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내마모성, 소수성 및 소유성을 갖는 코팅막의 제조 방법, 및 이에 따라 제조되는 코팅막(PREPARING METHOD OF ABRASION RESISTIBLE, HYDROPHOBIC AND OLEOPHOBIC COATING FILM, AND COATING FILM THEREBY)

  • 기술번호 : KST2016005262
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본원은 내마모성, 소수성 및 소유성을 갖는 코팅막의 제조 방법, 및 이에 따라 제조되는 내마모성, 소수성 및 소유성을 갖는 코팅막을 제공한다.
Int. CL C23C 16/40 (2006.01) C23C 16/56 (2006.01)
CPC C23C 16/401(2013.01) C23C 16/401(2013.01) C23C 16/401(2013.01)
출원번호/일자 1020150178482 (2015.12.14)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0002615 (2016.01.08) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2014-0022201 (2014.02.25)
관련 출원번호 1020140022201
심사청구여부/일자 Y (2015.12.14)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 한전건 대한민국 서울특별시 송파구
2 최윤석 대한민국 경기도 수원시 장안구
3 이준석 대한민국 강원도 원주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인엠에이피에스 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 (역삼동, 한동빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2015.12.14 수리 (Accepted) 1-1-2015-1224027-64
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.01.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0048736-90
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.03.11 수리 (Accepted) 1-1-2016-0237082-70
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.03.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0237103-41
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.07.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0539711-32
6 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2016.08.26 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-0832672-43
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.08.26 수리 (Accepted) 1-1-2016-0832640-93
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0694429-18
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
유기실란 전구체 및 산소를 이용하여 기재 상에 SiOx 박막을 PECVD에 의해 형성하는 단계;유기실란 전구체를 이용하여 상기 SiOx 박막 상에 소수성 1 차 박막을 PECVD에 의해 형성하는 단계; 및,불화탄소계 가스 전구체를 이용하여 상기 1 차 박막 상에 기름 접촉각이 80° 이상인 소유성 2 차 박막을 10 kHz 이상 내지 100 kHz 미만의 MF 파워를 이용한 PECVD에 의해 형성하는 단계를 포함하며,상기 10 kHz 이상 내지 100 kHz 미만의 MF 파워를 이용함으로써 상기 불화탄소계 가스 전구체의 해리를 방지하여 불소의 생성을 방지하는 것인,내마모성, 소수성 및 소유성을 갖는 코팅막의 제조 방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 SiOx 박막을 형성한 후, 플라즈마 처리하는 것을 추가 수행하는 것인, 내마모성, 소수성 및 소유성을 갖는 코팅막의 제조 방법
3 3
제 2 항에 있어서,상기 SiOx 박막을 플라즈마 처리하는 것은 O2 플라즈마 또는 Ar 플라즈마에 의해 수행되는 것인, 내마모성, 소수성 및 소유성을 갖는 코팅막의 제조 방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 유기실란 전구체는 SixCyHz (x는 1 내지 4이고, y는 3 내지 8이며, 및 z는 10 내지 24임)를 포함하는 것인, 내마모성, 소수성 및 소유성을 갖는 코팅막의 제조 방법
5 5
제 1 항에 있어서,상기 불화탄소계 가스 전구체는 CxFy (x는 1 내지 3, y는 4 내지 8임)를 포함하는 것인, 내마모성, 소수성 및 소유성을 갖는 코팅막의 제조 방법
6 6
제 1 항에 있어서,상기 1 차 박막은 5 MHz 내지 30 MHz의 RF 파워를 이용한 PECVD에 의해 형성되는 것인, 내마모성, 소수성 및 소유성을 갖는 코팅막의 제조 방법
7 7
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의해 제조되고, 내마모성, 소수성 및 기름 접촉각 80° 이상의 소유성을 가지는, 코팅막
8 8
제 7 항에 있어서,물 접촉각이 110° 이상이고, 연필경도는 7 H 이상인 것인, 코팅막
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1 KR1020150100414 KR 대한민국 FAMILY
2 US20150240354 US 미국 FAMILY

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