 제외한 다른 면에 감광막을 일정한 패턴으로 형성하여 상기 제1구조물의 일면과 상기 제2구조물의 어느 한 면을 맞대는 맞대기단계와,상기 일정한 패턴의 감광막이 형성된 상기 제1구조물과 제2구조물에 전주도금을 이용하여 일정한 두께로 도금층을 형성하는 제2도금단계와,상기 일정한 패턴의 감광막을 제거하는 제2감광막제거단계와,식각용액을 사용하여 3차원 형상의 상기 제1구조물과 제2구조물을 식각하여 제거하는 식각단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상의 미세메쉬구조물 제작방법
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3차원 형상의 제1구조물의 일면에 감광막을 코팅하는 제1감광막코팅단계와,미세패턴이 형성된 메쉬시트를 사용하여 상기 감광막에 노광을 하는 제1노광단계와,현상액을 사용하여 노광된 상기 감광막을 현상하는 제1현상단계와,전주도금을 이용하여 현상된 상기 감광막이 형성된 상기 제1구조물의 일면에 일정한 두께로 제1도금층을 형성하는 제1도금단계와,상기 감광막을 제거하는 제1감광막제거단계와,상기 제1구조물의 일면과 3차원 형상의 제2구조물의 어느 한면을 맞대는 맞대기단계와,상기 제1구조물과 제2구조물에 전주도금을 이용하여 일정한 두께로 제2도금층을 형성하는 제2도금단계와,식각용액을 사용하여 3차원 형상의 상기 제1구조물과 제2구조물을 식각하여 제거하는 식각단계와,상기 제2도금층의 표면에 일정한 패턴의 감광막을 형성하는 감광막형성단계와,상기 일정한 패턴의 감광막이 형성된 상기 제2도금층에 일정한 두께로 제3도금층을 형성하는 제3도금단계와,상기 일정한 패턴의 감광막을 제거하는 제2감광막제거단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상의 미세메쉬구조물 제작방법
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3차원 형상의 구조물에 제1감광막을 코팅하는 제1감광막코팅단계와,미세패턴이 형성된 유연한 메쉬시트를 사용하여 상기 제1감광막에 노광을 하는 노광단계와,현상액을 사용하여 상기 노광된 제1감광막을 현상하는 현상단계와,식각용액을 사용하여 상기 3차원 형상의 구조물을 일정한 깊이까지 식각하는 제1식각단계와,상기 제1감광막을 제거하는 제1감광막제거단계와,상기 구조물에 제2감광막을 코팅하는 제2감광막코팅단계와,미세패턴이 형성된 유연한 메쉬시트를 사용하여 상기 제2감광막에 노광시킨후 현상하여 상기 제2감광막을 일정한 패턴으로 형성시키는 감광막패터닝단계와,전주도금을 이용하여 상기 제2감광막이 형성된 상기 구조물에 일정한 두께로 도금층을 형성하는 도금단계와,상기 제2감광막을 제거하는 제2감광막제거단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상의 미세메쉬구조물 제작방법
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제12항에 있어서,상기 제2감광막제거단계 후 식각용액을 사용하여 상기 3차원 형상의 구조물을 식각하여 제거하는 제2식각단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상의 미세메쉬구조물 제작방법
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3차원 형상의 구조물에 감광막을 코팅하는 감광막코팅단계와,미세패턴이 형성된 유연한 메쉬시트를 사용하여 상기 감광막에 노광을 하는 노광단계와,현상액을 사용하여 상기 노광된 감광막을 현상하는 현상단계와,전주도금을 이용하여 현상된 상기 감광막이 형성된 상기 구조물에 일정한 두께로 도금층을 형성하는 도금단계와,상기 감광막을 제거하는 감광막제거단계와,상기 도금층이 형성된 상기 구조물에 폴리머를 도포하여 경화시키는 폴리머도포단계와,상기 경화된 폴리머를 벗겨주는 폴리머탈피단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상의 미세메쉬구조물 제작방법
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