| 1 |
1
공초점 현미경(confocal microscope)과 스펙트럴 이미징(spectral imaging) 분광 현미경을 동시에 구비하는 멀티모달 현미경을 배치함에 있어서, 상기 각각의 현미경을 구성하는 광학부품 중에서 대물렌즈를 상기 현미경들이 서로 공유하여 사용하는 광학부품으로 배치하되 상기 서로 공유하는 하나의 광학부품은 시료를 관찰하는 대물렌즈로 선정함에 따라, 상기 공초점 현미경과 상기 스펙트럴 이미징 분광 현미경에서 측정된 각 현미경의 측정결과는 시료를 움직이지 않은 상태에서 동일한 대물렌즈에서 관찰되는 측정결과이되상기 공초점 현미경 또는 상기 스펙트럴 이미징 분광 현미경은 레이저를 사용하는 상기 공초점 현미경 또는 SC 레이저를 사용하는 상기 스펙트럴 이미징 분광 현미경으로 동작시 동일 위치에서 해당 광경로의 각도가 다른 광 분할기(beam splitter)로 스위칭하여 레이저의 입사 경로를 결정하는 스위칭 필터 유닛(SFU, Switching Filter Unit); 시료의 확대상을 만드는 상기 대물렌즈; 및 시료 이미지를 검출하는 광증폭관(PMT)을 포함하며, 상기 공초점 현미경에 의해 공초점 영상을 관찰하고, 상기 스펙트럴 이미징 분광 현미경에 의해 SC 레이저 제공부를 통해 시료의 분광 정보를 획득하기 위해 단색화 장치의 파장을 고정하고 공초점 영상을 획득한 후, 파장을 변경하여 다시 공초점 영상을 획득하는 방법으로 다양한 파장에서 영상을 획득하는 것을 특징으로 하는 공초점 분광 현미경
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 공초점 현미경과 상기 스펙트럴 이미징 현미경은 광증폭관(PMT)을 공유하는 것을 특징으로 하는 공초점 분광 현미경
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 공초점 현미경과 상기 스펙트럴 이미징 현미경은 해당 광경로에 따라 각도가 다른 광분할기(beam splitter)를 사용하는 스위칭 필터 유닛(SFU, Switching Filter Unit)의 위치를 공유하는 것을 특징으로 하는 공초점 분광 현미경
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 멀티모달 현미경에서, 상기 공초점 현미경으로 동작시 488 nm 파장의 Ar-ion 레이저와, 543nm 또는 632
|
| 5 |
5
삭제
|
| 6 |
6
제1항에 있어서, 상기 공초점 현미경은 488 nm 파장의 Ar-ion 레이저와, 543nm 또는 632
|
| 7 |
7
제1항에 있어서, 상기 스펙트럴 이미징 분광 현미경의 상기 SC 레이저 제공부는 SC(Supercontinuum laser) 레이저를 제공하는 SC 레이저; 상기 SC 레이저를 수신받는 콜리메이팅 렌즈(CL, collimating lens); 콜리메이팅 렌즈(CL)를 통과한 빔을 확장하여 평행 빔을 제공하는 빔 확장기(BE, Beam Expander); 파장에 따라 또는 톱니바퀴 모양의 그레이팅의 간격에 따라 빛을 회절시키는 그레이팅(GR, Grating); 상기 그레이팅(GR)으로부터 받은 임의의 파장에 대한 회절광을 광축이 다른 방향으로 전송하는 OPM1(Off-axis parabolic mirror); 초점 평면 밖(out-focus)의 신호를 제외하고 초점 평면 안(in-focus)의 신호만을 수신받는 핀홀(slit): 및 상기 OPM1으로부터 받은 임의의 파장에 대한 회절광을 핀홀(slit)을 통해 광축이 다른 방향의 스위칭 필터 유닛(SFU)으로 전송하는 OPM2; 를 포함하는 공초점 분광 현미경
|
| 8 |
8
제1항에 있어서, 상기 스펙트럴 이미징 분광 현미경은 SC 레이저를 발사하여 그레이팅(GR, Grating)에 의해 파장에 따라 또는 톱니바퀴 모양의 그레이팅의 간격에 따라 빛을 회절시키고, 임의의 파장에 대한 회절광을 광축이 다른 방향으로 전송하는 OPM1, 핀홀(slit), OPM2를 통해 스위칭 필터 유닛(SFU)으로 전송하는 SC 레이저 제공부; 렌즈의 입사 각도를 조절하는 갈바노 미러(GM, Galvano Mirror); 레이저 광원을 집속하는 제1 렌즈(image focusing lens)(L1); 광 초점에 따라 광원을 수집하는 제2 렌즈(collecting lens)(L2); 상기 대물렌즈 하단의 시료에 반사되는 역방향의 광경로에 따라 제2 렌즈(L2), 제1 렌즈(L1), 갈바노 미러(GM)에 반사되어 스위칭 필터 유닛(SFU)을 통해 광을 수신받는 제3 렌즈(L3); 핀홀 구멍이 형성되고, 초점 경로 상에 검출 영역 밖에서 들어오는 빛을 차단하고 초점 평면 밖(out-focus)의 신호를 제외하고 초점 평면 안(in-focus)의 신호만을 수신받는 핀홀(pinhole); 및 컴퓨터의 모니터와 DAQ(Data Acquisition Board)보드를 통해 연결되고, 광경로에 따라 제3 렌즈(L3) 및 핀홀(pinhole)을 통해 나노 구조의 시료 이미지를 검출하는 광 증폭관(PMT); 을 포함하는 공초점 분광 현미경
|
| 9 |
9
제1항에 있어서, 상기 스펙트럴 이미징 분광 현미경은, SC 레이저로부터 SC 레이저를 발사하여, 그레이팅(GR), OPM1, 500㎛ 크기의 핀홀(slit), OPM2를 통해 임의의 파장에 대한 회절광을 스위칭 필터 유닛(SFU)의 빔 스플리터로 반사되어, 갈바노 미러(GM), 제1 렌즈(L1) 및 제2 렌즈(L2), 대물렌즈 하단의 시료에 조사된 후, 상기 대물렌즈 하단의 시료에 반사되는 형광 신호를 분광매질을 통해 분광시킨 후, 파장에 따른 신호를 측정하도록 반사되는 형광 신호를 역방향의 광경로에 따라 제2 렌즈(L2), 제1 렌즈(L1), 갈바노 미러(GM)에 반사되어 스위칭 필터 유닛(SFU)을 통해 광을 수신받는 제3 렌즈(L3) 및 핀홀(pinhole)을 통해 초점 평면 밖(out-focus)의 신호를 제외하고 초점 평면 안(in-focus)의 신호만을 수신받아 광 증폭관(PMT)에 의해 시료의 나노입자로부터 방출된 가시광선 파장을 통해 시료 이미지를 검출하여 분석하는 것을 특징으로 하는 공초점 분광 현미경
|
