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단결정 구리 타깃을 이용한 구리 박막 제조방법

  • 기술번호 : KST2015228142
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 단결정 구리 타깃을 이용한 구리 박막 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 초크랄스키법으로 육성한 단결정 구리 타깃을 사용하여 고주파 스퍼터링 방식으로 사파이어 디스크 기판에 증착시킴으로써 결정성 측면에서 품질이 우수한 구리 박막을 제조하는 단결정 구리 타깃을 이용한 구리 박막 제조방법에 관한 것이다. 이러한 본 발명은, 초크랄스키법으로 육성한 원통 형상의 단결정 구리를 절단한 원판형 단결정 구리 타깃을 사용하여 사파이어 디스크 기판에 고주파 스퍼터링 방식으로 증착시켜 구리 박막을 형성 제조하는 것을 특징으로 하는 단결정 구리 타깃을 이용한 구리 박막 제조방법을 기술적 요지로 한다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC H01L 21/02266(2013.01) H01L 21/02266(2013.01) H01L 21/02266(2013.01)
출원번호/일자 1020140007813 (2014.01.22)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0087881 (2015.07.31) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.10.24)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정세영 대한민국 부산광역시 해운대구
2 김지영 대한민국 경남 양산시
3 이승훈 대한민국 울산광역시 남구
4 이태우 대한민국 대전광역시 유성구
5 박상언 대한민국 부산 금정구
6 조채용 대한민국 부산광역시 동래구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2014-0067277-19
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2014.01.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-0075280-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2016.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2016-1028529-64
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.10.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-1028127-13
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
8 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.08.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
9 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.10.13 수리 (Accepted) 9-1-2017-0033117-49
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.01.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0004565-38
11 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2018-0214300-25
12 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.04.02 수리 (Accepted) 1-1-2018-0323598-36
13 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2018-0432327-15
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.06.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0545480-09
15 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.06.04 수리 (Accepted) 1-1-2018-0545468-50
16 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.07.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0473549-85
17 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2018.08.13 수리 (Accepted) 1-1-2018-0798842-90
18 법정기간연장승인서
2018.08.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0128357-69
19 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2018.09.06 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0885843-54
20 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.09.06 수리 (Accepted) 1-1-2018-0885859-84
21 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.10.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0667302-65
22 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2018.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2018-1075106-25
23 법정기간연장승인서
2018.11.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0169457-21
24 등록결정서
Decision to grant
2019.11.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0825318-92
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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초크랄스키법으로 육성한 원통 형상의 단결정 구리를 절단한 원판형 단결정 구리 타깃을 사용하여 사파이어 디스크 기판에 고주파 스퍼터링 방식으로 증착시켜 단결정 구리 박막을 형성 제조하는 것을 특징으로 하고, 상기 고주파 스퍼터링은, 100~200℃에서 2~3시간 동안 30~60W의 고주파전원을 가하여 실시되며, 상기 구리 박막은, XRD 회절 패턴 상에서 피크(111)가 상기 사파이어 디스크 기판의 피크(0001)보다 적어도 1배 이상 높고, 실온에서 200℃의 사이에서 비저항 평균보다 상대적으로 낮은 비저항 강하가 발생하는 것을 특징으로 하는 단결정 구리 타깃을 이용한 단결정 구리 박막 제조방법
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단결정 구리 타깃을 이용한 구리 박막에 있어서, 사파이어 디스크 기판; 및상기 사파이어 디스크 기판의 상부에 형성된 원판형 단결정 구리 박막;으로 구성되고,상기 원판형 단결정 구리 박막은 제 1항의 방법으로 제조되는 것을 특징으로 하는,단결정 구리 타깃을 이용한 구리 박막 구조체
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 밀양캠퍼스 산학협력본부 신기술융합형성장동력사업 우주 환경 모사 활용 나노 융합 신소재 개발