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자기 촉매형 무전해 니켈-인-코발트 도금액 및 그의제조방법

  • 기술번호 : KST2016002073
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 무전해 니켈-인-코발트(Ni-P-Co) 도금액에 관한 것으로, 상세하게는 니켈 염으로 황산 니켈, 환원제로 차아인산나트륨 및 코발트염으로 황산코발트를 포함하는, 활성화 처리 공정 없이 자기촉매 반응에 의하여 도금 가능한 선택적 무전해 니켈-인-코발트(Ni-P-Co) 삼원합금 도금액 및 이를 이용한 도금 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 도금액을 사용하여 구리 배선 등의 다양한 반도체 소재를 도금하는 경우, 환원력이 높은 보란을 환원제로 사용한 니켈-보란-코발트 도금액의 단점인 높은 응력에 의한 밀착성이 저하된 피막이 제조되는 단점을 개선하였을 뿐만 아니라, 종래 필수적으로 요구되는 팔라듐과 같은 귀금속을 이용한 활성화 처리 공정을 거칠 필요 없이 자기촉매반응을 이용하여 직접 환원되어 도금이 가능하기 때문에, 활성화 전처리 공정에서 발생할 수 있는 오염 문제를 개선할 수 있다는 뛰어난 장점을 가진다. 니켈-인-코발트(Ni-P-Co) 도금액, 자기 촉매, 활성화 공정
Int. CL C23C 18/32 (2006.01)
CPC C23C 18/32(2013.01) C23C 18/32(2013.01) C23C 18/32(2013.01) C23C 18/32(2013.01) C23C 18/32(2013.01)
출원번호/일자 1020080001476 (2008.01.04)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0996189-0000 (2010.11.17)
공개번호/일자 10-2009-0075571 (2009.07.08) 문서열기
공고번호/일자 (20101124) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.01.04)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이홍기 대한민국 경기도 고양시 일산구
2 전준미 대한민국 경기 시흥시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손민 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, *층(문정동)(특허법인한얼)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.01.04 수리 (Accepted) 1-1-2008-0008933-38
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.03.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.04.14 수리 (Accepted) 9-1-2009-0022569-38
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.10.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0427439-37
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.12.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0764406-55
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2009-0764410-38
10 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2010.04.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0140336-59
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.05.03 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2010-0283963-84
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.05.03 수리 (Accepted) 1-1-2010-0283964-29
13 [지정기간단축]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Reduction of Designated Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2010.05.04 수리 (Accepted) 1-1-2010-0288591-64
14 등록결정서
Decision to grant
2010.08.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0356864-09
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
무전해 니켈-인-코발트 도금액에 있어서, 니켈 염으로 26 내지 30g/l의 농도 범위의 황산 니켈, 환원제로 차아인산나트륨 및 코발트 염으로 황산코발트를 포함하며, 그리고 착화제로서 아디핀산 및 락트산을 포함하며, 상기 무전해 니켈-인-코발트 도금액은 이온 형태의 팔라듐을 더 포함하며, 상기 이온 형태의 팔라듐은 0
2 2
제1항에 있어서, 상기 차아인산나트륨은 20 내지 50g/l 및 상기 황산코발트는 5 내지 10g/l로 포함되며, 상기 아디핀산은 5 내지 20g/l 및 상기 락트산은 5 내지 25g/l로 포함되는 것을 특징으로 하는, 무전해 니켈-인-코발트 도금액
3 3
제2항에 있어서, 상기 무전해 니켈-인-코발트 도금액은 탈륨(Tl)을 0
4 4
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 따른 무전해 니켈-인-코발트 도금액을 사용한, 팔라듐 활성화 처리과정이 없는 것을 특징으로 하는, 무전해 도금 공정
5 5
제4항에 있어서, 상기 무전해 도금 공정은 5
6 6
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.