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프레임과;상기 프레임의 일측에 제공되는 액츄에이터와;상기 액츄에이터의 구동에 의해 직선 이동되는 제 1 그립과 상기 프레임에 고정된 제 2 그립으로 이루어지되, 상기 제 1 및 제 2 그립이 시편의 양단을 지지하는 그립 수단과;상기 액츄에이터의 구동에 의해 상기 제 1 그립과 함께 직선 이동하는 가동 전극체와, 상기 가동 전극체에 대향되도록 상기 프레임에 고정 설치된 고정 전극체가 구비된 전극유닛을 포함하여,상기 제 1 그립 및 상기 가동 전극체가 함께 이동하여 상기 시편이 변형할 때, 상기 가동 전극체와 상기 고정 전극체 사이의 대향면적 및 이에 따른 정전용량이 변화되도록 한 것을 특징으로 하는 정전용량형 변위 게이지
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청구항 1에 있어서, 상기 가동 전극체는 제 1 전극이고 상기 고정 전극체는 서로 절연된 채 상기 프레임에 고정 설치된 제 2 및 제 3 전극이며, 상기 제 1 전극이 직선 이동할 때, 상기 제 1 전극에 대한 상기 제 2 및 제 3 전극의 대향면적 및 이에 따른 정전용량이 상대적으로 증감되도록 한 것을 특징으로 하는 정전용량형 변위 게이지
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청구항 1에 있어서, 상기 제 1 그립과 마주하는 제 2 그립 부근에는 상기 시편에 인가되는 하중을 측정하기 위한 로드셀이 마련됨을 특징으로 하는 정전용량형 변위 게이지
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청구항 1에 있어서, 상기 고정 전극체는 중공형 프레임의 내측에 고정 설치되어 상기 가동 전극체가 이동되는 공간을 내부 중앙에 형성하는 중공 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 정전용량형 변위 게이지
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청구항 1에 있어서, 상기 가동 전극체는 시편에 하중을 인가하기 위한 상기 액츄에이터의 선단에 연결되고 상기 가동 전극체 상에 상기 제 1 그립이 일체로 연결된 것을 특징으로 하는 정전용량형 변위 게이지
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청구항 2에 있어서, 상기 제 2 및 상기 제 3 전극은 동일 면적으로 이루어지고, 시편에 대한 변형 측정 초기에, 상기 제 1 전극에 대한 상기 제 2 및 제 3 전극의 대향면적은 서로 같은 것을 특징으로 하는 정전용량형 변위 게이지
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청구항 1에 있어서, 상기 시편은 마이크로미터 두께의 박막인 것을 특징으로 하는 정전용량형 변위 게이지
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프레임과; 상기 프레임의 일측에 제공되는 액츄에이터와; 상기 액츄에이터의 구동에 의해 직선 이동되는 제 1 그립과 상기 프레임에 고정된 제 2 그립으로 이루어진 그립 수단과; 및 상기 액츄에이터의 구동에 의해 상기 제 1 그립과 함께 직선 이동하는 가동 전극체와, 상기 가동 전극체에 대향되도록 상기 프레임에 고정 설치된 고정 전극체가 구비된 전극유닛을 포함하는 정전용량형 변위 게이지를 이용하여 시편의 변형을 측정하는 방법에 있어서,(a) 상기 제 1 및 제 2 그립으로 시편의 양단을 지지하는 단계와;(b) 상기 액츄에이터를 구동하여 상기 제 1 그립과 상기 가동 전극체를 함께 직선 이동시키는 것에 의해, 상기 가동 전극체와 상기 고정 전극체 사이의 대향면적이 변화되도록 하는 단계와;(c) 상기 대향면적 변화에 따른 정전용량 변화값을 이용하여 상기 시편의 변형을 측정하는 단계를;포함하는 것을 특징으로 하는 정전용량형 변위 게이지를 이용한 시편의 변형 측정방법
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청구항 8에 있어서,상기 가동 전극체는 제 1 전극이고 상기 고정 전극체는 서로 절연된 채 상기 프레임에 고정 설치된 제 2 및 제 3 전극이되,상기 (a) 단계는, 상기 제 1 전극에 대한 상기 제 2 및 제 3 전극의 대향면적을 같게 세팅한 후, 상기 제 1 전극이 직선 이동할 때, 상기 제 1 전극에 대한 상기 제 2 및 제 3 전극의 대향면적 및 이에 따른 정전용량이 상대적으로 증감되도록 하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 정전용량형 변위 게이지를 이용한 시편의 변형 측정방법
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청구항 8 또는 9에 있어서, 상기 시편은 마이크로미터 두께의 박막인 것을 특징으로 하는 정전용량형 변위 게이지를 이용한 시편의 변형 측정방법
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