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광 리소그라피에 기반한 극저밀도 금속의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2016004424
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 (a) 다수의 구슬을 서로 접촉시켜 배치하는 단계와, (b) 상기 구슬을 서로 연결하는 단계와, (c) 상기 구슬의 표면에 박막을 형성하는 단계와, (d) 상기 박막의 일부를 제거하는 단계 및 (e) 상기 박막의 내부 물질을 제거하는 단계를 포함하여 극저밀도 3차원 박막 구조체를 저렴한 비용으로 대형화 및 대량 생산할 수 있는 구슬을 이용한 극저밀도 3차원 박막 구조체의 제조방법을 제공한다.
Int. CL B22F 3/00 (2006.01) C23C 16/56 (2006.01) B01J 13/02 (2006.01) B81B 1/00 (2006.01)
CPC B22F 3/1115(2013.01)B22F 3/1115(2013.01)
출원번호/일자 1020140092138 (2014.07.21)
출원인 전남대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1612500-0000 (2016.04.07)
공개번호/일자 10-2016-0011323 (2016.02.01) 문서열기
공고번호/일자 (20160415) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.07.21)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 전남대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강기주 대한민국 전라남도 담양군
2 한승철 대한민국 광주광역시 서구
3 이정우 대한민국 광주광역시 광산구
4 이민근 대한민국 전라북도 부안군
5 최정명 대한민국 광주광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인명인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층(역삼동, 두원빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전남대학교산학협력단 광주광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.07.21 수리 (Accepted) 1-1-2014-0684829-62
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.03.13 수리 (Accepted) 1-1-2015-0249664-23
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.04.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.06.08 수리 (Accepted) 4-1-2015-5076218-57
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0040177-63
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0664277-82
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.11.25 수리 (Accepted) 1-1-2015-1152933-93
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.11.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-1152953-06
9 등록결정서
Decision to grant		 2016.03.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0231850-35
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.07.07 수리 (Accepted) 4-1-2016-5093177-51
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5056463-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
박막을 기준으로 내부와 외부가 모두 비어 있는 3차원 박막 구조체를 제조하는 방법으로서, (a) 다수의 구슬을 서로 접촉시켜 배치하는 단계와;(b) 상기 구슬을 서로 연결하는 단계와;(c) 상기 구슬의 표면에 박막을 형성하는 단계와;(d) 상기 박막의 일부를 제거하는 단계; 및(e) 상기 박막의 내부 물질을 제거하는 단계;를 포함하고,상기 (b) 단계는 상기 구슬의 전체 표면에 액상 수지를 도포하여 경화시켜 접합하는 방식으로 수행되어 상기 구슬에 대해 필렛 형태의 연결부를 형성함으로써, 상기 액상 수지의 표면을 경계로 그 내부 영역이 오픈 셀 구조를 이루어져 상기 연결부를 통해 서로 연통되는 것을 특징으로 하는 구슬을 이용한 3차원 박막 구조체의 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 (a) 단계는 상기 구슬을 2차원 또는 3차원 패턴으로 배치하는 것을 특징으로 하는 구슬을 이용한 극저밀도 3차원 박막 구조체의 제조방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 구슬은 동일하거나 다른 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 구슬을 이용한 극저밀도 3차원 박막 구조체의 제조방법
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
제 1 항에 있어서,상기 (c) 단계는 CVD, PVD, ALD, 전기도금, 무전해도금, 코팅 및 분말 야금, 액상 침지 및 스프레이 중에서 선택되는 어느 하나의 방식으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 구슬을 이용한 극저밀도 3차원 박막 구조체의 제조방법
7 7
제 1 항에 있어서,상기 (d) 단계는 사포질, 방전가공, 레이저, 집속이온빔 및 전해연마 중에서 선택되는 어느 하나의 방식으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 구슬을 이용한 극저밀도 3차원 박막 구조체의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 전남대학교 산학협력단 중견연구자지원사업(도전) 멀티스케일 초경량 금속의 제조법