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마이크로 렌즈를 구비한 광학장치의 제작 방법에 있어서,제1 캐비티가 형성된 메인 기판에 제1 유리기판을 접합하는 단계;제1 열 재흐름 공정에 의해 유리를 상기 캐비티에 채우는 단계; 상기 캐비티에 채워진 유리로부터 유리기둥을 형성하는 단계;제2 열 재흐름 공정에 의해 상기 유리기둥으로부터 마이크로 렌즈를 형성하는 단계; 및 상기 메인 기판에 광학장치의 구동기를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈를 구비한 광학장치의 제작 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 유리기둥을 형성하는 단계는, 상기 유리 기판을 연마하여 상기 메인 기판에서 제거하는 단계; 및 상기 캐비티 주위의 메인 기판을 식각하여 제1 오목부를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈를 구비한 광학장치의 제작 방법
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제 2 항에 있어서,상기 마이크로 렌즈를 형성하는 단계 후, 제2 오목부를 갖는 제2 유리 기판을 상기 메인 기판에 접합하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈를 구비한 광학장치의 제작 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 광학장치의 구동기를 형성하는 단계는, 상기 마이크로 렌즈의 하부면이 드러날 때까지 상기 메인 기판의 하부를 연마하는 단계;상기 메인 기판의 하부에 마스크를 증착하는 단계; 및 상기 메인 기판을 식각하여 관통구를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈를 구비한 광학장치의 제작 방법
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제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항의 방법에 의해서 제작된 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈를 구비한 광학장치
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제 5 항에 있어서, 상기 광학장치가 광스캐너이고, 상기 구동기는 빗살모양의 콤 구동기인 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈를 구비한 광학장치
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마이크로 렌즈를 구비한 광학장치의 제작 방법에 있어서,제1 캐비티 및 상기 제1 캐비티 보다 직경이 작은 하나 이상의 제2 캐비티가 형성된 메인 기판에 제1 유리기판을 접합하는 단계;제1 열 재흐름 공정에 의해 유리를 상기 제1 및 제2 캐비티에 채우는 단계; 상기 제1 및 제2 캐비티에 채워진 유리로부터 유리기둥을 형성하는 단계;제2 열 재흐름 공정에 의해, 상기 제1 캐비티의 유리기둥으로부터 마이크로 렌즈를 형성하는 단계; 및 상기 메인 기판에 광학장치의 구동기를 형성하는 단계;를 포함하고,상기 제2 캐비티의 유리기둥은 상기 광학장치의 전기 절연부로 기능하는 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈를 구비한 광학장치의 제작 방법
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제 7 항에 있어서,상기 마이크로 렌즈를 형성하는 단계 후, 제2 오목부를 갖는 제2 유리 기판을 상기 메인 기판에 접합하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈를 구비한 광학장치의 제작 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 광학장치의 구동기를 형성하는 단계는, 상기 마이크로 렌즈의 하부면 및 제2 캐비티의 유리기둥의 하부면이 드러날 때까지 상기 메인 기판의 하부를 연마하는 단계;상기 메인 기판의 하부에 마스크를 증착하는 단계; 및 상기 메인 기판을 식각하여 관통구를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈를 구비한 광학장치의 제작 방법
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10
제 7 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항의 방법에 의해서 제작된 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈를 구비한 광학장치
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제 10 항에 있어서, 상기 광학장치가 2차원 광스캐너이고, 상기 구동기는 빗살모양의 콤 구동기인 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈를 구비한 광학장치
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마이크로 렌즈를 구비한 광학장치에 있어서,마이크로 렌즈가 장착되고 제1 방향으로 구동가능한 제1 구동 스테이지;제1 구동 스테이지, 상기 제1 구동 스테이지에서 측방향으로 뻗어있는 제1 구동콤 전극부, 및 상기 제1 구동콤 전극부와 쌍을 이루는 제1 고정콤 전극부를 포함하고, 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 구동가능한 제2 구동 스테이지; 제2 구동 스테이지 및 상기 제2 구동 스테이지에서 측방향으로 뻗어있는 제2 구동콤 전극부를 지지기판 상부에서 지지하는 복수개의 고정부; 및 상기 제2 구동콤 전극부와 쌍을 이루는 제2 고정콤 전극부를 구비하며 상기 지지기판 상부에 형성된 하나 이상의 측면 프레임;을 포함하고,상기 제2 구동 스테이지는 복수개의 유리 절연부를 포함하고, 이 유리 절연부에 의해 제2 구동 스테이지가 전기적으로 복수개의 영역으로 분리되어 있는 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈를 구비한 광학장치
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13
제 12 항에 있어서, 상기 제2 구동 스테이지는 상기 복수개의 고정부의 각각과 지지빔에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈를 구비한 광학장치
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14
제 13 항에 있어서, 상기 복수개의 유리 절연부의 각각은, 상기 복수개의 고정부 중 제1 고정부와 연결된 제2 구동 스테이지의 영역 및 상기 제1 고정부와 이웃하는 제2 고정부와 연결된 제2 구동 스테이지의 영역 사이를 전기적으로 분리하는 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈를 구비한 광학장치
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제 14 항에 있어서, 상기 복수개의 유리 절연부는 상기 마이크로 렌즈와 동일한 제작공정 단계에서 형성된 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈를 구비한 광학장치
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16
제 15 항에 있어서, 상기 광학장치가 2차원 광스캐너인 것을 특징으로 하는, 마이크로 렌즈를 구비한 광학장치
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