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케이블트레이

  • 기술번호 : KST2015230705
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 실리콘 질화막, 실리콘 질화막의 외주 하측에 결합되어, 상기 실리콘 질화막을 지지하는 격자, 및 격자의 외부 표면에 결합된 복수의 고정 빗살들;을 포함하는 실리콘 질화막 스캐너가 개시된다.
Int. CL G02B 26/08 (2006.01.01) G02B 26/10 (2006.01.01)
CPC G02B 26/0841(2013.01) G02B 26/0841(2013.01) G02B 26/0841(2013.01) G02B 26/0841(2013.01)
출원번호/일자 1020130036211 (2013.04.03)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1445028-0000 (2014.09.19)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140926) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.04.03)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 진주영 대한민국 경기 과천시 부림로 *,
2 김용권 대한민국 서울 강남구
3 유승현 대한민국 서울 관악구
4 배재성 대한민국 경기 수원시 팔달구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김동진 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *** (역삼동, 신명빌딩 *층)(청우특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 서울특별시 관악구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.04.03 수리 (Accepted) 1-1-2013-0289451-63
2 [공지예외적용대상(신규성, 출원시의 특례)증명서류]서류제출서
[Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)] Submission of Document		 2013.04.12 수리 (Accepted) 1-1-2013-0318818-96
3 보정요구서
Request for Amendment		 2013.04.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0041794-52
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2013.04.25 수리 (Accepted) 1-1-2013-0364831-03
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.11.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.12.16 수리 (Accepted) 9-1-2013-0101194-24
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.03.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0184127-82
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2014-0436199-01
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.05.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0436200-60
10 등록결정서
Decision to grant		 2014.09.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0629624-22
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
실리콘 질화막;실리콘 질화막의 외주 하측에 결합되어, 상기 실리콘 질화막을 지지하는 격자; 상기 격자의 외부 표면에 결합된 복수의 고정 빗살들; 및 내부가 진공상태로 유지되는 투명 커버;를 포함하며, 상기 실리콘 질화막, 상기 격자, 및 상기 고정 빗살들은 모두 상기 투명 커버내에 위치된 것을 특징으로 하는 실리콘 질화막 스캐너
2 2
제1항에 있어서,상기 격자는 내부가 비어있는 통형상을 가진 것을 특징으로 하는 실리콘 질화막 스캐너
3 3
제2항에 있어서, 상기 복수의 고정 빗살들 각각은 서로 소정 거리를 유지하면서, 상기 격자의 외측면에 결합된 것을 특징으로 하는 실리콘 질화막 스캐너
4 4
삭제
5 5
실리콘 질화막 스캐너 제조 방법에 있어서,실리콘 기판에 실리콘 질화막과 금속 박막을 증착시키는 증착 단계;상기 증착 단계에서 층착한 박막들을 식각하여 반사면을 형성시키는 단계;실리콘을 식각시키되, 적어도 고정 빗살이 되는 부분은 남기는 제1 식각 단계;상기 제1 식각 단계의 수행 결과물과 제1 유리 기판을 접합시키고, 실리콘을 소정의 두께까지 화학적 기계적 연마하는 단계; 상기 화학적 기계적 연마하는 단계의 수행결과물에서 실리콘을 식각시키되, 적어도 구동 빗살과 상기 고정 빗살이 되는 부분은 남기는 제2 식각 단계; 및상기 제2 식각 단계의 수행 결과물과 제2 유리 기판을 접합시키고, 상기 제1 유리 기판은 식각시키는 단계;를 포함하며, 상기 제2 유리 기판은 상기 실리콘 질화막 스캐너가 구동할 수 있는 공간을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 실리콘 질화막 스캐너 제조 방법
6 6
제5항에 있어서, 상기 제1 유리 기판의 접합과 제2 유리 기판의 접합은 양극 접합에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 실리콘 질화막 스캐너 제조 방법
7 7
제5항에 있어서, 상기 제1 유리 기판은 평평하거나 내부에 공간이 있는 것을 특징으로 하는 실리콘 질화막 스캐너 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 서울대학교 기초연구사업 실시간 3D 광단층 촬영이 가능한 내시경용 스캐너 모듈의 개발